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材料研究学报  2008, Vol. 22 Issue (1): 83-86    
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负热膨胀ZrW_2O_8薄膜的制备和性能
刘红飞; 程晓农; 张志萍; 付廷波
江苏大学材料科学与工程学院 镇江
引用本文:

刘红飞; 程晓农; 张志萍; 付廷波. 负热膨胀ZrW_2O_8薄膜的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2008, 22(1): 83-86.

全文: PDF(781 KB)  
摘要: 用交替射频磁控溅射法在石英基片上沉积并退火制备了ZrW_2O_8薄膜,测量了薄膜与基片之间的结合力和薄膜厚度,研究了薄膜的负热膨胀特性.结果表明:用磁控溅射方法制备的薄膜为非晶态,表面平滑、呈颗粒状,在1200℃热处理3 min后得到立方相ZrW_2O_8薄膜,结晶薄膜的颗粒长大,薄膜与基片之间有良好的结合力.立方相ZrW_2O_8薄膜在15-200℃热膨胀系数为-24.81×10~(-6)K~(-1),200-700℃热膨胀系数为-4.78×10~(-6)K~(-1),平均热膨胀系数为-10.08×10~(-6)K~(-1).
关键词 无机非金属材料钨酸锆薄膜磁控溅射    
Key words
收稿日期: 1900-01-01     
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