材料研究学报  2003, Vol. 17 Issue (3): 333-336

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五氧化二钽薄膜的I-V特性

王超; 庄大明;张弓;吴敏生

清华大学

王超; 庄大明; 张弓; 吴敏生 . 五氧化二钽薄膜的I-V特性[J]. 材料研究学报, 2003, 17(3): 333-336.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(513 KB)   摘要: 采用直流脉冲反应磁控溅射方法制备了高介电常数五氧化二钽（Ta2O5）薄膜。利用Ta/Ta2O5/Ta的MIM电容结构分析了Ta2O5的电学性能，研究了上电极面积对I-V特性的影响、I-V曲线的对称性和零点偏移以及薄膜缺陷和基底粗糙度对MIM电学性能的影响。结果表明，随着上电极面积增大，电容的漏电流密度增大，击穿场强减小。氧化钽薄膜中缺陷的存在和粗糙度增大容易引起漏电流增大，击穿强度降低。当上电极直径为1mm时，MIM电容的性能最佳：击穿强度为2.22MV/cm，漏电流密度低于1×10-8 A/cm2。 关键词 ： 无机非金属材料,  氧化钽薄膜,  磁控溅射     Key words： 收稿日期: 1900-01-01      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 王超 庄大明 张弓 吴敏生 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/Y2003/V17/I3/333 1 Igor Sevostianov,Mark Kachanov,Connection between elastic moduli and thermal thermal conductivities of anisotropic short fiber reinforced thermoplastics:theory and experimental verification,Materials Science and En- gineering,360,339(2003) 2 J.S.Bergstrom,L.B.Hilbert Jr.,A constitutive model for predicting the large eformation thermomechanical be- havior of fluoropolymers,Mechanics of Materials,37, 899(2005) 3 ZENG Qingdun,Memo-destruction and Intensity of Com- posites(Beijing,Science Publishing Company,2002)p.52 (曾庆敦，复合材料的细观破坏机制与强度(北京，科学出版社，2002)p．52) 4 WANG Haiying,SHANG Jialan,LIU Guoquan,Overview on description methods for the spatial distribution of the second phase in multi-phase materials,Advances in Me- chanics,30(4),558(2000) (汪海英，尚嘉兰，刘国权，复相材料中第二相的空间分布状况的描述方法综述，力学进展，30(4)，558(2000)) 5 Y.T.Zhu,G.Zong,A.Manthiram,Strength analysis of ran- dom short-fibre-reinforced metal matrix composite mate- rials,J.Mater.Sci.,29,6281(1994) 6 LIU Minshan,SUN Aifang,DONG Qiwu,Thermal Con- ductive Composite Compact Plate-Shell Heat Exchanger, PRC Pat.200610128280.X,2006(in Chinese) (刘敏珊，孙爱芳，董其伍，导热复合材料紧凑型板壳式换热器，中华人民共和国发明专利，200610128280．X，2006) 7 SUN Aifang,LIU Minshan,DONG Qiwu,Modification and Application Situation of PTFE in anticorrosive heat exchanger,Materials for Mechanical Engineering,31(9), 1(2007) (孙爱芳，刘敏珊，董其武，耐腐蚀换热器用聚四氟乙烯的改性与应用现状，机械工程材料，31(9)，1(2007)) 8 V.A.Shelestova,V.V.Serafimovich,P.N.Grakovich,The ef- fect of the size of carbon fibers on the physicomechanical properties of fluvis composites,Mechanics of Composite Materials,38(2),125(2002) 9 Akihiro Oshima,Akira Udagawa,Shigeru Tanaka,Fabri- cation of polytetrafiuoroethylene/carbon fiber composites using radiation crosslinking,Radiation Physics and Chem- istry,62(1),77(2001) 10 P.N.Grakovich,V.A.Shelestova,Plasma-chemical modifi- cation of carbon fibers as an efficient method of regulat- ing properties of PTFE-based composite materials,Sci- ence China,A,44(s1),292(2001)) [1] 宋莉芳, 闫佳豪, 张佃康, 薛程, 夏慧芸, 牛艳辉. 碱金属掺杂MIL125的CO2 吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 649-654. [2] 邵鸿媚, 崔勇, 徐文迪, 张伟, 申晓毅, 翟玉春. 空心球形AlOOH的无模板水热制备和吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 675-684. [3] 任富彦, 欧阳二明. g-C3N4 改性Bi2O3 对盐酸四环素的光催化降解[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 633-640. [4] 刘明珠, 樊娆, 张萧宇, 马泽元, 梁城洋, 曹颖, 耿仕通, 李玲. SnO2 作散射层的光阳极膜厚对量子点染料敏化太阳能电池光电性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 554-560. [5] 李延伟, 罗康, 姚金环. Ni(OH)2 负极材料的十二烷基硫酸钠辅助制备及其储锂性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 453-462. [6] 余谟鑫, 张书海, 朱博文, 张晨, 王晓婷, 鲍佳敏, 邬翔. N掺杂生物炭的制备及其对Co2+ 的吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(4): 291-300. [7] 朱明星, 戴中华. SrSc0.5Nb0.5O3 改性BNT基无铅陶瓷的储能特性研究[J]. 材料研究学报, 2023, 37(3): 228-234. [8] 闫春良, 郭鹏, 周靖远, 汪爱英. Cu掺杂非晶碳薄膜的电学性能及其载流子输运行为[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 747-758. [9] 刘志华, 岳远超, 丘一帆, 卜湘, 阳涛. g-C3N4/Ag/BiOBr复合材料的制备及其光催化还原硝酸盐氮[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 781-790. [10] 周毅, 涂强, 米忠华. 制备方法对磷酸盐微晶玻璃结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 739-746. [11] 谢锋, 郭建峰, 王海涛, 常娜. ZnO/CdS/Ag复合光催化剂的制备及其催化和抗菌性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(1): 10-20. [12] 余超, 邢广超, 吴郑敏, 董博, 丁军, 邸敬慧, 祝洪喜, 邓承继. 亚微米Al2O3 对重结晶碳化硅的作用机制[J]. 材料研究学报, 2022, 36(9): 679-686. [13] 单位摇, 王永利, 李静, 熊良银, 杜晓明, 刘实. 锆合金表面Cr基涂层的耐高温氧化性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(9): 699-705. [14] 张鹏, 黄东, 张福全, 叶崇, 伍孝, 吴晃. 中间相沥青基碳纤维石墨化度对Cf/Al界面损伤的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 579-590. [15] 方向明, 任帅, 容萍, 刘烁, 高世勇. 自供能Ag/SnSe纳米管红外探测器的制备和性能研究[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 591-596. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed