材料研究学报  2003, Vol. 17 Issue (5): 537-540

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热阴极辉光放电对金刚石膜沉积的影响

白亦真;金曾孙;姜志刚; 韩雪梅

吉林大学超硬材料国家重点实验室

白亦真; 金曾孙; 姜志刚; 韩雪梅 . 热阴极辉光放电对金刚石膜沉积的影响[J]. 材料研究学报, 2003, 17(5): 537-540.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(470 KB)   摘要: 研究了在热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积金刚石膜过程中，热阴极辉光放电特性与金刚石膜沉积工艺的关系。结果表明，适当的阴极温度是保证大电流、高气压辉光放电的必要条件。阴极的温度影响辉光放电阴极位降区的放电性质。金刚石膜的沉积速率随着气体压力（16 kPa～20 kPa）的升高而上升，在18.6 kPa左右出现最高值，而阳极位降区电场强度的降低使膜品质下降。放电电流（8～12 A）对沉积速率的影响与压力的影响具有相似的规律。 关键词 ： 无机非金属材料,  热阴极,  化学气相沉积     Key words： 收稿日期: 1900-01-01      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 白亦真 金曾孙 姜志刚 韩雪梅 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/Y2003/V17/I5/537 1 A.Sawabe, H.Yasuda, T.Inuzuka, K.Suzuki, Growth of Diamond Thin Films in a DC Discharge Plasma,Applied Surface Science, 33/34, 539(1988) 2 K.Suzuki, A.Sawabe, T.Inuzuka, Growth of Diamond Thin Films by DC Plasma Chemical Vapor Deposition and Characteristics of the Plasma, Jpn.J.Appl.Phys., 29(1) , 153(1990) 3 JIN Zengsun(金曾孙), LV Xianyi(吕宪义), JIANG Zhigang(姜志刚), ZOU Guangtian(邹广田), Technology for Processing Diamond Film by Hot Cathode Glow Plasma Chemical Vapor Deposition, Chinese Patent(中国发明专利), ZL94116283． 4 4 BAI Yizhen(白亦真), JIANG Zhigang(姜志刚), JIN Zengsun(金曾孙), LV Xianyi(吕宪义), GU Changzhi(顾长志), ZOU Guangtian(邹广田), High Rate Growth of Large Area Diamond Films with Hot Cathode PCVD,Proceedings of Symposium on Multi-functional Materials(特种功能材料学术讨论会) (Chengdu, China,1998) p.55 5 H.B.Chae, Y.J.Han, D.J.Seong, J.C.Kim, Y.J.Baik, Thermal Conductivity of DC-Plasma Assisted Chemical Vapor Deposited Diamond Films, J.Appl.Phys., 78(11) , 6849(1995) 6 J.K.Lee, Y.J.Baik, K.Y.Eun, Effect of Additional Gas on Diamond Deposition by DC PACVD, Materials Science and Engineering, A209, 399(1996) 7 Y.J.Baik, J.K.Lee, W.S.Lee, K.Y.Eun, Large Size Plasma Generation Using Multicathode Direct Current Geometry for Diamond Deposition, J.Mater.Res., 13(4) , 944(1998) 8 Y.J.Baik, J.K.Lee, W.S.Lee, K.Y.Eun, Large Area Deposition of Thick Diamond Film by Direct-Current PACVD, Thin Solid Films, 341, 202(1999) 9 P.Hartmann, R.Haubner, B.Lux, Deposition of Thick Diamond Films by Pulsed D.C. Glow Discharge CVD,Diamond and Related Materials, 5, 850(1996) 10 JIN Zengsun(金曾孙), JIANG Zhigang(姜志刚), BAI Yizhen(白亦真), LU Xianyi(吕宪义), Synthesis of Diamond Thick Film by a Hot-Cathode DC-PCVD Method, New Carbon Materials(新型碳材料), 17(2) , 9(2002) 11 BAI Yizhen(白亦真), Study of Hot Cathode Glow Discharge and Its Plasma Chemical Vapor Deposition of Diamond Films, Doctoral Thesis of Jilin University China, (2001) 12 Yizhen Bai, Zengsun Jin, Xuemei Han, Zhigang Jiang, Xianyi Lu, Influence of Cathode Temperature on Gas Discharge and Growth of Diamond Films in DC-PCVD Processing, submitted to Thin Solid Films(2002) [1] 宋莉芳, 闫佳豪, 张佃康, 薛程, 夏慧芸, 牛艳辉. 碱金属掺杂MIL125的CO2 吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 649-654. [2] 邵鸿媚, 崔勇, 徐文迪, 张伟, 申晓毅, 翟玉春. 空心球形AlOOH的无模板水热制备和吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 675-684. [3] 任富彦, 欧阳二明. g-C3N4 改性Bi2O3 对盐酸四环素的光催化降解[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 633-640. [4] 刘明珠, 樊娆, 张萧宇, 马泽元, 梁城洋, 曹颖, 耿仕通, 李玲. SnO2 作散射层的光阳极膜厚对量子点染料敏化太阳能电池光电性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 554-560. [5] 李延伟, 罗康, 姚金环. Ni(OH)2 负极材料的十二烷基硫酸钠辅助制备及其储锂性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 453-462. [6] 余谟鑫, 张书海, 朱博文, 张晨, 王晓婷, 鲍佳敏, 邬翔. N掺杂生物炭的制备及其对Co2+ 的吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(4): 291-300. [7] 朱明星, 戴中华. SrSc0.5Nb0.5O3 改性BNT基无铅陶瓷的储能特性研究[J]. 材料研究学报, 2023, 37(3): 228-234. [8] 刘志华, 岳远超, 丘一帆, 卜湘, 阳涛. g-C3N4/Ag/BiOBr复合材料的制备及其光催化还原硝酸盐氮[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 781-790. [9] 周毅, 涂强, 米忠华. 制备方法对磷酸盐微晶玻璃结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 739-746. [10] 谢锋, 郭建峰, 王海涛, 常娜. ZnO/CdS/Ag复合光催化剂的制备及其催化和抗菌性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(1): 10-20. [11] 余超, 邢广超, 吴郑敏, 董博, 丁军, 邸敬慧, 祝洪喜, 邓承继. 亚微米Al2O3 对重结晶碳化硅的作用机制[J]. 材料研究学报, 2022, 36(9): 679-686. [12] 方向明, 任帅, 容萍, 刘烁, 高世勇. 自供能Ag/SnSe纳米管红外探测器的制备和性能研究[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 591-596. [13] 李福禄, 韩春淼, 高嘉望, 蒋健, 许卉, 李冰. 氧化石墨烯的变温发光[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 597-601. [14] 朱晓东, 夏杨雯, 喻强, 杨代雄, 何莉莉, 冯威. Cu掺杂金红石型TiO2 的制备及其光催化性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 635-640. [15] 熊庭辉, 蔡文汉, 苗雨, 陈晨龙. ZnO纳米棒阵列和薄膜的同步外延生长及其光电化学性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(7): 481-488. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed