材料研究学报  1995, Vol. 9 Issue (4): 361-363

研究论文 本期目录 | 过刊浏览 |

AIN薄膜的成分、相结构和氧化性能

夏立芳;王佐诚;孙跃;马欣新;陈士芳

哈尔滨工业大学

ON THE COMPOSITION, PHASE STRUCTURE AND OXIDIZED PROPERTY OF AIN FILMS

XIA Lifang; WANG Zuochen; SUN Yue; MA Xinxin; CHEN Shifang(Harbin Institute of Technology)

夏立芳;王佐诚;孙跃;马欣新;陈士芳. AIN薄膜的成分、相结构和氧化性能[J]. 材料研究学报, 1995, 9(4): 361-363.
, , , , . ON THE COMPOSITION, PHASE STRUCTURE AND OXIDIZED PROPERTY OF AIN FILMS[J]. Chin J Mater Res, 1995, 9(4): 361-363.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(210 KB)   摘要: 用X射线光电子能谱(XPS)剥层分析方法,研究AIN薄膜在大气中加热时的氧化性能.结果表明,常温时AIN薄膜稳定;在700℃加热时,Al2O3膜开始增厚.AIN被氧化;加热温度愈高,AIN被氧化得愈剧烈. 关键词 ： AIN薄膜,  氧化     Abstract：The composition, phase structure and oxidized property of AIN films heated in atmosphere at different temperature have been investigated with X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) in this paper.The results showed that about 60nm thick of Al2O3 film on the Key words： AIN film oxidized property thermodynamics 收稿日期: 1995-08-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 夏立芳 王佐诚 孙跃 马欣新 陈士芳 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1995/V9/I4/361 1Perkin—ElmerCorporation,HandbookofX—rayPhotoelectronSpectroscopy,1978:102徐祖耀,金属材料热力学．北京:科学出版社,1983:2913吉林工业大学,物理化学．北京:机械工业出版社,1980:388—343 [1] 冯叶, 陈志勇, 姜肃猛, 宫骏, 单以银, 刘建荣, 王清江. 一种NiCrAlSiY涂层对Ti65钛合金板材循环氧化和室温力学性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 523-534. [2] 王伟, 解泽磊, 屈怡珅, 常文娟, 彭怡晴, 金杰, 王快社. Graphene/SiO2 纳米复合材料作为水基润滑添加剂的摩擦学性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 543-553. [3] 史畅, 杜宇航, 赖利民, 肖思明, 郭宁, 郭胜锋. CrTaTi难熔中熵合金的力学性能和抗氧化性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 443-452. [4] 李延伟, 罗康, 姚金环. Ni(OH)2 负极材料的十二烷基硫酸钠辅助制备及其储锂性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 453-462. [5] 王兴平, 薛文斌, 王文选. Zr-2合金表面ZrO2/Cr复合膜的高温蒸汽氧化行为[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 759-769. [6] 谢锋, 郭建峰, 王海涛, 常娜. ZnO/CdS/Ag复合光催化剂的制备及其催化和抗菌性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(1): 10-20. [7] 单位摇, 王永利, 李静, 熊良银, 杜晓明, 刘实. 锆合金表面Cr基涂层的耐高温氧化性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(9): 699-705. [8] 李福禄, 韩春淼, 高嘉望, 蒋健, 许卉, 李冰. 氧化石墨烯的变温发光[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 597-601. [9] 朱晓东, 夏杨雯, 喻强, 杨代雄, 何莉莉, 冯威. Cu掺杂金红石型TiO2 的制备及其光催化性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 635-640. [10] 高巍, 刘江南, 魏敬鹏, 要玉宏, 杨巍. TC4钛合金表面氧化亚铜掺杂微弧氧化层的结构和性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(6): 409-415. [11] 黄欢, 张迅韬, 杨尚科, 肖刘鑫, 张兆鑫, 严磊, 蔺海兰, 卞军, 陈代强. 氧化石墨烯/苯甲酸钠复合成核剂协同改性PA6纳米复合材料的性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(6): 416-424. [12] 孟祥东, 甄超, 刘岗, 成会明. CuO纳米阵列结构光阴极的制备及其光电化学分解水的性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(4): 241-249. [13] 陈铮, 杨芳, 王成, 杜瑶, 卢壹梁, 朱圣龙, 王福会. 惰性无机填料比例和颗粒尺寸对纳米Al/Al2O3 改性有机硅涂料抗高温氧化行为的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(4): 271-277. [14] 谢锐, 吕铮, 徐长伟, 王晴, 刘春明. 含钛氧化物弥散强化钢的微观组织和力学性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(2): 99-106. [15] 曾强, 王荣超, 刘绮, 彭化南, 陈平. 磁功能化石墨烯改性环氧树脂及其复合材料的性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(12): 881-886. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed