材料研究学报  1995, Vol. 9 Issue (4): 358-360

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火焰法沉积金刚石薄膜过程中碳在基底中的行为

郭志猛;殷声;赖和怡

北京科技大学;北京科技大学粉末冶金教研室

THE BEHAVIOR OF THE CARBON IN THE SUBSTRATE DURING DEPOSITING DIAMOND FILM BY COMBUSTION FLAME

GUO Zhimeng; YIN Sheng; LAI Heyi(University of Science and Tcehnology Beijing)

郭志猛;殷声;赖和怡. 火焰法沉积金刚石薄膜过程中碳在基底中的行为[J]. 材料研究学报, 1995, 9(4): 358-360.
, , . THE BEHAVIOR OF THE CARBON IN THE SUBSTRATE DURING DEPOSITING DIAMOND FILM BY COMBUSTION FLAME[J]. Chin J Mater Res, 1995, 9(4): 358-360.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1092 KB)   摘要: 采用火焰法在Mo基底上沉积金刚石薄膜,研究了在沉积过程中C在Mo基底中的行为.结果表明,在Mo基层上沉积金刚石时,碳原子与Mo反应形成Mo2C,随着时间延长,Mo2C层加厚,C原子扩散进入基底的速率下降,之后C原子在Mo2C层表面达到过饱和开始金刚石形核. 关键词 ： 燃烧火焰,  沉积,  金刚石,  扩散     Abstract：The diamond films were deposital on the Mo substrates by combustion name in air. The behavior of the carbon was investigated during depositing diamond films. The results show that firstlly the carbon atoms are absorbed on the surface of the substrate, sec Key words： combustion flame deposition diamond diffusion 收稿日期: 1995-08-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 郭志猛 殷声 赖和怡 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1995/V9/I4/358 1JoffreauPO,HaubnerR,LuxB．RM&HM,1988;7(4):1862WilliamsBE．GlassJT．JMaterResearch,1989;4(2):3733BeltonDN,SchmiegSJ．JApplPhys,1989;66(9):42234HarrisSJ,BeltonDN,WeinerAM．JApplPhys,1989;66(12):53535LaiHeryi,GuoZhimeng,YinSheng,13thInternationalPlanseeSeminar’93,PlanseeProceedings,1993:Vol3:2826徐克玷,王勤．钼合金,北京:冶金工业出版社,1984:217虞觉奇,易文质等．二元合金状态图集,上海:上海科技出版社,1987:2418赖和怡,刘国勋．合金扩散和热力学,北京:冶金工业出版社,1984:36 [1] 陆益敏, 马丽芳, 王海, 奚琳, 徐曼曼, 杨春来. 脉冲激光沉积技术生长铜材碳基保护膜[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 706-712. [2] 方向明, 任帅, 容萍, 刘烁, 高世勇. 自供能Ag/SnSe纳米管红外探测器的制备和性能研究[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 591-596. [3] 殷洁, 胡云涛, 刘慧, 杨逸霏, 王艺峰. 基于电沉积技术构建聚苯胺/海藻酸膜及电化学性能研究[J]. 材料研究学报, 2022, 36(4): 314-320. [4] 邵思武, 郑宇亭, 安康, 黄亚博, 陈良贤, 刘金龙, 魏俊俊, 李成明. 偏压技术在金刚石薄膜制备中应用的进展[J]. 材料研究学报, 2022, 36(3): 161-174. [5] 崔丽, 孙丽丽, 郭鹏, 马鑫, 王舒远, 汪爱英. 沉积时间对聚醚醚酮表面类金刚石薄膜的结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(11): 801-810. [6] 李修贤, 邱万奇, 焦东玲, 钟喜春, 刘仲武. α籽晶促进低温反应溅射沉积α-Al2O3薄膜[J]. 材料研究学报, 2022, 36(1): 8-12. [7] 李宁宁, 陈旸, 陈希, 殷利迎, 陈光. 包埋渗铝法制备Fe-Al渗层及其扩散机制[J]. 材料研究学报, 2021, 35(8): 572-582. [8] 赵万里, 索红莉, 刘敏, 马麟, 戴银明, 张子立. 用扩散法制备MgB2块材的研究进展[J]. 材料研究学报, 2021, 35(6): 411-418. [9] 熊文文, 何嵩, 郑淞生, 程其进, 沈宏勋, 陈朝. 用RF-PECVD法制备类金刚石薄膜[J]. 材料研究学报, 2021, 35(2): 154-160. [10] 唐长斌, 牛浩, 黄平, 王飞, 张玉洁, 薛娟琴. NF/PDMA/MnO2-Co电容电极对低浓度Pb2+的电吸附特性[J]. 材料研究学报, 2021, 35(2): 115-127. [11] 刘主峰, 黄耀东, 杨潇, 贺媛婧, 李昭青, 闫春泽. 基于激光选区熔化成形Ni-Cu合金模板的Ni-Cu-石墨烯复合材料的制备[J]. 材料研究学报, 2021, 35(1): 1-6. [12] 李辉, 潘捷, 曹凯元, 刘慧, 殷洁, 王艺峰. 用电沉积法制备纳米氧化锌/海藻酸钠复合膜[J]. 材料研究学报, 2020, 34(11): 829-834. [13] 汤洋. 电沉积氧化锌纳米柱的带隙和近带边发射蓝移[J]. 材料研究学报, 2020, 34(11): 875-880. [14] 甄龙云, 彭鹏, 仇成功, 郑蓓蓉, Armaou Antonios, 钟蓉. Al预沉积层对金属有机物化学气相沉积方法在Si衬底上生长AlN缓冲层和GaN外延层的影响[J]. 材料研究学报, 2020, 34(10): 744-752. [15] 张栋,柯培玲,汪爱英,王香勇,智理. 用PECVD工艺制备功能装饰氧化硅薄膜的性能[J]. 材料研究学报, 2019, 33(6): 467-474. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed