材料研究学报  2004, Vol. 18 Issue (2): 171-175

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非平衡磁控溅射类金刚石碳膜的性能

柳翠;李国卿;张成武;李新

大连理工大学三束材料改性国家重点实验室

Properties of diamond-like carbon films deposited by unbalanced magnetron sputtering

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大连理工大学三束材料改性国家重点实验室

柳翠; 李国卿; 张成武; 李新 . 非平衡磁控溅射类金刚石碳膜的性能[J]. 材料研究学报, 2004, 18(2): 171-175.
, , , . Properties of diamond-like carbon films deposited by unbalanced magnetron sputtering[J]. Chin J Mater Res, 2004, 18(2): 171-175.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1268 KB)   摘要: 用非平衡磁控溅射的方法在室温下制备了光滑、均匀、致密的类金刚石(DLC)薄膜, 分析和研究了DLC膜的形貌、结构和摩擦特性. 结果表明, 靶工作电流对DLC膜的沉积有重要的影响. 随着工作电流的增大, 薄膜的沉积速率增大, 薄膜中sp{3}键的含量增加. 薄膜的摩擦系数随着工作电流的增加略有增大, 在摩擦的初始阶段, 摩擦系数较高, 随着摩擦循环次数的增加, 摩擦系数逐渐减小, 并逐渐趋于稳定. 关键词 ： 无机非金属材料,  类金刚石碳膜,  非平衡磁控溅     Abstract：Smooth, dense and uniform diamond--like carbon (DLC) films for industrial application were successfully prepared by unbalanced magnetron sputtering. The morphology, structure and tribological properties were studied by AFM, Raman spectra and tribological tester. Results show that working current of target plays an important role in DLC film deposition. Deposition rate, sp$^{3}$ bonds content and friction coefficient increase with increasing the working current of target. In the beginning of the wear experiment, the friction coefficient is high, but then decreases gradually with the increase of sliding cycles, reaching a constant value ranging between 0.1 and 0.15. Key words： inorganic non-metallic materials    diamond-like carbon films    unbalanced magnetron sputtering    propertie 收稿日期: 2004-05-21      ZTFLH:  TG155   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 柳翠 李国卿 张成武 李新 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y2004/V18/I2/171 1 C.Donnet, Surf.Coat. Technol.,100～101,180(1998) 2 J.Robertson, Surf.Coat. Technol.,50,185(1992) 3 Teruyuki Kitagawa,Isao Yanada,Noriaki Toyoda,Harushige Tsubakino,Jiro Matsuo,G.H.Takaoka,Allen Kirkpatrick,Nucl.Instr.and Meth.in Phys.Res.B,201,405(2003) 4 Jyh-Ming Ting,Howard Lee, Diam. Relat.Mater.,11,1119(2002) 5 Othon R.Monteriro,Marie-Paule Delplancke-Ogletree,Surf.Coat.Technol.,163～164,144(2003) 6 H.Inaba,S.Fujimaki, K.Furusawa,S.Todoroki,Vacuum,66,487(2002) 7 K.Baba,R.Hatada,Nucl.Instr.and Meth.in Phys.Res.B,206,708(2003) 8 V.Bursikova,V.Navratil,L.Zajickova,J.Janca,Mater.Sci.Eng.,A324,251(2002) 9 P.J.Martin,A.Bendavid,Thin Solid Films,394,1(2001) 10 A.Sanchez,C.Rincon,G.Zamberano,H.Galindo,P.Prieto,Thin Solid Films,373,247(2000) 11 Nobuki Mutsukura,Vacuum,56,129(2000) 12 Y.Liu,Aerdemir,E.I.Meletis,Surf.Coat.Technol.,82,48(1996) 13 Liuhe Li,Haiquan Zhang,Yanhua Zhang,Paul K.Chu,Xiubo Tian,Lifang Xia,Xinxin Ma,Mater.Sci.Eng.,B94,95(2002) 14 Y.Funada,K.Awazu,K.Shimamura,M.Iwaki,Surf Coat.Technol.,103～104,389(1998) 15 B.K.Tay,X.Shi,H.S.Tan,H.S.Yang,Z.Sun,Surf Coat.Technol.,105,155(1998) 16 J.Robertson,Advanced in Physics,35(4) ,317(1986) 17 J.Schuan,S.Ulrich,V.Batori,H.Ehrhardt,S.R.P.Silva,J.Appl.Phys.,80,440(1996) 18 C.Donnet,A.Grill,Surf.Coat.Technol.,94～95,456(1997) 19 C.Donnet,Surf Coat.Technol.,80,151(1996) 20 R.Hauert,U.Muller,Diam.Relat.Mater.,12,171(2003) [1] 宋莉芳, 闫佳豪, 张佃康, 薛程, 夏慧芸, 牛艳辉. 碱金属掺杂MIL125的CO2 吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 649-654. [2] 邵鸿媚, 崔勇, 徐文迪, 张伟, 申晓毅, 翟玉春. 空心球形AlOOH的无模板水热制备和吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 675-684. [3] 任富彦, 欧阳二明. g-C3N4 改性Bi2O3 对盐酸四环素的光催化降解[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 633-640. [4] 刘明珠, 樊娆, 张萧宇, 马泽元, 梁城洋, 曹颖, 耿仕通, 李玲. SnO2 作散射层的光阳极膜厚对量子点染料敏化太阳能电池光电性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 554-560. [5] 李延伟, 罗康, 姚金环. Ni(OH)2 负极材料的十二烷基硫酸钠辅助制备及其储锂性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 453-462. [6] 余谟鑫, 张书海, 朱博文, 张晨, 王晓婷, 鲍佳敏, 邬翔. N掺杂生物炭的制备及其对Co2+ 的吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(4): 291-300. [7] 朱明星, 戴中华. SrSc0.5Nb0.5O3 改性BNT基无铅陶瓷的储能特性研究[J]. 材料研究学报, 2023, 37(3): 228-234. [8] 刘志华, 岳远超, 丘一帆, 卜湘, 阳涛. g-C3N4/Ag/BiOBr复合材料的制备及其光催化还原硝酸盐氮[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 781-790. [9] 周毅, 涂强, 米忠华. 制备方法对磷酸盐微晶玻璃结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 739-746. [10] 谢锋, 郭建峰, 王海涛, 常娜. ZnO/CdS/Ag复合光催化剂的制备及其催化和抗菌性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(1): 10-20. [11] 余超, 邢广超, 吴郑敏, 董博, 丁军, 邸敬慧, 祝洪喜, 邓承继. 亚微米Al2O3 对重结晶碳化硅的作用机制[J]. 材料研究学报, 2022, 36(9): 679-686. [12] 方向明, 任帅, 容萍, 刘烁, 高世勇. 自供能Ag/SnSe纳米管红外探测器的制备和性能研究[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 591-596. [13] 李福禄, 韩春淼, 高嘉望, 蒋健, 许卉, 李冰. 氧化石墨烯的变温发光[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 597-601. [14] 朱晓东, 夏杨雯, 喻强, 杨代雄, 何莉莉, 冯威. Cu掺杂金红石型TiO2 的制备及其光催化性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 635-640. [15] 熊庭辉, 蔡文汉, 苗雨, 陈晨龙. ZnO纳米棒阵列和薄膜的同步外延生长及其光电化学性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(7): 481-488. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed