材料研究学报  2004, Vol. 18 Issue (1): 1-5

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非化学计量比SbOx薄膜的结晶动力学研究

方铭;李青会;干福熹

中国科学院上海光学精密机械研究所

Crystallization kinetics of non-stoichiometric SbOx thin films

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中国科学院上海光学精密机械研究所

方铭; 李青会; 干福熹 . 非化学计量比SbOx薄膜的结晶动力学研究[J]. 材料研究学报, 2004, 18(1): 1-5.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(984 KB)   摘要: 利用直流磁控反应溅射法在不同氧分压下制备了SbOx薄膜，对退火前后薄膜的X射线衍射(XRD)分析表明，退火后薄膜结构发生了从非晶态向晶态的转变。利用示差扫描量热法(DSC)测出不同升温速度条件下非晶态薄膜粉末的晶化峰温度，用Kissinger公式计算了材料的结晶活化能。计算结果表明，随着溅射时氧分压的增加，薄膜的结晶活化能增加，而相应的非晶态与晶态之间的焓差则呈现出相反的变化趋势。 关键词 ： 无机非金属材料,  SbOx薄膜,  反应溅射,  XRD,  DSC     Abstract：Non-stoichiometric SbOx thin films were prepared by the method of reactive DC magnetron sputtering under different oxygen partial pressureS. X-ray diffraction (XRD) spectra of the as-deposited and annealed films showed that the films changed from amorphous to crystalline states due to the heat-treatment. The peak temperatures of crystallization at different heating rates were determined by using DSC (Differential Scanning Calorimeter) analysis. Based on the Kissinger formula, the crystallization activation energies of these amorphous films were calculated. The results showed that the activation energy increased with the increase of oxygen partial pressure, while the enthalpy difference between the as-deposited and the crystalline states decreased. Key words： inorganic non-metallic materials    SbOx thin films    reactive sputtering    XRD    DSC    crystallization kinetic 收稿日期: 2003-04-24      ZTFLH:  TB383   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 方铭 李青会 干福熹 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/Y2004/V18/I1/1 1 T.Ohta, M.Takenaga, N.Akahira, T.Yamashita, J.Appl.Phys., 53(12) , 8497(1983) 2 N.Akahira, T.Ohta, M.Takenaga, T.Yamashita, Proc. of SPIE, 329, 195(1982) 3 C.N.Afonso, M.C.Morilla, J.Solis, N.H.Rizvi, Mater.Sci.Eng., A173, 343(1993) 4 Junji Tominaga, Nobufumi Atoda, Jpn.J.Appl.Phys., 38(3B), L322(1999) 5 XIE Quan(谢泉), HOU Lisong(侯立松), GAN Fuxi(干福熹), RUAN Hao(阮昊), LI Jing(李晶), LI Jinyan(李进延), Chinese Journal of Materials Research(材料研究学报), 14(5) , 501(2000) 6 LI Jinyan(李进延), HOU Lisong(侯立松), GAN Fuxi(干福熹), Chinese Journal of Materials Research(材料研究学报), 15(5) , 553(2001) 7 LIU Bo(刘波), RUAN Hao(阮昊), GAN Fuxi(干福熹), Chinese Journal of Materials Research(材料研究学报), 16(4) , 413(2002) 8 GAN Fuxi(干福熹), Digital Optical Disks and Optical Storage Media(数字光盘和光存储材料), (Shanghai, Shanghai Science and Technology Press, 1992) p.66 9 Atsushi Ebina, Masao Hirasaka, Kenji Nakatani, J.Vac.Sci.Technol., A17(6) , 3463(1999) 10 Rie Kojima, Shoichi Okabayashi, Toshiaki Kashihara, Keiichiro Horai, Toshiyuki Matsunaga, Eiji Ohno, Noboru Yamada, Takeo Ohta, Jpn.J.Appl.Phys., 37(4B), 2098(1998) 11 T.Missana, C.N.Afonso, A.K.Petford-Long, Philosophical Magazine A, 79(10) , 2577(1999) 12 K.E.Christian, The Theory of Transformations in metals and Alloys, 2nd ed. (Pergamon, Oxford, 1975) 13 Liqiu Men, Junji Tominaga, Hiroshi Fuji, Takashi Kikukawa, Nobufumi Atoda, Jpn.J.Appl.Phys., 40(3B), 1629(2001)B [1] 宋莉芳, 闫佳豪, 张佃康, 薛程, 夏慧芸, 牛艳辉. 碱金属掺杂MIL125的CO2 吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 649-654. [2] 邵鸿媚, 崔勇, 徐文迪, 张伟, 申晓毅, 翟玉春. 空心球形AlOOH的无模板水热制备和吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 675-684. [3] 任富彦, 欧阳二明. g-C3N4 改性Bi2O3 对盐酸四环素的光催化降解[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 633-640. [4] 刘明珠, 樊娆, 张萧宇, 马泽元, 梁城洋, 曹颖, 耿仕通, 李玲. SnO2 作散射层的光阳极膜厚对量子点染料敏化太阳能电池光电性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 554-560. [5] 李延伟, 罗康, 姚金环. Ni(OH)2 负极材料的十二烷基硫酸钠辅助制备及其储锂性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 453-462. [6] 余谟鑫, 张书海, 朱博文, 张晨, 王晓婷, 鲍佳敏, 邬翔. N掺杂生物炭的制备及其对Co2+ 的吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(4): 291-300. [7] 朱明星, 戴中华. SrSc0.5Nb0.5O3 改性BNT基无铅陶瓷的储能特性研究[J]. 材料研究学报, 2023, 37(3): 228-234. [8] 刘志华, 岳远超, 丘一帆, 卜湘, 阳涛. g-C3N4/Ag/BiOBr复合材料的制备及其光催化还原硝酸盐氮[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 781-790. [9] 周毅, 涂强, 米忠华. 制备方法对磷酸盐微晶玻璃结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 739-746. [10] 谢锋, 郭建峰, 王海涛, 常娜. ZnO/CdS/Ag复合光催化剂的制备及其催化和抗菌性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(1): 10-20. [11] 余超, 邢广超, 吴郑敏, 董博, 丁军, 邸敬慧, 祝洪喜, 邓承继. 亚微米Al2O3 对重结晶碳化硅的作用机制[J]. 材料研究学报, 2022, 36(9): 679-686. [12] 方向明, 任帅, 容萍, 刘烁, 高世勇. 自供能Ag/SnSe纳米管红外探测器的制备和性能研究[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 591-596. [13] 李福禄, 韩春淼, 高嘉望, 蒋健, 许卉, 李冰. 氧化石墨烯的变温发光[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 597-601. [14] 朱晓东, 夏杨雯, 喻强, 杨代雄, 何莉莉, 冯威. Cu掺杂金红石型TiO2 的制备及其光催化性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 635-640. [15] 熊庭辉, 蔡文汉, 苗雨, 陈晨龙. ZnO纳米棒阵列和薄膜的同步外延生长及其光电化学性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(7): 481-488. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed