材料研究学报  2006, Vol. 20 Issue (2): 120-124

论文 本期目录 | 过刊浏览 |

退火对Mg离子注入 p-GaN薄膜性能的影响

罗浩俊 ;胡成余 ;姚淑德 ;秦志新

北京大学介观物理与人工微结构国家重点实验室;北京大学宽禁带半导体研究中心; 北京大学物理学院;北京100871

Large\bf Effects of annealing on the properties of the Mg--ion

LUO Haojun;HU Chengyu;YAO Shude;QIN Zhixin

State Key Laboratory of Artificial Microstructure and Microscopic Physics

罗浩俊; 胡成余; 姚淑德; 秦志新 . 退火对Mg离子注入 p-GaN薄膜性能的影响[J]. 材料研究学报, 2006, 20(2): 120-124.
, , , . Large\bf Effects of annealing on the properties of the Mg--ion[J]. Chin J Mater Res, 2006, 20(2): 120-124.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(713 KB)   摘要: 在用MOCVD方法生长的p--GaN薄膜中注入Mg离子, 然后在N$_{2}$气氛下在850$\sim$1150℃之间快速退火, 研究了Mg$^{+}$离子注入后样品退火前后的结构、光学和电学性质. 结果表明, 离子注入使GaN晶体沿着$a$轴和$c$轴方向同时膨胀. 在离子注入后的p--GaN薄膜的拉曼散射谱中出现波数为300 cm$^{-1}$和360 cm$^{-1}$两个新峰, 其强度随着退火温度而变化. 这两个新峰分别对应于布里渊区边界的最高声学声子支的 振动模式和局域振动模式. 消除这两个损伤引起的峰的临界温度是不同的. 注入剂量1$\times$10$^{14}$cm$^{-2}$是一个临界值, 对于注入剂量高于这个临界值的样品, 高温退火不能使其晶体质量全部恢复. 关键词 ： 无机非金属材料,  p--GaN,  离子注入     Key words： 收稿日期: 1900-01-01      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 罗浩俊 胡成余 姚淑德 秦志新 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y2006/V20/I2/120 1 S.Nakamura,T.Mukai,M.Senoh,Appl.Phys.Lett.,64,1687(1994) 2 S.J.Pearton,J.C.Zolper,R.J.Shul,F.Ren,J.Appl.Phys.,86,1(1999) 3 X.A.Cao,S.J.Pearton,Appl.Phys.Lett.,73,942(1998) 4 S.O.Kucheyev,J.S.Williams,C.Jagadish,Phys.Rev.B.,64(3),art.no.035202(2001) 5 C.Ronning,E.P.Carlson,R.F,Physics Reports,351,349(2001) 6 C.C.Yu,C.F.Hu,J.Y.Tsai,C.F.Lin,S.C.Wang,J.Appl.Phys.,92,1881(2002) 7 W.Limmer,W.Ritter,R.Sauer,Appl.Phys.Lett.,72,2589(1998). 8 M.Katsikini,K.Papagelis,E.C.Paloura,S.Ves,J.Appl.Phys.,94,4389(2003) 9 H.Siegle,G.Kaczmarczyk,L.Filippidis,A.P.Litvinchuk,A.Hoffmann,C.Thomsen,Phys.Rev.B.,55,7000(1997) 10 L.S.Wang,S.Tripathy,W.H.Sun,S.J.Chua,J.Raman Spectroscopy,35,73(2004) [1] 宋莉芳, 闫佳豪, 张佃康, 薛程, 夏慧芸, 牛艳辉. 碱金属掺杂MIL125的CO2 吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 649-654. [2] 邵鸿媚, 崔勇, 徐文迪, 张伟, 申晓毅, 翟玉春. 空心球形AlOOH的无模板水热制备和吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 675-684. [3] 任富彦, 欧阳二明. g-C3N4 改性Bi2O3 对盐酸四环素的光催化降解[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 633-640. [4] 刘明珠, 樊娆, 张萧宇, 马泽元, 梁城洋, 曹颖, 耿仕通, 李玲. SnO2 作散射层的光阳极膜厚对量子点染料敏化太阳能电池光电性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 554-560. [5] 李延伟, 罗康, 姚金环. Ni(OH)2 负极材料的十二烷基硫酸钠辅助制备及其储锂性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 453-462. [6] 余谟鑫, 张书海, 朱博文, 张晨, 王晓婷, 鲍佳敏, 邬翔. N掺杂生物炭的制备及其对Co2+ 的吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(4): 291-300. [7] 朱明星, 戴中华. SrSc0.5Nb0.5O3 改性BNT基无铅陶瓷的储能特性研究[J]. 材料研究学报, 2023, 37(3): 228-234. [8] 刘志华, 岳远超, 丘一帆, 卜湘, 阳涛. g-C3N4/Ag/BiOBr复合材料的制备及其光催化还原硝酸盐氮[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 781-790. [9] 周毅, 涂强, 米忠华. 制备方法对磷酸盐微晶玻璃结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 739-746. [10] 谢锋, 郭建峰, 王海涛, 常娜. ZnO/CdS/Ag复合光催化剂的制备及其催化和抗菌性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(1): 10-20. [11] 余超, 邢广超, 吴郑敏, 董博, 丁军, 邸敬慧, 祝洪喜, 邓承继. 亚微米Al2O3 对重结晶碳化硅的作用机制[J]. 材料研究学报, 2022, 36(9): 679-686. [12] 方向明, 任帅, 容萍, 刘烁, 高世勇. 自供能Ag/SnSe纳米管红外探测器的制备和性能研究[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 591-596. [13] 李福禄, 韩春淼, 高嘉望, 蒋健, 许卉, 李冰. 氧化石墨烯的变温发光[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 597-601. [14] 朱晓东, 夏杨雯, 喻强, 杨代雄, 何莉莉, 冯威. Cu掺杂金红石型TiO2 的制备及其光催化性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 635-640. [15] 熊庭辉, 蔡文汉, 苗雨, 陈晨龙. ZnO纳米棒阵列和薄膜的同步外延生长及其光电化学性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(7): 481-488. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed