材料研究学报  2004, Vol. 18 Issue (6): 582-586

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用于微机电系统的类金刚石膜制备及表征

李新;唐祯安;徐军

大连理工大学三束材料改性国家重点实验室

Preparation and characterization of DLC films for microelectromechanical systems (MEMS) applications

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大连理工大学三束材料改性国家重点实验室

李新; 唐祯安; 徐军 . 用于微机电系统的类金刚石膜制备及表征[J]. 材料研究学报, 2004, 18(6): 582-586.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1496 KB)   摘要: 采用等离子体源离子注入和电子回旋共振--微波等离子体辅助化学气相沉积技术相结合的 方法在Si衬底上制备出了性能良好的类金刚石膜. 通过共聚焦Raman光谱验证了薄膜的类金刚石特性, 用原子力显微镜、 微摩擦计和扫描电镜等对薄膜的表面形貌、摩擦系数和耐磨损性能进行了表征和测量. 结果表明, 用离子注入法制备过渡层大大提高了DLC膜与衬底的结合强度, 薄膜的表面比较光滑, 粗糙度大约为0.198 nm, 具有较低的摩擦系数(0.1$\sim$0.15), 具有较好的耐磨损性能. 关键词 ： 无机非金属材料,  类金刚石膜,  等离子体源离子     Abstract：Diamond--like carbon (DLC) films were prepared on Si(100) substrates by combining plasma source ion implantation and electron cyclotron resonance microwave plasma enhanced chemical vapor deposition technique. Confocal Raman spectra confirmed the DLC characteristics of the films. The surface roughness of the films was measured with an atomic force microscope. The CERT microtribometer system was employed to obtain information about the scratch resistance, friction properties, and sliding wear resistance of the films. The condition of wear was checked by a scanning electron microscope. The results show that the adherent strength between DLC films and substrates was improved by plasma source ion implantation, and the films had low friction coefficient (0.1$\sim$0.15) and good wear--resistant performance. Key words： inorganic non-metallic materials    diamond-like carbon    plasma source ion implantation    plasma enhanced 收稿日期: 2004-12-29      ZTFLH:  TB321   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 李新 唐祯安 徐军 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/Y2004/V18/I6/582 1 WANG Liding, LIU Chong, Journal of Dalian University of Technology, 40(5), 505(2000) (王立鼎,刘冲,大连理工大学学报,40(5),505(2000)) 2 J.M.Sallese, P.Fazan, Sens. Actuators A, 109(3), 186(2004) 3 R.Bandorf, H.Luthje, T.Staedler, Diamond Relat. Mater., 13, 1491(2004) 4 J.Robertson, Mater. Sci. Eng. R: Reports, 37, 129(2002) 5 WANG Weiyuan, WANG Xiaodong, MAO Minyao, YANG Yirong, REN Congxin, XIE Jianfang, Science Bulletin, 44(4), 355(1999) (王渭源,王效东,毛敏耀,杨艺榕,任琮欣,解健芳,科学通报,44(4),355(1999)) 6 Y.T.Kim, S.M.Cho, W.S.Choi, B.Hong, D.H.Yoon, Surf. Coat Technol., 169-170, 291(2003) 7 LI Xin, TANG Zhenan, MA Guojia, Chin. Phys. Lett., 20(5), 692(2003) 8 J.P.Melissa, Diamond Relat. Mater., 3-6, 1053(2002) 9 F.A.Carlo, Diamond Relat. Mater., 5, 1407(1996) 10 LI Xiaodong, B.Bhushan, K.Takashima, C.W Baek, Y.K.Kim, Ultramicroscopy, 97, 481(2003) [1] 宋莉芳, 闫佳豪, 张佃康, 薛程, 夏慧芸, 牛艳辉. 碱金属掺杂MIL125的CO2 吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 649-654. [2] 邵鸿媚, 崔勇, 徐文迪, 张伟, 申晓毅, 翟玉春. 空心球形AlOOH的无模板水热制备和吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 675-684. [3] 任富彦, 欧阳二明. g-C3N4 改性Bi2O3 对盐酸四环素的光催化降解[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 633-640. [4] 刘明珠, 樊娆, 张萧宇, 马泽元, 梁城洋, 曹颖, 耿仕通, 李玲. SnO2 作散射层的光阳极膜厚对量子点染料敏化太阳能电池光电性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 554-560. [5] 李延伟, 罗康, 姚金环. Ni(OH)2 负极材料的十二烷基硫酸钠辅助制备及其储锂性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 453-462. [6] 余谟鑫, 张书海, 朱博文, 张晨, 王晓婷, 鲍佳敏, 邬翔. N掺杂生物炭的制备及其对Co2+ 的吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(4): 291-300. [7] 朱明星, 戴中华. SrSc0.5Nb0.5O3 改性BNT基无铅陶瓷的储能特性研究[J]. 材料研究学报, 2023, 37(3): 228-234. [8] 刘志华, 岳远超, 丘一帆, 卜湘, 阳涛. g-C3N4/Ag/BiOBr复合材料的制备及其光催化还原硝酸盐氮[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 781-790. [9] 周毅, 涂强, 米忠华. 制备方法对磷酸盐微晶玻璃结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 739-746. [10] 谢锋, 郭建峰, 王海涛, 常娜. ZnO/CdS/Ag复合光催化剂的制备及其催化和抗菌性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(1): 10-20. [11] 余超, 邢广超, 吴郑敏, 董博, 丁军, 邸敬慧, 祝洪喜, 邓承继. 亚微米Al2O3 对重结晶碳化硅的作用机制[J]. 材料研究学报, 2022, 36(9): 679-686. [12] 方向明, 任帅, 容萍, 刘烁, 高世勇. 自供能Ag/SnSe纳米管红外探测器的制备和性能研究[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 591-596. [13] 李福禄, 韩春淼, 高嘉望, 蒋健, 许卉, 李冰. 氧化石墨烯的变温发光[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 597-601. [14] 朱晓东, 夏杨雯, 喻强, 杨代雄, 何莉莉, 冯威. Cu掺杂金红石型TiO2 的制备及其光催化性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 635-640. [15] 熊庭辉, 蔡文汉, 苗雨, 陈晨龙. ZnO纳米棒阵列和薄膜的同步外延生长及其光电化学性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(7): 481-488. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed