用激光烧结法制备的SnO2薄膜的气敏性质

材料研究学报

2003, Vol. 17

Issue (2): 181-185

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用激光烧结法制备的SnO2薄膜的气敏性质

孙克;赵岩;沈文锋;张彩碚

1.东北大学2.中国科学院金属研究所

引用本文:

孙克; 赵岩; 沈文锋; 张彩碚 . 用激光烧结法制备的SnO2薄膜的气敏性质[J]. 材料研究学报, 2003, 17(2): 181-185.

全文: PDF(901 KB)

摘要: 用溶胶-凝胶法制备SnO2前驱液,然后用提拉法分别在单晶Si和Al2O3基片表面制备出SnO2前驱膜,再用脉冲Nd:YAG激光烧结前驱膜使其转变为晶体SnO2薄膜.用XRD分析了单晶Si表面的SnO2薄膜，研究激光功率对SnO2薄膜相组成的影响。TEM观察表明，激光烧结后的薄膜SnO2颗粒均匀,直径约为10 nm. 用激光烧结法制备的SnO2薄膜对180ppm丙酮的最高灵敏度为30~40,明显高于用传统烧结炉烧结出的SnO2薄膜的灵敏度。用激光烧结能降低薄膜具有最高灵敏度的工作温度.

关键词 ：无机非金属材料, SnO2薄膜, 激光烧结

Key words：

收稿日期: 1900-01-01

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