材料研究学报  2006, Vol. 20 Issue (1): 29-32

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100 nm厚铜薄膜的拉伸性能

张滨;孙恺红;宫骏;孙超;才庆魁;张广平

东北大学材料与冶金学院; 沈阳110004

张滨; 孙恺红; 宫骏; 孙超; 才庆魁; 张广平 . 100 nm厚铜薄膜的拉伸性能[J]. 材料研究学报, 2006, 20(1): 29-32.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(574 KB)   摘要: 以聚酰亚胺为基体制备了厚度为100 nm的金属铜薄膜, 利用基体的高弹性变形测定了铜薄膜的屈服应力, 并研究了铜薄膜的形变与断裂行为. 结果表明: 使用铜薄膜/聚酰亚胺复合体能够测量出铜薄膜的屈服强度, 厚度100 nm的铜薄膜的屈服强度明显高于厚铜膜的屈服强度, 厚度100 nm铜薄膜的断裂为I型沿晶断裂. 超薄铜薄膜较高的屈服强度归因于小尺度材料中纳米量级的薄膜厚度和晶粒对位错运动的约束作用. 关键词 ： 金属材料,  超薄铜薄膜,  聚酰亚胺,  屈服应力     Key words： 收稿日期: 1900-01-01      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 张滨 孙恺红 宫骏 孙超 才庆魁 张广平 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/Y2006/V20/I1/29 1 W.Menz, J.Mohr, O.Paul, Microsystem Technology, (Weinheim, WILEY-VCH, 2001) p.289 2 M.Ohring, Reliability and Failure of Electronic Materials and Devices (Academic Press, San Diego, 1998) p.1 3 W.D.Nix, Metall. Trans., A20(11), 2217(1989) 4 ZHANG Guangping, WANG Zhongguang, Acta Metall. Sinica, 41(1), 1(2005) (张广平,王中光,金属学报,41(1),1(2005)) 5 O.Kraft, C.A.Volkert, Adv. Eng. Mater., 3(3), 99(2001) 6 F.Macionczyk, W.Bruckner, J. Appl. Phys., 86(9), 4922(1999) 7 G.P.Zhang, R.Schwaiger, C.A.Volkert, E.Arzt, O.Kraft, J. Mater. Res., 20(1), 201(2005) 8 T.H.Courtney, Mechanical Behavior of Materials, (The Mcgraw-Hill Companies, Inc. 2000) p.347 9 M.Hommel, O.Kraft, Acta Mater., 49, 3935(2001) 10 Denis Y. W. Yu, F. Spaepen, J. Appl. Phys., 95(6), 2991(2004) 11 G.P.Zhang, K.H.Sun, Y.Liu, X.F.Zhu, unpublished re search(2005) 12 E.O.Hall, Proc. Phys. Soc., 643, 747(1951) 13 N.J.Petch, J. Iron Steel Inst., 173, 25(1953) 14 R.M.Keller, S.P.Baker, E.Arzt, J. Mater. Res., 13, 1307(1998) [1] 毛建军, 富童, 潘虎成, 滕常青, 张伟, 谢东升, 吴璐. AlNbMoZrB系难熔高熵合金的Kr离子辐照损伤行为[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 641-648. [2] 宋莉芳, 闫佳豪, 张佃康, 薛程, 夏慧芸, 牛艳辉. 碱金属掺杂MIL125的CO2 吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 649-654. [3] 赵政翔, 廖露海, 徐芳泓, 张威, 李静媛. 超级奥氏体不锈钢24Cr-22Ni-7Mo-0.4N的热变形行为及其组织演变[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 655-667. [4] 邵鸿媚, 崔勇, 徐文迪, 张伟, 申晓毅, 翟玉春. 空心球形AlOOH的无模板水热制备和吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 675-684. [5] 幸定琴, 涂坚, 罗森, 周志明. C含量对VCoNi中熵合金微观组织和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 685-696. [6] 欧阳康昕, 周达, 杨宇帆, 张磊. 含LPSO相Mg-Y-Er-Ni合金的组织和拉伸性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 697-705. [7] 徐利君, 郑策, 冯小辉, 黄秋燕, 李应举, 杨院生. 定向再结晶对热轧态Cu71Al18Mn11合金的组织和超弹性性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 571-580. [8] 熊诗琪, 刘恩泽, 谭政, 宁礼奎, 佟健, 郑志, 李海英. 固溶处理对一种低偏析高温合金组织的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 603-613. [9] 刘继浩, 迟宏宵, 武会宾, 马党参, 周健, 徐辉霞. 喷射成形M3高速钢热处理过程中组织的演变和硬度偏低问题[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 625-632. [10] 由宝栋, 朱明伟, 杨鹏举, 何杰. 合金相分离制备多孔金属材料的研究进展[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 561-570. [11] 任富彦, 欧阳二明. g-C3N4 改性Bi2O3 对盐酸四环素的光催化降解[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 633-640. [12] 王昊, 崔君军, 赵明久. 镍基高温合金GH3536带箔材的再结晶与晶粒长大行为[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 535-542. [13] 刘明珠, 樊娆, 张萧宇, 马泽元, 梁城洋, 曹颖, 耿仕通, 李玲. SnO2 作散射层的光阳极膜厚对量子点染料敏化太阳能电池光电性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 554-560. [14] 秦鹤勇, 李振团, 赵光普, 张文云, 张晓敏. 固溶温度对GH4742合金力学性能及γ' 相的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 502-510. [15] 刘天福, 张滨, 张均锋, 徐强, 宋竹满, 张广平. 缺口应力集中系数对TC4 ELI合金低周疲劳性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 511-522. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed