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材料研究学报  2003, Vol. 17 Issue (2): 205-209    
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Fe-Al-N薄膜的制备和磁性能
诸葛兰剑; 吴雪梅 ; 姚伟国
苏州大学
引用本文:

诸葛兰剑; 吴雪梅; 姚伟国 . Fe-Al-N薄膜的制备和磁性能[J]. 材料研究学报, 2003, 17(2): 205-209.

全文: PDF(997 KB)  
摘要: 用双离子束溅射法在(100)硅片和NaCl单晶基片上制备出FeAlN薄膜,研究了主源气氛和基片温度对FeAlN薄膜的结构及磁性能的影响。在基片温度较高或主源中氮的含量较低时,FeAlN薄膜有较高的饱和磁化强度MS。加入Al使薄膜的晶粒细化,也使其矫顽力下降,热稳定性提高。在500℃退火后,Al的原子分数为10.0 %的FeAlN薄膜仍具有较好的软磁性能,饱和磁化强度MS和矫顽力HC分别为2.02 T和0.96 kA/m。
关键词 金属材料磁性能离子束溅射FeAlN薄膜     
Key words
收稿日期: 1900-01-01     
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