材料研究学报  1997, Vol. 11 Issue (4): 363-368

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热处理温度对铁电薄膜底电极Pt和Pt/Ti物相与形貌的影响

宋志棠;任巍;吴小清;张良莹;姚熹

西安交通大学;西安交通大学;西安交通大学;西安交通大学;西安交通大学

EFFECT OF ANNEALING TEMPERATURES ON PHASES AND MICROSTRUCTURES OF Pt AND Pt / Ti BOTTOM ELECTRODES FOR FERROELECTRIC THIN FILMS

SONG Zhitang; REN Wei; WU Xiaoqing; ZHANG Liangying; YAO Xi (Xi'an Jiaotong University)

宋志棠;任巍;吴小清;张良莹;姚熹. 热处理温度对铁电薄膜底电极Pt和Pt/Ti物相与形貌的影响[J]. 材料研究学报, 1997, 11(4): 363-368.
, , , , . EFFECT OF ANNEALING TEMPERATURES ON PHASES AND MICROSTRUCTURES OF Pt AND Pt / Ti BOTTOM ELECTRODES FOR FERROELECTRIC THIN FILMS[J]. Chin J Mater Res, 1997, 11(4): 363-368.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1708 KB)   摘要: 随着热处理温度上升,在SiO2/Si衬底上溅射的Pt、Pt/Ti电极中,构成Pt薄膜的晶粒由小变大,由分布均匀到晶粒局部聚集,最后分离成小岛.Ti层可提高Pt薄膜与基片间的粘附性和高温下的稳定化快速热处理可提高Pt薄膜在高温下的连续性.并研究了Pt薄膜对PLT铁电薄膜的成品率和分散性的影响. 关键词 ： Pt薄膜,  铁电薄膜,  直流溅射,  缺陷,  电极     Abstract：Pt and Pt / Ti electrodes were dc-sputtered on Sio2 / Si substrates. As deposited samples were thermal treated at various temperatures by the common thermal annealing (CTA) process and the rapid thermal annealing (RTA) process respectively. Phase identifi Key words： Pt thin films ferroelectric thin films dc-sputtering defects electrodes 收稿日期: 1997-08-25      基金资助:国家863高技术项目!863715050103 服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 宋志棠 任巍 吴小清 张良莹 姚熹 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1997/V11/I4/363 1.Kyu Ho Park,Cha Yeon Kim,Young Woo Jeong.J.Mater.Res.10(7),1790(1995) [1] 邵萌萌, 陈招科, 熊翔, 曾毅, 王铎, 王徐辉. C/C-ZrC-SiC复合材料的Si2+ 离子辐照行为[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 472-480. [2] 刘欢, 李幸福, 杨易, 李聪, 付正容, 柏云花, 张正洪, 朱心昆. 梯度结构铜铝合金的室温加工硬化行为[J]. 材料研究学报, 2023, 37(2): 95-101. [3] 杨留洋, 谭卓伟, 李同跃, 张大磊, 邢少华, 鞠虹. 利用WBE及EIS测试技术对管道缺陷区动态冲刷腐蚀行为的研究[J]. 材料研究学报, 2022, 36(5): 381-391. [4] 郎振乾, 叶政, 杨健, 黄继华. 单晶高温合金表面缺陷焊接修复的研究进展[J]. 材料研究学报, 2021, 35(3): 161-174. [5] 张泽灵, 王世琦, 徐邦利, 赵昱皓, 张旭海, 方峰. FeCoNiMoCr高熵合金薄膜电极的电催化析氧性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(3): 193-200. [6] 唐长斌, 牛浩, 黄平, 王飞, 张玉洁, 薛娟琴. NF/PDMA/MnO2-Co电容电极对低浓度Pb2+的电吸附特性[J]. 材料研究学报, 2021, 35(2): 115-127. [7] 武梦姣, 任召辉, 田鹤, 韩高荣. 铁电极化诱导的PbTiO3薄膜的取向聚集生长和晶粒尺寸调控[J]. 材料研究学报, 2020, 34(9): 650-658. [8] 欧金花, 胡波年, 王薇, 韩瑜. 透明MSe2@氮掺杂碳膜对电极用于钴电解质双面DSSC[J]. 材料研究学报, 2020, 34(9): 683-690. [9] 施嘉伦, 盛敏奇, 吴琼, 吕凡. 非晶Co-W-B/碳布复合电极材料的制备及其电解水催化性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(4): 263-271. [10] 易科尖,吴明泽,张继旺,闫军芳,梅桂明,朱守东,苏凯新. 含缺陷的Al-Si-Mg合金的疲劳性能和强度评估[J]. 材料研究学报, 2020, 34(1): 29-34. [11] 骆迁,姜朝斌,黄万雄,刘赐宇,严航,陈勇,叶波. 贱金属Ni电极的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2019, 33(2): 131-137. [12] 李爱娇,王燕华,钟莲,王佳,冯林,杨培培. SiO2颗粒对碳钢表面电化学特性的影响[J]. 材料研究学报, 2017, 31(6): 422-428. [13] 赵金华, 王学强, 康健, 袁国, 邸洪双. 超快冷工艺下X80管线钢的DWTT裂纹扩展行为[J]. 材料研究学报, 2017, 31(10): 728-736. [14] 付振宇,王泽群,刘平平,魏印平,万发荣,詹倩. 氘和氦离子辐照下CLAM钢的辐照硬化与微结构演变*[J]. 材料研究学报, 2016, 30(9): 641-648. [15] 周忠娇, 刘涛, 张功, 王莉, 楼琅洪. 孔径对第三代镍基单晶高温合金DD33板式试样室温拉伸性能的影响*[J]. 材料研究学报, 2016, 30(5): 343-347. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed