材料研究学报  2008, Vol. 22 Issue (2): 187-190

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退火工艺对射频磁控溅射Bi:YIG薄膜磁性能的影响

青慧; 张怀武; 刘颖力; 文岐业

电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室

青慧; 张怀武; 刘颖力; 文岐业 . 退火工艺对射频磁控溅射Bi:YIG薄膜磁性能的影响[J]. 材料研究学报, 2008, 22(2): 187-190.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(793 KB)   摘要: 对于用射频磁控溅射技术在Si基片上制备的Bi:YIG系薄膜, 用快速循环退火方法对其进行晶化处理, 研究了退火温度对Bi:YIG薄膜结晶状态和形貌的影响, 以及退火气氛和循环周期对薄膜性能的影响. 结果表明, 用快速循环退火可以在Si单晶基片上得到磁性能优良的薄膜 (饱和磁化强度139 kA/m, 矫顽力6.37 kA/m)并使薄膜形貌有较大改善, 在石英基片上制备的薄膜法拉第角比常规退火的薄膜增大了约一倍. 关键词 ： 无机非金属材料,  快速循环退火,  Bi:YIG薄膜     Key words： 收稿日期: 2007-03-12      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 青慧 张怀武 刘颖力 文岐业 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/Y2008/V22/I2/187 1 H.Jiang,W.Hu,S.Liang,V.Foulyguine,J.Zhao,Q.X.Jia, J.R.Groves,P.Arendt,F.Miranda,C.Vittoria,H.How, Low loss ferroelectric films grown on polycrystalline fer- rite substrates for dual-tuning microwave devices,Ma- terials Research Society Symposium-Proceedings,574, 311(1999) 2 H.Buhay,J.D.Adam,M.R.Daniel,N.J.Doyle,M.C.Driver, G.W.Eldridge,M.H.Hanes,R.L.Messham,M.M.Sopira, Thick yttrium-iron-garnet (YIG) films produced by pulsed laser deposition (PLD) for integration applications,IEEE Transactions on Magnetics,31(6),3832(1995) 3 S.Capraro,T.Boudiar,T.Rouiller,J.P.Chatelon, B.Bayard,M.Le Berre,B.Payet-Gervy,M.F.Blanc- Mignon,J.J.Rousseau,Exploration of a thin YIG film-based coplanar isolator,Microwave and Optical Technology Letters,42(6),470(2004) 4 J.H.Park,K.Nishmura,M.Inoue,Effects of groove depth and patterned permalloy film on magnetization switching of LPE-garnet pixels for use in magneto-optic spatial light modulators,J.Appl.Phys.,91(10),7014 (2002) 5 D.L.Wood,J.P.Remeika,Effect of impurities on the opti- cal properties of yttrium iron garnet,J.Appl.Phys.,38, 1038(1967) 6 K.Shiraishi,Fiber-embedded micro-Faraday rotator for the infrared,Appl.Opt.,24,951 (1985) 7 A.Prabhakar,D.D.Standil,Broadband magneto-optic waveguide isolator,Appl.Phys.Lett.,71,51(1997) 8 CAO Bo,BAO Liangman,LI Gongping,HE Shanhu, Diffusion and interface reaction of Cu and Si in Cu/SiO_2/Si(111) systems,Acta Physica Sinica,(12), 60(2006) (曹博，包良满，李公平，何山虎，Cu/SiO_2/Si(111)体系中Cu和Si的扩散及界面反应，物理学报，(12)，60(2006)) 9 Kidoh Hideo,Yashima Hideyuki,Morimoto Akiharu, Shimizu Tatsuo,Magneto-optical characteristics of Bi- substituted rare-earth iron garnet films prepared by laser ablation,Japanese Journal of Applied Physics,33(7A), 4094(1994) 10 H.W.Zhang,Magnetic and magneto-optical properties of rapid thermal annealing glass/Al/BiGaDyIG double layer films,Material Science and Engineering,B34,53(1995)a [1] 宋莉芳, 闫佳豪, 张佃康, 薛程, 夏慧芸, 牛艳辉. 碱金属掺杂MIL125的CO2 吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 649-654. [2] 邵鸿媚, 崔勇, 徐文迪, 张伟, 申晓毅, 翟玉春. 空心球形AlOOH的无模板水热制备和吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 675-684. [3] 任富彦, 欧阳二明. g-C3N4 改性Bi2O3 对盐酸四环素的光催化降解[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 633-640. [4] 刘明珠, 樊娆, 张萧宇, 马泽元, 梁城洋, 曹颖, 耿仕通, 李玲. SnO2 作散射层的光阳极膜厚对量子点染料敏化太阳能电池光电性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 554-560. [5] 李延伟, 罗康, 姚金环. Ni(OH)2 负极材料的十二烷基硫酸钠辅助制备及其储锂性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 453-462. [6] 余谟鑫, 张书海, 朱博文, 张晨, 王晓婷, 鲍佳敏, 邬翔. N掺杂生物炭的制备及其对Co2+ 的吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(4): 291-300. [7] 朱明星, 戴中华. SrSc0.5Nb0.5O3 改性BNT基无铅陶瓷的储能特性研究[J]. 材料研究学报, 2023, 37(3): 228-234. [8] 刘志华, 岳远超, 丘一帆, 卜湘, 阳涛. g-C3N4/Ag/BiOBr复合材料的制备及其光催化还原硝酸盐氮[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 781-790. [9] 周毅, 涂强, 米忠华. 制备方法对磷酸盐微晶玻璃结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 739-746. [10] 谢锋, 郭建峰, 王海涛, 常娜. ZnO/CdS/Ag复合光催化剂的制备及其催化和抗菌性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(1): 10-20. [11] 余超, 邢广超, 吴郑敏, 董博, 丁军, 邸敬慧, 祝洪喜, 邓承继. 亚微米Al2O3 对重结晶碳化硅的作用机制[J]. 材料研究学报, 2022, 36(9): 679-686. [12] 方向明, 任帅, 容萍, 刘烁, 高世勇. 自供能Ag/SnSe纳米管红外探测器的制备和性能研究[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 591-596. [13] 李福禄, 韩春淼, 高嘉望, 蒋健, 许卉, 李冰. 氧化石墨烯的变温发光[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 597-601. [14] 朱晓东, 夏杨雯, 喻强, 杨代雄, 何莉莉, 冯威. Cu掺杂金红石型TiO2 的制备及其光催化性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 635-640. [15] 熊庭辉, 蔡文汉, 苗雨, 陈晨龙. ZnO纳米棒阵列和薄膜的同步外延生长及其光电化学性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(7): 481-488. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed