对Ag/Cu薄膜退火应力的模拟

材料研究学报

2003, Vol. 17

Issue (5): 461-465

论文

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对Ag/Cu薄膜退火应力的模拟

安兵; 张同俊;袁超;崔昆

华中科技大学模具技术国家重点实验室

引用本文:

安兵; 张同俊; 袁超; 崔昆 . 对Ag/Cu薄膜退火应力的模拟[J]. 材料研究学报, 2003, 17(5): 461-465.

全文: PDF(779 KB)

摘要: 采用基片曲率法测量并研究了Ag/Cu薄膜的的应力与温度的关系。初始应力为-250 MPa压应力，退火后为370 MPa拉应力。采用基于变形机制图的模型模拟了应力与温度关系的实验曲线，结果表明，温度和应力不同在薄膜内起作用的主要应变机制也不同。可能的应变机制包括位错滑移、幂乘率蠕变以及扩散蠕变机制。薄膜比块体材料的应变速率低，在同样的应力下应变更加困难。在退火过程中，薄膜内先使应力松弛的是Ag，将Ag各蠕变机制中的激活能提高到块体材料的1.25~1.35倍，模拟曲线与实验曲线符合得很好。

关键词 ：金属材料, Ag/Cu薄膜, 变形机制图, 退火应力

Key words：

收稿日期: 1900-01-01

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1 F.Matsuda, Trends in Welding Research (Gatlinburg Tennessee, 1995) p.541
2 S.Lee, B.C.Kim, D.Kwon, Metall. Trans., 23A, 2803(1992)
3 J.M.Gregg, H.K.Bhadeshia, Acta Mater., 45(2) , 739(1997)
4 ZHAO Mingchun, XIAO Furen, SHAN Yiyin, LI Yuhai, YANG Ke, Acta Metall. Sin., 38(3) , 283(2002) (赵明纯,肖福仁,单以银,李玉海.杨柯,金属学报,38(3) ,283(2002) )
5 A.Ghoul, A.Bouabdallah, J.Petit, Experimental Mechanics, 38(1) , 37(1998)
6 ZHANG Tao, YAO Yuan, CHU Wuyang, QIAO Lijie, Acta Metall. Sin., 38(8) , 844(2002) (张涛,姚远,褚武扬,乔利杰,金属学报,38(8) ,844(2002) )
7 H.Margot-Marette, G.Bardou, J.C.Charbonnier, Corros. Sci., 27, 1009(1987)
8 P.E.Manning, C.E.Lyman, D.J.Duouette, Corrosion, 36(5) , 246(1980)
9 B.C.Kim, N.J.Kim, S.Lee, Metall. Trans., 22A, 139(1991)
10 M.R.Krishandev, R.Ghosh, Metall. Trans., 10A, 1941(1979)
11 P.A.Manohar, T.Chandra, ISIJ Int., 8(7) , 766(1998)
12 J.L.Lee, Y.T.Pan, Mater. Sci. Tech., 8, 236(1992)
13 S.H.Wang, Y.G.Zhang, W.X.Chen, J. Mater. Sci., 36, 1931(2001)
14 J.C.Charbonnier, M.H.Margot, A.M.Brass, Metal. Trans., 16A, 935(1985)
15 S.D.Mann, B.C.Muddle, Mater. Sci. Tech., 13, 299(1997)
16 H.Cimenoglu, E.S.Kayali, Scripta Metall. Mater., 24, 2437(1990)

[1]	毛建军, 富童, 潘虎成, 滕常青, 张伟, 谢东升, 吴璐. AlNbMoZrB系难熔高熵合金的Kr离子辐照损伤行为[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 641-648.
[2]	宋莉芳, 闫佳豪, 张佃康, 薛程, 夏慧芸, 牛艳辉. 碱金属掺杂MIL125的CO₂ 吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 649-654.
[3]	赵政翔, 廖露海, 徐芳泓, 张威, 李静媛. 超级奥氏体不锈钢24Cr-22Ni-7Mo-0.4N的热变形行为及其组织演变[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 655-667.
[4]	邵鸿媚, 崔勇, 徐文迪, 张伟, 申晓毅, 翟玉春. 空心球形AlOOH的无模板水热制备和吸附性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 675-684.
[5]	幸定琴, 涂坚, 罗森, 周志明. C含量对VCoNi中熵合金微观组织和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 685-696.
[6]	欧阳康昕, 周达, 杨宇帆, 张磊. 含LPSO相Mg-Y-Er-Ni合金的组织和拉伸性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 697-705.
[7]	徐利君, 郑策, 冯小辉, 黄秋燕, 李应举, 杨院生. 定向再结晶对热轧态Cu71Al18Mn11合金的组织和超弹性性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 571-580.
[8]	熊诗琪, 刘恩泽, 谭政, 宁礼奎, 佟健, 郑志, 李海英. 固溶处理对一种低偏析高温合金组织的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 603-613.
[9]	刘继浩, 迟宏宵, 武会宾, 马党参, 周健, 徐辉霞. 喷射成形M3高速钢热处理过程中组织的演变和硬度偏低问题[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 625-632.
[10]	由宝栋, 朱明伟, 杨鹏举, 何杰. 合金相分离制备多孔金属材料的研究进展[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 561-570.
[11]	任富彦, 欧阳二明. g-C₃N₄ 改性Bi₂O₃ 对盐酸四环素的光催化降解[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 633-640.
[12]	王昊, 崔君军, 赵明久. 镍基高温合金GH3536带箔材的再结晶与晶粒长大行为[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 535-542.
[13]	刘明珠, 樊娆, 张萧宇, 马泽元, 梁城洋, 曹颖, 耿仕通, 李玲. SnO₂ 作散射层的光阳极膜厚对量子点染料敏化太阳能电池光电性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 554-560.
[14]	秦鹤勇, 李振团, 赵光普, 张文云, 张晓敏. 固溶温度对GH4742合金力学性能及γ' 相的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 502-510.
[15]	刘天福, 张滨, 张均锋, 徐强, 宋竹满, 张广平. 缺口应力集中系数对TC4 ELI合金低周疲劳性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 511-522.

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