氧化锌透明导电薄膜的制备及其特性

材料研究学报

1999, Vol. 13

Issue (3): 331-333

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氧化锌透明导电薄膜的制备及其特性

倪星元; 吴永刚; 吴广明; 张慧琴; 金哲民

同济大学

引用本文:

倪星元; 吴永刚; 吴广明; 张慧琴; 金哲民 . 氧化锌透明导电薄膜的制备及其特性[J]. 材料研究学报, 1999, 13(3): 331-333.

全文: PDF(306 KB)

摘要: 氧化锌薄膜的透明导电特性与化学计量偏离和溅射条件有关. 以2%(质量分数)氧化铝掺杂的氧化锌陶瓷作靶, 采用RF磁控溅射技术制备的透明导电薄膜, 其电阻率4.5×10-3Ωcm, 载流子浓度2.8×1020cm-3, 霍尔迁移率15.8cm2/V.s, 平均透射率(400-800nm)大于80%.

关键词 ：氧化锌薄膜, 透明导电薄膜, 溅射

Key words：

收稿日期: 1900-01-01

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