材料研究学报  1997, Vol. 11 Issue (3): 328-330

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光谱法控制ITO膜沉积速率

黄士勇;王德苗;任高潮;陈抗生

浙江大学;浙江大学;浙江大学;浙江大学

CONTROLLING DEPOSITION RATE OF ITO FILM BY SPECTROMETRY

HUANG Shiyong; WANG Demiao; REN Gaocao; CHEN Kangsheng (Zhejiang University)

黄士勇;王德苗;任高潮;陈抗生. 光谱法控制ITO膜沉积速率[J]. 材料研究学报, 1997, 11(3): 328-330.
, , , . CONTROLLING DEPOSITION RATE OF ITO FILM BY SPECTROMETRY[J]. Chin J Mater Res, 1997, 11(3): 328-330.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(195 KB)   摘要: 用磁控反应溅射方法制备ITO膜时,溅射速率不断变化,并且等离子体也发出较强的具有较宽光谱的光.报导了用调整特征光谱强度来控制溅射速率的新方法,并用以控制ITO膜的沉积过程 关键词 ： 光谱法,  溅射速率,  等离子体,  ITO膜     Abstract：In the ITO films deposition by reactive magnetron sputtering, the deposition rate of ITO film will change with the carrying out of sputtering. We provide a new method to monitor the sputtering viel by detecting the characteristic light intensity of plasma Key words： spectrometry sputtering yield plasma ITO films 收稿日期: 1997-06-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 黄士勇 王德苗 任高潮 陈抗生 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1997/V11/I3/328 1.Hamberg and C.G.Granqvist,J.Appl.Phys. 60,123(1986) 2.H.L.Ma, D.H.Zang,Thin Solid Film. 263, 105(1995) 3.S.Ray, R.Banerjee, J.Appl.Phys. 54, 3497(1983) 4.蒋静坪.计算机实时控制系统(杭州,浙江大学出版社,1992) [1] 王乾, 蒲磊, 贾彩霞, 李志歆, 李俊. 碳纤维/环氧复合材料界面改性的不均匀性[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 668-674. [2] 陈怿咨, 张承双, 陈平. 用常压空气等离子体对PBO纤维表面接枝改性[J]. 材料研究学报, 2021, 35(9): 641-650. [3] 刘哲,陈博涵,陈平. 氧气DBD等离子体处理PBO纤维表面及其对双马树脂基复合材料界面性能的影响[J]. 材料研究学报, 2020, 34(2): 109-117. [4] 刘欣怡, 王仕发, 余先伦, 唐盛楠, 房雷鸣, 雷力. MgAl2O4:Mg荧光粉的合成及其发光性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(10): 784-792. [5] 贾彩霞,王乾,任荣,孙福宁. Technora纤维表面等离子体处理对其复合材料界面性能的影响[J]. 材料研究学报, 2019, 33(6): 461-466. [6] 张栋,柯培玲,汪爱英,王香勇,智理. 用PECVD工艺制备功能装饰氧化硅薄膜的性能[J]. 材料研究学报, 2019, 33(6): 467-474. [7] 王闻宇, 刘亚敏, 金欣, 肖长发, 朱正涛, 林童. 聚吡咯修饰碳纤维/环氧树脂复合材料的界面剪切强度[J]. 材料研究学报, 2018, 32(3): 209-215. [8] 王静, 任航, 陈平, 时晨, 任荣. 氧等离子体处理对国产芳III纤维表面性能的影响[J]. 材料研究学报, 2018, 32(1): 12-16. [9] 余洁意,高嵩,董星龙. 硅纳米带电弧等离子体的合成及其储锂电化学特性[J]. 材料研究学报, 2017, 31(3): 161-167. [10] 杨文进,赵彦辉,沈明礼,刘占奇,肖金泉,宫骏,于宝海,孙超. 低温低压电弧等离子体渗氮处理316不锈钢的耐腐蚀性能[J]. 材料研究学报, 2017, 31(2): 81-87. [11] 吴杰,张亦凡,金小越,杨璇,琳陈,薛文斌. T8钢液相等离子体电解渗碳的扩散过程和光谱学分析*[J]. 材料研究学报, 2016, 30(9): 655-661. [12] 贾彩霞,陈平,王乾,王静,任荣. 常压空气等离子体对连续纤维的在线改性*[J]. 材料研究学报, 2015, 29(1): 10-16. [13] 路平,陈晓,杨明. 用等离子体处理-连续浸渍法制备银-玻璃纤维复合材料*[J]. 材料研究学报, 2015, 29(1): 45-50. [14] 赵亚楠 薛方红 黄 昊 刘春静 甘小荣 董星龙. 纳米铝粒子电极的脱/嵌锂离子特性[J]. 材料研究学报, 2011, 25(4): 386-390. [15] 王延平 王兵 熊鹰 周亮. 掺氮纳米金刚石膜的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2011, 25(2): 147-150. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed