分离送入甲烷和氢气的热丝法沉积金刚石膜

材料研究学报

1997, Vol. 11

Issue (3): 331-333

研究论文

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分离送入甲烷和氢气的热丝法沉积金刚石膜

陈广超;黄荣芳;闻立时

中国科学院金属研究所;中国科学院金属研究所;中国科学院金属研究所

DEPOSITION DIAMOND FILM BY HFCVD WITH SEPARATE INLET OF CH_4 AND H_2

CHEN Guangchao; HUANG Rongfang; WEN Lishi (Institute of Metal Research;Chinese Academy of Sciences)

引用本文:

陈广超;黄荣芳;闻立时. 分离送入甲烷和氢气的热丝法沉积金刚石膜[J]. 材料研究学报, 1997, 11(3): 331-333.
, , . DEPOSITION DIAMOND FILM BY HFCVD WITH SEPARATE INLET OF CH_4 AND H_2[J]. Chin J Mater Res, 1997, 11(3): 331-333.

全文: PDF(765 KB)

摘要: 采用热丝法沉积金刚石膜.分离送入氢气和甲烷.使作为发热体的钨丝电阻值比经典的热丝法降低20%.用此法制得的金刚石晶形较好.实验表明:反应气体的流量对膜的致密生长区影响很大.

关键词 ：热丝法, 分离, 电阻, 晶形, 生长区

Abstract：HFCVD metliod was employed to deposit diamond film on silicon substrate. The design of in-letting H2 and CH4 separetely was applied, which made the resistanee of tungsten filament dccrease to 20%,compared to that of HFCVD with mixture inletting. Moreover,

Key words： HFCVD inlet resistance crystal zone

收稿日期: 1997-06-25

基金资助:国家自然科学基金!59392800;;辽宁省科学技术委员会资助;;中科院金属腐蚀与防护国家重点实验室资助

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1.M.Sommcr,F.W.Smith,1.Mater.Res.5(11),2433(1990)
2.C.J.Chu, M.P.D’Evelyn, R.H.Hauge,J.L.Margravc,J.Mater.Res. 5(11),2405(1990)
3.C.J.Chu, M.P.D’Evelvn, R.H.Hause,J.L.Marsrave,J.Appl.Phys. 70(3),1695(1991)
4.K.Tankala,T.Debroy,J.Appl.Phys.72(2),712(1992)

[1]	由宝栋, 朱明伟, 杨鹏举, 何杰. 合金相分离制备多孔金属材料的研究进展[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 561-570.
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