材料研究学报  1997, Vol. 11 Issue (2): 203-206

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一种高熔点金属涂层的制备方法

唐宾;何家文;王从曾;徐重

西安交通大学;西安交通大学;太原工业大学;太原工业大学

A NEW FABRICATION METHOD OF HIGH MELTING POINT METAL COATING

TANG Bin; HE Jiawen; WANG Congzen; XU Zhong (Xi'an Jiaotong University) (Taiyuan Polytechnic University)

唐宾;何家文;王从曾;徐重. 一种高熔点金属涂层的制备方法[J]. 材料研究学报, 1997, 11(2): 203-206.
, , , . A NEW FABRICATION METHOD OF HIGH MELTING POINT METAL COATING[J]. Chin J Mater Res, 1997, 11(2): 203-206.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(295 KB)   摘要: 研制了一种由多个空心阴极并列组合而成的,可直接作为溅射靶的多重空心阴极溅射靶,其溅射输出量可用电压、气压及空心阴极的高度和宽度比控制由W、Mo合金制成的多重空心阴极溅射靶所做的合金涂镀试验表明,这种方法涂层沉积速度快,涂层致密并与基体结合良好,适用于多种金属或其合金的溅射沉积,尤其是高熔点金属的溅射沉积. 关键词 ： 空心阴极,  溅射,  镀膜     Abstract：A new multiple hollow cathode sputtering target, which has a simple structure and a high sputtering rate,was put forward. The sputtering rate can be controlled by changing target voltage, pressure and H. D-1. The result shows that this method has a high d Key words： hollow cathode sputtering coating 收稿日期: 1997-04-25      基金资助:国家自然科学基金!19392300－5 服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 唐宾 何家文 王从曾 徐重 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1997/V11/I2/203 1.唐宾,王从曾,苏永安,徐重.中国专利 891037438. 1989年 8月 2.王从曾,唐宾,徐重.金属热处理学报.12(3),43(1991 [1] 闫春良, 郭鹏, 周靖远, 汪爱英. Cu掺杂非晶碳薄膜的电学性能及其载流子输运行为[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 747-758. [2] 单位摇, 王永利, 李静, 熊良银, 杜晓明, 刘实. 锆合金表面Cr基涂层的耐高温氧化性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(9): 699-705. [3] 张鹏, 黄东, 张福全, 叶崇, 伍孝, 吴晃. 中间相沥青基碳纤维石墨化度对Cf/Al界面损伤的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 579-590. [4] 孟祥东, 甄超, 刘岗, 成会明. CuO纳米阵列结构光阴极的制备及其光电化学分解水的性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(4): 241-249. [5] 胡瑞航, 杨贞, 雷齐俊, 李昕洋, 董子宇, 张晓彤, 范红玉, 牛金海. 氦离子辐照对钨纳米丝稳定性的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(11): 850-854. [6] 李修贤, 邱万奇, 焦东玲, 钟喜春, 刘仲武. α籽晶促进低温反应溅射沉积α-Al2O3薄膜[J]. 材料研究学报, 2022, 36(1): 8-12. [7] 杨雅娜, 陈文革, 薛元琳. 碳纤维表面溅射金属增强铜基复合材料的界面结合[J]. 材料研究学报, 2021, 35(6): 467-473. [8] 孙茂林, 宫震, 王施文, 尹航, 李瑞武, 张政, 李雨彤, 吴法宇. 氧控In2O3薄膜的光电性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(5): 394-400. [9] 张泽灵, 王世琦, 徐邦利, 赵昱皓, 张旭海, 方峰. FeCoNiMoCr高熵合金薄膜电极的电催化析氧性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(3): 193-200. [10] 宋贵宏, 李秀宇, 李贵鹏, 杜昊, 胡方. 溅射沉积富镁Mg3Bi2薄膜的热电性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(11): 835-842. [11] 谢明玲, 张广安, 史鑫, 谭稀, 高晓平, 宋玉哲. Ti掺杂MoS2薄膜的抗氧化性和电学性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(1): 59-64. [12] 谭稀, 宋玉哲, 史鑫, 强进, 魏廷轩, 卢启海. 自旋阀多层膜磁化翻转场的调控和磁电阻特性[J]. 材料研究学报, 2020, 34(4): 272-276. [13] 王世琦,霍文燚,徐正超,张旭海,周雪峰,方峰. 钴掺杂TiO2纳米管阵列薄膜的制备及其光催化还原性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(3): 176-182. [14] 刘晓东,谈淑咏,霍文燚,张旭海,邵起越,方峰. 氮流量比对磁控溅射(CoCrFeNi)Nx高熵合金薄膜的组织和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2019, 33(3): 185-190. [15] 王强, 郝瑞亭, 赵其琛, 刘思佳. 多周期分层溅射硫化物靶制备铜锌锡硫薄膜太阳电池[J]. 材料研究学报, 2018, 32(6): 409-414. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed