材料研究学报  1990, Vol. 4 Issue (3): 273-276

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非晶硅薄膜表面与非晶须特性

林鸿溢

北京理工大学

PROPERTIES OF SURFACE AND WHISKER-LIKE MICROSTRUCTURES OF AMORPHOUS SILICON

LIN Hongyi(Beijing Institute of Technology)

林鸿溢. 非晶硅薄膜表面与非晶须特性[J]. 材料研究学报, 1990, 4(3): 273-276.
. PROPERTIES OF SURFACE AND WHISKER-LIKE MICROSTRUCTURES OF AMORPHOUS SILICON[J]. Chin J Mater Res, 1990, 4(3): 273-276.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(638 KB)   摘要: 利用透射电子显微镜(TEM),观测到未见报道的须状微结构,称为非晶须。提出非晶须可能的生长条件是淀积系统中出现大的过饱和气压。X 射线光电子能谱分析表明,非晶硅与其表面SiO_2之间存在化学成分为SiO_x(0 关键词 ： 非晶态硅,  薄膜,  表面,  界面,  非晶须,  微结构     Abstract：The surface,the interface and the microstructures of the undoped hydrogenated amorphoussilicon films by RF plasma chemical vapor deposition are investigated.The whisker-like microstructures(amorphous silicon whisker)are observed by transmission electron m Key words： amorphous silicon    film    surface    interface    amorphous silicon whisker    microstructure 收稿日期: 1990-06-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 林鸿溢 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1990/V4/I3/273 1 Spear W E,Le comber P G.Solid state commun,1975;17:1193 2 林鸿溢.新技术新工艺,1987;2:2 3 Sichanugrist P et al.Japan J Appl phys,1986;25:440 4 Nishida Set al.Meter Res Soc,1985;49:47 5 Herak T V et al.J Non-Cryst Solids,1988;103:125 6 Hattori R et al.J Non-Cryst Solids,1988;104:52 7 Lo C F et al.J Non-Cryst Solids,1988;103:3 8 Godet C,Drevillon B.J Vac Sci Technol A,1988;6:2484 9 林鸿溢,李映雪.真空科学与技术,1985;4:9 10 林鸿溢.电子显微学报,1985;3:46 11 Lin H Y(林鸿溢),Li Y X(李映雪).Proc 2nd International PVSEC＇Hong Kong:Adfield Advertising co Lta.1986:528 12 林鸿溢.物理学报,1978;27:291 [1] 王乾, 蒲磊, 贾彩霞, 李志歆, 李俊. 碳纤维/环氧复合材料界面改性的不均匀性[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 668-674. [2] 陆益敏, 马丽芳, 王海, 奚琳, 徐曼曼, 杨春来. 脉冲激光沉积技术生长铜材碳基保护膜[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 706-712. [3] 刘瑞峰, 仙运昌, 赵瑞, 周印梅, 王文先. 钛合金/不锈钢复合板的放电等离子烧结技术制备及其性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 581-589. [4] 冯叶, 陈志勇, 姜肃猛, 宫骏, 单以银, 刘建荣, 王清江. 一种NiCrAlSiY涂层对Ti65钛合金板材循环氧化和室温力学性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 523-534. [5] 张藤心, 王函, 郝亚斌, 张建岗, 孙新阳, 曾尤. 基于界面氢键结构的石墨烯/聚合物复合材料的阻尼性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 401-407. [6] 姜水淼, 明开胜, 郑士建. 晶界偏析以及界面相和纳米晶材料力学性能的调控[J]. 材料研究学报, 2023, 37(5): 321-331. [7] 王刚, 杜雷雷, 缪自强, 钱凯成, 杜向博文, 邓泽婷, 李仁宏. 聚多巴胺改性碳纤维增强尼龙6复合材料的界面性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(3): 203-210. [8] 闫春良, 郭鹏, 周靖远, 汪爱英. Cu掺杂非晶碳薄膜的电学性能及其载流子输运行为[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 747-758. [9] 陈瑞志, 刘丽荣, 郭圣东, 张迈, 卢广先, 李远, 赵云松, 张剑. 一种6Re/3Ru镍基单晶高温合金微观组织的稳定性和高温持久性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 721-730. [10] 谢东航, 潘冉, 朱士泽, 王东, 刘振宇, 昝宇宁, 肖伯律, 马宗义. 增强颗粒尺寸对B4C/Al-Zn-Mg-Cu复合材料微观组织及力学性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 731-738. [11] 陈开旺, 张鹏林, 李树旺, 牛显明, 胡春莲. 莫来石粉末化学镀镍和涂层的高温摩擦学性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(1): 39-46. [12] 单位摇, 王永利, 李静, 熊良银, 杜晓明, 刘实. 锆合金表面Cr基涂层的耐高温氧化性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(9): 699-705. [13] 程红杰, 刘黄娟, 姜婷, 王法军, 李文. 近红外反射超疏水黄色涂层的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(9): 687-698. [14] 张鹏, 黄东, 张福全, 叶崇, 伍孝, 吴晃. 中间相沥青基碳纤维石墨化度对Cf/Al界面损伤的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 579-590. [15] 杨晓辉, 李克智, 白龙腾, 郭亚威. 不同热解碳界面层厚度C/ZrC-SiC复合材料烧蚀性能及其机理[J]. 材料研究学报, 2022, 36(7): 489-499. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed