材料研究学报  1996, Vol. 10 Issue (2): 187-190

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IBAD薄膜与基体界面的显微结构

陶琨;何向军;江海;范玉殿;李恒德

清华大学

INVESTIGATION ON MICROSTRUCTURE OF THE INTERFACE BETWEEN IBAD THIN FILMS AND SUBSTRATE

TAO Kun;HE Xiangjun;JIANG Hai; FAN Yudian; LI Hengde(Tsinghua University)Correspondent: (Department of Materials Science and Engineering; Tsinghua University; Beijing 100084)

陶琨;何向军;江海;范玉殿;李恒德. IBAD薄膜与基体界面的显微结构[J]. 材料研究学报, 1996, 10(2): 187-190.
, , , , . INVESTIGATION ON MICROSTRUCTURE OF THE INTERFACE BETWEEN IBAD THIN FILMS AND SUBSTRATE[J]. Chin J Mater Res, 1996, 10(2): 187-190.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(2222 KB)   摘要: 采用中能离子束辅助沉积(IBAD)技术,在单晶Al2O3(0001)基片上沉积Mo膜,在GaAS(001)基片12合成Fe16N2薄膜用HREM等研究了Mo膜-Al2O3(0001)、Fe16N2膜-GaAs(001)界面的显微结构结果表明:Mo膜的晶粒呈细小性状或纤维状,晶粒平均尺寸约8nm,Fe16N2薄膜为等轴晶,晶粒平均尺寸约为10nm,在Mo膜-Al2O3(0001)界面及Fe16N2薄膜-GaAs(001)界面处存在厚10～15nm的由基片原子及膜层原子组成的非晶过渡层在过渡层与薄膜界面处存在台阶,增加了薄膜的形核点,薄膜的致密度较高。 关键词 ： 离子束辅助沉积(IBAD),  界面,  显微结构     Abstract：Molybdenum film and Fe16N2 thin film were deposited on Al2O3 (0001) and GaAs (001)substrate respectively by ion-beam assisted deposition (IBAD). The microstructure of the interface between the films and substrates were studied on atomic scale by using the Key words： ion-beam assisted deposition (IBAD);interface;microstructure 收稿日期: 1996-04-25      基金资助:国家自然科学基金 服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 陶琨 何向军 江海 范玉殿 李恒德 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1996/V10/I2/187 1李斗星,平德海,宁小光,叶恒强金属学报1992,A28(7):2832RuhleM,EvansAG,AshbyMF,HirthJPMetal-CeramicInterface．NewYork:PergamonPress,1990:1843DirksAG,WoltersRAM,VeirmanAEMDe．ThinSolidFilms,1992,208:1814HoffmanRA．LinJC．ThinSolidFilms,1991,206:2305SmidtFA．InternationalMaterialsReviews,1990,35(2):616杨杰,王晨,陶琨,范工殿真空科学与技术学报,1993,13(5):352 [1] 王乾, 蒲磊, 贾彩霞, 李志歆, 李俊. 碳纤维/环氧复合材料界面改性的不均匀性[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 668-674. [2] 陆益敏, 马丽芳, 王海, 奚琳, 徐曼曼, 杨春来. 脉冲激光沉积技术生长铜材碳基保护膜[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 706-712. [3] 刘瑞峰, 仙运昌, 赵瑞, 周印梅, 王文先. 钛合金/不锈钢复合板的放电等离子烧结技术制备及其性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 581-589. [4] 冯叶, 陈志勇, 姜肃猛, 宫骏, 单以银, 刘建荣, 王清江. 一种NiCrAlSiY涂层对Ti65钛合金板材循环氧化和室温力学性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 523-534. [5] 张藤心, 王函, 郝亚斌, 张建岗, 孙新阳, 曾尤. 基于界面氢键结构的石墨烯/聚合物复合材料的阻尼性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 401-407. [6] 姜水淼, 明开胜, 郑士建. 晶界偏析以及界面相和纳米晶材料力学性能的调控[J]. 材料研究学报, 2023, 37(5): 321-331. [7] 王刚, 杜雷雷, 缪自强, 钱凯成, 杜向博文, 邓泽婷, 李仁宏. 聚多巴胺改性碳纤维增强尼龙6复合材料的界面性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(3): 203-210. [8] 闫春良, 郭鹏, 周靖远, 汪爱英. Cu掺杂非晶碳薄膜的电学性能及其载流子输运行为[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 747-758. [9] 陈瑞志, 刘丽荣, 郭圣东, 张迈, 卢广先, 李远, 赵云松, 张剑. 一种6Re/3Ru镍基单晶高温合金微观组织的稳定性和高温持久性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 721-730. [10] 谢东航, 潘冉, 朱士泽, 王东, 刘振宇, 昝宇宁, 肖伯律, 马宗义. 增强颗粒尺寸对B4C/Al-Zn-Mg-Cu复合材料微观组织及力学性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(10): 731-738. [11] 陈开旺, 张鹏林, 李树旺, 牛显明, 胡春莲. 莫来石粉末化学镀镍和涂层的高温摩擦学性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(1): 39-46. [12] 单位摇, 王永利, 李静, 熊良银, 杜晓明, 刘实. 锆合金表面Cr基涂层的耐高温氧化性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(9): 699-705. [13] 程红杰, 刘黄娟, 姜婷, 王法军, 李文. 近红外反射超疏水黄色涂层的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(9): 687-698. [14] 张鹏, 黄东, 张福全, 叶崇, 伍孝, 吴晃. 中间相沥青基碳纤维石墨化度对Cf/Al界面损伤的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 579-590. [15] 杨晓辉, 李克智, 白龙腾, 郭亚威. 不同热解碳界面层厚度C/ZrC-SiC复合材料烧蚀性能及其机理[J]. 材料研究学报, 2022, 36(7): 489-499. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed