材料研究学报  2000, Vol. 14 Issue (5): 538-542

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ZnO:Al薄膜的组织结构与性能

裴志亮; 谭明晖; 杜昊; 陈猛; 孙超; 黄荣芳; 闻立时

中国科学院金属研究所

裴志亮; 谭明晖; 杜昊; 陈猛; 孙超; 黄荣芳; 闻立时 . ZnO:Al薄膜的组织结构与性能[J]. 材料研究学报, 2000, 14(5): 538-542.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(517 KB)   摘要: 用直流磁控反应溅射合金靶制备了ZnO薄膜, 研究了衬底温度和退火温度对薄膜的结构及电学和光学性能的影响. 衬底温度升高能改善薄膜的电学特性, 其原因是薄膜晶粒尺寸的增大.温度升高导致薄膜基本光学吸收边向短波移动,但对高透射区(450-850nm)的透射率影响不大. 关键词 ： ZnO薄膜,  温度,  光学吸收边,  透射率      Key words： 收稿日期: 1900-01-01      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 裴志亮 谭明晖 杜昊 陈猛 孙超 黄荣芳 闻立时 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/Y2000/V14/I5/538 1 Z.-C.Jin, I. Hamberg, C.G.Granqvist, J.Appl.Phys., 64, 5117(1988) 2 J.-B.Yoo, A.L.Fahrenbruch, R.H.Bube, J.Appl.Phys., 68, 4694(1990) 3 C.K.Lau, S.K.Tiku, K.M.Lakin, J.Electrochem.Soc., 127, 1843(1980) 4 M.J.Vellekoop, A.Venema, C.C.G.Visser, P.M.Sarro, Ceramic Bull., 69, 1503(1990) 5 S.Ghosh, A.Sarkar, S.Chaudhuri, A.K.Pal, Thin Solid Films., 64, 205(1991) 6 Y.Qu, T.A.Gessere, J.J.Couttes, R.Noufi, J.Vac.Sci.Tech, 12A, 1507(1994) 7 A.D.Roth, D.F.Williams, J.Appl.Phys., 52, 6685(1981) 8 H.Timinami, K.O.Sato, T. Tomofuji, S. Takata, J. Crystakl Growth, 117, 370(1992) 9陈猛,透明导电氧化物半导体薄膜的制备、物化结构及其电学、光学特性研究.博士论文,中国科学院金属研究所 (1999) 10吴彬,王万录,廖克俊,张振刚,半导体学报,18,151(1997) [1] 陈晶晶, 占慧敏, 吴昊, 朱乔粼, 周丹, 李柯. 纳米晶CoNiCrFeMn高熵合金的拉伸力学性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 614-624. [2] 秦鹤勇, 李振团, 赵光普, 张文云, 张晓敏. 固溶温度对GH4742合金力学性能及γ' 相的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 502-510. [3] 夏博, 王斌, 张鹏, 李小武, 张哲峰. 回火温度对高强弹簧钢微观组织和冲击性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(5): 341-352. [4] 张锦中, 刘晓云, 杨健茂, 周剑锋, 查刘生. 温度响应性双面纳米纤维的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(4): 248-256. [5] 林师峰, 徐东安, 庄艳歆, 张海峰, 朱正旺. TiZr基非晶/TC21双层复合材料的制备和力学性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(3): 193-202. [6] 高野, 任家宽, 李志峰, 崔聪, 陈俊, 刘振宇. 奥氏体化温度对900 MPa级HSLA钢显微组织和晶体学演变的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(1): 21-28. [7] 崔璐, 康文泉, 邹方, 魏文澜, 李臻, 王澎. 汽轮机转子10%Cr钢的高温低周疲劳特性[J]. 材料研究学报, 2021, 35(5): 371-380. [8] 王萍, 郭爱民, 侯清宇, 郭云侠, 黄贞益, 光剑锋. 时效态Fe-Mn-Al-C钢的性能和变形机制[J]. 材料研究学报, 2021, 35(3): 184-192. [9] 吴一凡, 温卫东, 崔海涛, 张宏建. 考虑温度和纤维含量影响的单向层合板材料的退化模型[J]. 材料研究学报, 2021, 35(12): 893-902. [10] 曾泽芸, 李长荣, 黎志英, 黄胜, 黎世旺, 尤景田. 终冷温度对高强度抗震钢筋组织和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2021, 35(11): 857-865. [11] 杨军, 毕宗岳, 南黄河, 刘海璋. X90高强管线钢的应变时效行为和敏感温度[J]. 材料研究学报, 2021, 35(10): 769-777. [12] 王鹏宇, 张浩宇, 张志鹏, 孙杰, 谢广明, 程军, 陈立佳. 固溶温度对亚稳β钛合金Ti-4Mo-6Cr-3Al-2Sn的组织和拉伸性能的影响[J]. 材料研究学报, 2020, 34(6): 473-480. [13] 郑勰, 查刘生. 超快温度响应性纳米纤维水凝胶的制备及其用于药物的可控释放[J]. 材料研究学报, 2020, 34(6): 452-458. [14] 李广龙, 李靖年, 李文斌, 严玲, 张鹏, 王晓航. 纵向变厚度EH40钢板的组织和性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(4): 247-253. [15] 石磊,赵齐,罗成,陈浩,杨继彪,张晓东,李贤斌. Cu含量和烧结温度对Fe-Cu基粉末冶金复合材料摩擦磨损性能的影响[J]. 材料研究学报, 2020, 34(2): 137-150. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed