材料研究学报  2000, Vol. 14 Issue (3): 311-314

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用微波等离子体CVD制备C3N4薄膜

张永平(1;2); 顾有松(1); 常香荣(1); 田中卓(1); 时东霞(2); 张秀芳(2); 袁磊(2)

1. 北京科技大学; 2. 中国科学院北京真空物理实验室

张永平; 顾有松; 常香荣; 田中卓; 时东霞; 张秀芳; 袁磊 . 用微波等离子体CVD制备C3N4薄膜[J]. 材料研究学报, 2000, 14(3): 311-314.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(351 KB)   摘要: 采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD), 使用高纯N2(99.999%)和CH4(99.9%)作反应气体, 在多晶Pt(99.99%)基片上沉积C3N4薄膜. X射线能谱(EDX)分析结果表明N/C原子比为1.0-1.4, 接近C3N4的化学比; X射线衍射谱(XRD)说明薄膜主要由β--和α--C3N4组成; X射线光电子谱(XPS)、傅立叶变换红外谱(FT--IR)和喇曼(Raman)谱说明在C3N4薄膜中存在C--N键. 关键词 ： 微波等离子体化学气相沉积,  β-C3N4,  薄膜     Key words： 收稿日期: 1900-01-01      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 张永平 顾有松 常香荣 田中卓 时东霞 张秀芳 袁磊 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/Y2000/V14/I3/311 1 M.L.Cohen, Phys.Rev.B., 32(12), 7988(1985) 2 A.Y.Liu AY, M.L.Cohen, Science, 245, 841(1989) 3 D.M.Teter, R.J.Hemley Science, 271, 53(1996) 4 L.Y.Chen, C.Y.Yang, D.M.Bhusari, K.H.Chen, M.C.Lin, J.C.Lin, T.J.Chuang, Diam. Relat. Mater.,5,514(1996) 5 D. J.Johnson;Y.Chen,Y.He,R.H.Prince,Diam.Relat. Mater.,6,1799(1997) 6 L.C.Chen, C.K.Chen, S.L.Wei, D.M.Bhusari K.H.Chen Y.F.Chen, Y.C.Jong, Y. S.Huang, Appl.Phys.Lett.,72(19),2463(1998) 7 顾有松,张永平,常香荣,田中卓,陈难先,时东霞,张秀芳,袁磊,中国科学(A辑),29(8),757(1999) [1] 邵思武, 郑宇亭, 安康, 黄亚博, 陈良贤, 刘金龙, 魏俊俊, 李成明. 偏压技术在金刚石薄膜制备中应用的进展[J]. 材料研究学报, 2022, 36(3): 161-174. [2] 朱海勇, 张伟. 锰掺杂和氧化铌种子层对铌酸钾钠薄膜电性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(12): 945-950. [3] 崔丽, 孙丽丽, 郭鹏, 马鑫, 王舒远, 汪爱英. 沉积时间对聚醚醚酮表面类金刚石薄膜的结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(11): 801-810. [4] 李修贤, 邱万奇, 焦东玲, 钟喜春, 刘仲武. α籽晶促进低温反应溅射沉积α-Al2O3薄膜[J]. 材料研究学报, 2022, 36(1): 8-12. [5] 孙丽颖, 钱建华, 赵永芳. AgNWs-TPU/PVDF柔性薄膜电容传感器的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(6): 441-448. [6] 孙茂林, 宫震, 王施文, 尹航, 李瑞武, 张政, 李雨彤, 吴法宇. 氧控In2O3薄膜的光电性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(5): 394-400. [7] 张泽灵, 王世琦, 徐邦利, 赵昱皓, 张旭海, 方峰. FeCoNiMoCr高熵合金薄膜电极的电催化析氧性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(3): 193-200. [8] 熊文文, 何嵩, 郑淞生, 程其进, 沈宏勋, 陈朝. 用RF-PECVD法制备类金刚石薄膜[J]. 材料研究学报, 2021, 35(2): 154-160. [9] 宋贵宏, 李秀宇, 李贵鹏, 杜昊, 胡方. 溅射沉积富镁Mg3Bi2薄膜的热电性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(11): 835-842. [10] 谢明玲, 张广安, 史鑫, 谭稀, 高晓平, 宋玉哲. Ti掺杂MoS2薄膜的抗氧化性和电学性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(1): 59-64. [11] 张大磊, 魏恩泽, 荆赫, 杨留洋, 豆肖辉, 李同跃. 超级铁素体不锈钢表面超疏水结构的制备及其耐腐蚀性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(1): 7-16. [12] 刘芝君, 李之锋, 王春香, 谢光明, 黄庆研, 钟盛文. 四氧化三钴/碳纳米管薄膜的水热合成及其储锂性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(8): 584-590. [13] 李贵鹏, 宋贵宏, 胡方, 杜昊, 尹荔松. 溅射沉积掺Ag的SnSe薄膜的微结构和热电性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(8): 561-568. [14] 王世琦,霍文燚,徐正超,张旭海,周雪峰,方峰. 钴掺杂TiO2纳米管阵列薄膜的制备及其光催化还原性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(3): 176-182. [15] 王志虎,张菊梅,白力静,张国君. 水热处理对AZ31镁合金微弧氧化陶瓷层组织结构及耐蚀性的影响[J]. 材料研究学报, 2020, 34(3): 183-190. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed