材料研究学报  2000, Vol. 14 Issue (1): 72-75

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用喷雾热分解法制备MgO薄膜

武光明(1); 符晓荣(2); 宋巨庚(3); 林成鲁(2)

1.北京石油化工学院; 2. 中国科学院上海冶金所信息功能材料; 3.新疆物理所

蓝慕杰; 叶水驰; 鲍海飞; 周士仁; 姚枚 . 用喷雾热分解法制备MgO薄膜[J]. 材料研究学报, 2000, 14(1): 72-75.
, , , , . [J]. Chin J Mater Res, 2000, 14(1): 72-75.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(599 KB)   摘要: 用压缩空气式喷雾热分解法在Si(100)衬底上制备了(100)取向MgO薄膜. 结果表明, 衬底温度和喷雾速率是制备(100)取向MgO薄膜的关键因素. 在600℃得到了(100)取向的MgO薄膜, 用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和透射电镜(TEM)分析了薄膜的微观结构. 关键词 ： 氧化镁,  薄膜,  喷雾热分解     Key words： 收稿日期: 1900-01-01      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 蓝慕杰 叶水驰 鲍海飞 周士仁 姚枚 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y2000/V14/I1/72 1 D.K. Ford, F.A .Ponce, J.C.Tramontana,T.H.Geballe, Appl.Phys.Lett., 58, 2294(1991) 2 W.Y.Hsu, R.Raj, Appl.Phys.Lett., 6O, 3105(1992) 3 W.J.DeSisto, R.L.HenryL, J. Cryst.Growth, 109, 314(1091) 4 S.Kim, S.Hishita, Thin Solid Films, 282, 449(1996) 5 J.Senzaki, O.Mitsunaga, T. Uchida, T,Ueno, K.Kuroiwa, Jpn. J .Appl.Phys., 35, 4195(1996) 6 J.G.Yoon, K.Kim, Appl.Phys.Lett., 60, 2523(1992) 7 E.J.Tarsa, M.D.Graef, D.R.Clarke, A.C.Gossard,J.S.Speck, J.Appl.Phys., 73, 3276(1993) 8 L.S.Huang, L.R.Zheng, T.N.Blanton, Appl.Phys.Lett., 6O,3129(1992) 9 A.Masuda, K.Nashimoto, Jpn.J.Appl.Phys., 33, L793(1994) 10 B.S.DwaK, E.P.Boyd, K.Zhang, A.Erbil, B.Wilkins, Appl.Phys.Lett., 54, 2542(1995) 11 R.Huang, A.H.Kitai, Appl.Phys.Lett., 61, 1450(1992) 12 O.Stryckmans, T.Segato, P.H.Dllvigneaud, Thin Solid Films. 283, 17(1996) 13 Y.Xie, W.Z.wing, Y.IT.Qian, L.Yang, Z.W .Chen, Surf.Coatings Technol.,82, 291(1996) 14 J.G.Yoon, K.Kinl, Appl.Phys.Lett., 66, 2661(1995) 15 A.Rywak, J.M.Burlitch,T.M.Loehr, Chem.Mater., 7, 2028(1995) 16 Ho In-Chyuan, Y.H.Xu. J. D. Mackenzie, J.Sol-Gel.Sci,Tchnol.,9. 295(1997) 17 Y.Kaneko, N.Mikoshiba. T.Yamashita, Jpn.J.Appl.Phys.,3O. 1091 (1991) [1] 邵思武, 郑宇亭, 安康, 黄亚博, 陈良贤, 刘金龙, 魏俊俊, 李成明. 偏压技术在金刚石薄膜制备中应用的进展[J]. 材料研究学报, 2022, 36(3): 161-174. [2] 朱海勇, 张伟. 锰掺杂和氧化铌种子层对铌酸钾钠薄膜电性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(12): 945-950. [3] 崔丽, 孙丽丽, 郭鹏, 马鑫, 王舒远, 汪爱英. 沉积时间对聚醚醚酮表面类金刚石薄膜的结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(11): 801-810. [4] 李修贤, 邱万奇, 焦东玲, 钟喜春, 刘仲武. α籽晶促进低温反应溅射沉积α-Al2O3薄膜[J]. 材料研究学报, 2022, 36(1): 8-12. [5] 孙丽颖, 钱建华, 赵永芳. AgNWs-TPU/PVDF柔性薄膜电容传感器的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(6): 441-448. [6] 孙茂林, 宫震, 王施文, 尹航, 李瑞武, 张政, 李雨彤, 吴法宇. 氧控In2O3薄膜的光电性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(5): 394-400. [7] 张泽灵, 王世琦, 徐邦利, 赵昱皓, 张旭海, 方峰. FeCoNiMoCr高熵合金薄膜电极的电催化析氧性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(3): 193-200. [8] 熊文文, 何嵩, 郑淞生, 程其进, 沈宏勋, 陈朝. 用RF-PECVD法制备类金刚石薄膜[J]. 材料研究学报, 2021, 35(2): 154-160. [9] 宋贵宏, 李秀宇, 李贵鹏, 杜昊, 胡方. 溅射沉积富镁Mg3Bi2薄膜的热电性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(11): 835-842. [10] 谢明玲, 张广安, 史鑫, 谭稀, 高晓平, 宋玉哲. Ti掺杂MoS2薄膜的抗氧化性和电学性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(1): 59-64. [11] 张大磊, 魏恩泽, 荆赫, 杨留洋, 豆肖辉, 李同跃. 超级铁素体不锈钢表面超疏水结构的制备及其耐腐蚀性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(1): 7-16. [12] 刘芝君, 李之锋, 王春香, 谢光明, 黄庆研, 钟盛文. 四氧化三钴/碳纳米管薄膜的水热合成及其储锂性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(8): 584-590. [13] 李贵鹏, 宋贵宏, 胡方, 杜昊, 尹荔松. 溅射沉积掺Ag的SnSe薄膜的微结构和热电性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(8): 561-568. [14] 王世琦,霍文燚,徐正超,张旭海,周雪峰,方峰. 钴掺杂TiO2纳米管阵列薄膜的制备及其光催化还原性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(3): 176-182. [15] 王志虎,张菊梅,白力静,张国君. 水热处理对AZ31镁合金微弧氧化陶瓷层组织结构及耐蚀性的影响[J]. 材料研究学报, 2020, 34(3): 183-190. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed