材料研究学报  1996, Vol. 10 Issue (1): 73-76

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Sn—SnO_x薄膜的组织结构及湿敏性

严百平;朱秉升;刘道新

西安理工大学;西安交通大学;西北工业大学

ORGANIZATION FORM AND HUMIDITY SENSITIVITY OF Sn-SnO_x THIN FILM

YAN Baiping; ZHU Bingsheng(Xi'an University of Technology) (Xi'an Jiaotong University)LIU Daoxin(The Northwestern Polytechnical University)

严百平;朱秉升;刘道新. Sn—SnO_x薄膜的组织结构及湿敏性[J]. 材料研究学报, 1996, 10(1): 73-76.
, , . ORGANIZATION FORM AND HUMIDITY SENSITIVITY OF Sn-SnO_x THIN FILM[J]. Chin J Mater Res, 1996, 10(1): 73-76.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1167 KB)   摘要: 报道了一种制备Sn—SnOx湿敏薄膜的新工艺(VETO).首先在1mPa的真空下蒸发纯金属Sn质量分数999mg·g-1,衬底(Al2O3陶瓷基片)温度控制在150～250℃;蒸发的Sn膜在空气中缓慢氧化,即可获得湿度敏感的Sn—SnOx薄膜.利用XRD和SEM分析了膜的晶体结构和表面形貌环境湿度RH从11%变到97%肘,膜阻抗变化约三个量级,膜电导是电子电导和离子电导的混合.在低温区电子电导是主要的,在高温区离子电导占优势. 关键词 ： 蒸发,  热氧化,  Sn—SnO_x,  薄膜,  湿敏     Abstract：A new method (VETO) to prepare humidity sensitive film of Sn-SnOx has been reported.Firstly, pure tin (mass fraction 999mg/g) was evaporated on A12O3 ceramic substrates kept at 150～250℃in a pressure of 1 mPa. The humidity sensitive films could be got afte Key words： evaporation thermal oxidation Sn-SnOx thin films humidity sensitivity 收稿日期: 1996-02-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 严百平 朱秉升 刘道新 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1996/V10/I1/73 1KangWP,XuJF,LalevicBetalSensorsandActuators,1987,12;3492KohlD,ThorenW,SchnakenbergUetal．JChemSocFaradayTrans,1991,87(16):26473SberveglieriG,GroppelliS,NelliP．SensorsandActuatorsB,1991,4:4574SberveglieriG,FagliaG,GroppelliSetalSensorsandActuatorsB,1992,7:7215SbefveglieriG,FagliaG,GroppelliSetalSemicondSciTechnol,1990,5:12316MorimotoT,NagaoM,TokudaFJPhysChem,1969,73:2437清山哲郎[日]著,黄明敏译．金属氧化物及其催化作用．合肥:中国科技大学出版社,1991:1448HarrisonPG,GuestA．JChemSocFaradayTrans,1987,83(11):33839MorrisonSR．TheChemicalPhysicsofSurface．Newyork:Plenuml,Press,1977:21B [1] 邵思武, 郑宇亭, 安康, 黄亚博, 陈良贤, 刘金龙, 魏俊俊, 李成明. 偏压技术在金刚石薄膜制备中应用的进展[J]. 材料研究学报, 2022, 36(3): 161-174. [2] 朱海勇, 张伟. 锰掺杂和氧化铌种子层对铌酸钾钠薄膜电性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(12): 945-950. [3] 崔丽, 孙丽丽, 郭鹏, 马鑫, 王舒远, 汪爱英. 沉积时间对聚醚醚酮表面类金刚石薄膜的结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(11): 801-810. [4] 李修贤, 邱万奇, 焦东玲, 钟喜春, 刘仲武. α籽晶促进低温反应溅射沉积α-Al2O3薄膜[J]. 材料研究学报, 2022, 36(1): 8-12. [5] 孙丽颖, 钱建华, 赵永芳. AgNWs-TPU/PVDF柔性薄膜电容传感器的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(6): 441-448. [6] 孙茂林, 宫震, 王施文, 尹航, 李瑞武, 张政, 李雨彤, 吴法宇. 氧控In2O3薄膜的光电性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(5): 394-400. [7] 张泽灵, 王世琦, 徐邦利, 赵昱皓, 张旭海, 方峰. FeCoNiMoCr高熵合金薄膜电极的电催化析氧性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(3): 193-200. [8] 熊文文, 何嵩, 郑淞生, 程其进, 沈宏勋, 陈朝. 用RF-PECVD法制备类金刚石薄膜[J]. 材料研究学报, 2021, 35(2): 154-160. [9] 宋贵宏, 李秀宇, 李贵鹏, 杜昊, 胡方. 溅射沉积富镁Mg3Bi2薄膜的热电性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(11): 835-842. [10] 谢明玲, 张广安, 史鑫, 谭稀, 高晓平, 宋玉哲. Ti掺杂MoS2薄膜的抗氧化性和电学性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(1): 59-64. [11] 张大磊, 魏恩泽, 荆赫, 杨留洋, 豆肖辉, 李同跃. 超级铁素体不锈钢表面超疏水结构的制备及其耐腐蚀性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(1): 7-16. [12] 刘芝君, 李之锋, 王春香, 谢光明, 黄庆研, 钟盛文. 四氧化三钴/碳纳米管薄膜的水热合成及其储锂性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(8): 584-590. [13] 李贵鹏, 宋贵宏, 胡方, 杜昊, 尹荔松. 溅射沉积掺Ag的SnSe薄膜的微结构和热电性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(8): 561-568. [14] 王世琦,霍文燚,徐正超,张旭海,周雪峰,方峰. 钴掺杂TiO2纳米管阵列薄膜的制备及其光催化还原性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(3): 176-182. [15] 王志虎,张菊梅,白力静,张国君. 水热处理对AZ31镁合金微弧氧化陶瓷层组织结构及耐蚀性的影响[J]. 材料研究学报, 2020, 34(3): 183-190. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed