材料研究学报  1994, Vol. 8 Issue (5): 449-451

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Ta_2O_5薄膜的离子敏感特性

吴冲若;刘刚;林海安;邱洁真

东南大学

THE ION SENSITIVE BEHAVIOR OF Ta_2O_5 MEMBRANE

WU Chongruo; LIU Gang; LIN Haian; QIU Jiezheng (Department of Electronic Engineering; Southeast University)

吴冲若;刘刚;林海安;邱洁真. Ta_2O_5薄膜的离子敏感特性[J]. 材料研究学报, 1994, 8(5): 449-451.
, , , . THE ION SENSITIVE BEHAVIOR OF Ta_2O_5 MEMBRANE[J]. Chin J Mater Res, 1994, 8(5): 449-451.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(263 KB)   摘要: 用磁控溅射法制备了T0a2O5薄膜,再用C-V法和JFET外接薄膜电极法研究其稳定性和离子响应灵敏度.实验发现,在纯氧中沉积的厚200nmT2O5薄膜有较高的离子响应灵敏度和良好的稳定性. 关键词 ： Ta_2O_5薄膜,  离子敏感,  薄膜电极,  稳定性     Abstract：The H+ sensitive behavior of Ta2O5 has ben reported on the letter. The magnetron-sputtering method was chosen for the Ta2O5 membranedeposition. C-V measurments of MIS structures were uesd for evaluatingthe stability of the membranes. It is shown that the Key words： Ta_2O_5 membrane    ion sensitive    membrane electrode    stability 收稿日期: 1994-10-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 吴冲若 刘刚 林海安 邱洁真 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1994/V8/I5/449 [1] 李桥, 牛犇, 张瑞谦, 刘会群, 林国强, 王清. Ta/Zr对Fe-Cr-Al-Mo-Nb合金温轧板材高温组织稳定性的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 423-431. [2] 姜水淼, 明开胜, 郑士建. 晶界偏析以及界面相和纳米晶材料力学性能的调控[J]. 材料研究学报, 2023, 37(5): 321-331. [3] 程红杰, 刘黄娟, 姜婷, 王法军, 李文. 近红外反射超疏水黄色涂层的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(9): 687-698. [4] 张姝琪, 董丹丹, 万鹏, 王清, 董闯, 杨锐. 含Al耐热奥氏体不锈钢的团簇式成分设计[J]. 材料研究学报, 2022, 36(5): 353-364. [5] 宗平, 李世伟, 陈红, 苗赛男, 张慧, 李超. 碳包覆纳米铜的原位热解法制备及其稳定性[J]. 材料研究学报, 2022, 36(11): 829-836. [6] 张泽灵, 王世琦, 徐邦利, 赵昱皓, 张旭海, 方峰. FeCoNiMoCr高熵合金薄膜电极的电催化析氧性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(3): 193-200. [7] 徐春萍, 陈春悦, 张永航, 龚维, 班大明. 含磷聚合物型阻燃剂(PMP)对乙烯基酯树脂(VER)的阻燃改性[J]. 材料研究学报, 2021, 35(11): 843-849. [8] 张明, 王志勇, 罗琴, 代正昆, 黎业生, 吴子平. 基于高活性碳纳米管海绵体载硫的锂硫电池[J]. 材料研究学报, 2021, 35(1): 65-71. [9] 施渊吉,于林惠,于照鹏,成功,吴晓春,滕宏春. 热作模具钢DM的高温稳定性和热疲劳性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(2): 125-136. [10] 丁仁浩, 曹丹, 许璐, 王自强, 李建喜, 马红娟. 电子束辐射对取向性聚醚醚酮性能的影响[J]. 材料研究学报, 2020, 34(11): 822-828. [11] 吴巧凤, 张富, 于月, 张萌, 于华, 樊栓狮. CsPbI2Br无机钙钛矿太阳能电池稳定性的研究进展[J]. 材料研究学报, 2020, 34(11): 811-821. [12] 石从云,王金峰,陈红祥,杨旭萌,杜昌俊,李光要,刘鹏,蔡浩浩. 光棒废料改性环氧树脂复合材料的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(1): 57-63. [13] 冯凡凡,武会宾,于新攀. 纳米贝氏体/马氏体钢的热稳定性[J]. 材料研究学报, 2019, 33(8): 597-602. [14] 薛江陪,姜春海,邹智敏,潘炳炫. LiCoO2/LiNi0.8Co0.15Al0.05O2混合正极的颗粒级配与电化学性能[J]. 材料研究学报, 2019, 33(3): 170-176. [15] 崔永杰,刘勇,彭帅,韩克清,余木火. SiBN三元陶瓷纤维的聚硼硅氮烷裂解转化制备和性能[J]. 材料研究学报, 2019, 33(2): 155-160. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed