Co薄膜的稳定性和室温相观察

材料研究学报

1999, Vol. 13

Issue (4): 423-426

论文

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Co薄膜的稳定性和室温相观察

张灶利;郭红霞;肖治纲;余宗森;王桂兰

北京科技大学;湖南郴州工业学校

引用本文:

张灶利; 郭红霞; 肖治纲; 余宗森; 王桂兰 . Co薄膜的稳定性和室温相观察[J]. 材料研究学报, 1999, 13(4): 423-426.

全文: PDF(482 KB)

摘要: 用电镜对Si(001)基体上的Co薄膜的室温相和稳定性进行了观察, 高分辨像和小角解理的电子衍射结果均表明: 室温下, Co薄膜不发生反应, 室温相为α-Co, 没有硅化物形成. Co薄膜在经过300℃2h退火后, 薄膜发生部分凝聚现象, 凝聚团由硅化物组成. 300℃退火后薄膜由Co2Si和CoSi两相组成.

关键词 ：钴硅化物, 薄膜, 室温相, 部分凝聚, 电子显微镜

Key words：

收稿日期: 1900-01-01

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1 　 J. Y. Veuillen , J. Perrien , D. A. Bado2 , E. Rosencher, C. D’ Anterroches, Appl. Phys. Lett.,51 ,1448 (1987)
2 　 P. Puterana, P. Houdy , P. Boher, J. Appl. Phys.,68 ,1033 (1990)
3 　 J. M. Gallego, R. Miranda , S. Molodtsov , C. Laubschat, G. Kaindl, Surf. Sci.,239 ,203 (1990)
4 　 Z. G. Xiao , G. A. Rozgonyi, C. A. Canovai, C. M. Osburn , J. Mater. Res.,7 (2) ,269 (1992)
5 　 R. Madar, C. d’ Anterroches, F. Arnoud. d’ Avitaya , D. Boursier, O. Thomas, J. P. Senateur, J. Appl. Phys.,64 , 14(1988)
6 　 J. P. Mc Carrrey , Ultramicroscopy ,38 (2) , 149 (1990)
7 　 C. W. Nieh , T. L. Lin, J. Appl. Phys.,66 , 3402 (1989)
8 　 C. D’ Anterroches, Hejat Yakupoglu, T. L. Lin , R. W. Fathauer, P. J. Grunthaner, Appl. phys. Lett.,52 ,434 (1988)
9 　 M. J. Kim , R. W. Carpenter, Ultramicroscopy,21 ,327 (1987)
10 　 A. E. Morgan , K. N. Ritz, E. K. Broadbent, A. S. Bhansali, J. Appl. Phys.,67 ,6205 (1990):

[1]	邵思武, 郑宇亭, 安康, 黄亚博, 陈良贤, 刘金龙, 魏俊俊, 李成明. 偏压技术在金刚石薄膜制备中应用的进展[J]. 材料研究学报, 2022, 36(3): 161-174.
[2]	朱海勇, 张伟. 锰掺杂和氧化铌种子层对铌酸钾钠薄膜电性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(12): 945-950.
[3]	崔丽, 孙丽丽, 郭鹏, 马鑫, 王舒远, 汪爱英. 沉积时间对聚醚醚酮表面类金刚石薄膜的结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(11): 801-810.
[4]	李修贤, 邱万奇, 焦东玲, 钟喜春, 刘仲武. α籽晶促进低温反应溅射沉积α-Al₂O₃薄膜[J]. 材料研究学报, 2022, 36(1): 8-12.
[5]	孙丽颖, 钱建华, 赵永芳. AgNWs-TPU/PVDF柔性薄膜电容传感器的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(6): 441-448.
[6]	孙茂林, 宫震, 王施文, 尹航, 李瑞武, 张政, 李雨彤, 吴法宇. 氧控In₂O₃薄膜的光电性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(5): 394-400.
[7]	张泽灵, 王世琦, 徐邦利, 赵昱皓, 张旭海, 方峰. FeCoNiMoCr高熵合金薄膜电极的电催化析氧性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(3): 193-200.
[8]	熊文文, 何嵩, 郑淞生, 程其进, 沈宏勋, 陈朝. 用RF-PECVD法制备类金刚石薄膜[J]. 材料研究学报, 2021, 35(2): 154-160.
[9]	宋贵宏, 李秀宇, 李贵鹏, 杜昊, 胡方. 溅射沉积富镁Mg₃Bi₂薄膜的热电性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(11): 835-842.
[10]	谢明玲, 张广安, 史鑫, 谭稀, 高晓平, 宋玉哲. Ti掺杂MoS₂薄膜的抗氧化性和电学性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(1): 59-64.
[11]	张大磊, 魏恩泽, 荆赫, 杨留洋, 豆肖辉, 李同跃. 超级铁素体不锈钢表面超疏水结构的制备及其耐腐蚀性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(1): 7-16.
[12]	刘芝君, 李之锋, 王春香, 谢光明, 黄庆研, 钟盛文. 四氧化三钴/碳纳米管薄膜的水热合成及其储锂性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(8): 584-590.
[13]	李贵鹏, 宋贵宏, 胡方, 杜昊, 尹荔松. 溅射沉积掺Ag的SnSe薄膜的微结构和热电性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(8): 561-568.
[14]	王世琦,霍文燚,徐正超,张旭海,周雪峰,方峰. 钴掺杂TiO₂纳米管阵列薄膜的制备及其光催化还原性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(3): 176-182.
[15]	王志虎,张菊梅,白力静,张国君. 水热处理对AZ31镁合金微弧氧化陶瓷层组织结构及耐蚀性的影响[J]. 材料研究学报, 2020, 34(3): 183-190.

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