材料研究学报  1989, Vol. 3 Issue (5): 419-424

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ICB 淀积 Sb,Pb 的薄膜结构

和志刚;冯嘉猷;汤海鹏;范玉殿;李恒德

清华大学;清华大学材料科学与工程系材料科学教研室;100084;清华大学;清华大学;清华大学

STRUCTURE OF Sb AND Pb FILMS DEPOSITED BY IONIZED CLUSTER BEAM

HE Zhigang FENG Jiayou TANG Haipeng FAN Yudian LI Hengde (Tsinghua University)

和志刚;冯嘉猷;汤海鹏;范玉殿;李恒德. ICB 淀积 Sb,Pb 的薄膜结构[J]. 材料研究学报, 1989, 3(5): 419-424.
, , , , . STRUCTURE OF Sb AND Pb FILMS DEPOSITED BY IONIZED CLUSTER BEAM[J]. Chin J Mater Res, 1989, 3(5): 419-424.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(900 KB)   摘要: 本文用离化原子团束工艺淀积Sb 和Pb 薄膜,系统研究了各淀积参数对薄膜晶粒取向度等结构特性的影响,并测定了Pb 原子团束的原子团大小和离化率,讨论了薄膜结构的形成机理. 关键词 ： 离化原子团束工艺,  薄膜,  薄膜结构     Abstract：The paper studies systematically the deposiion at Sb and Pb filmswith an ionized cluster beam set-up.The dependences of the orientationdegree of the grains in the film on the substrate temperature,the ionization cu-rrent and the acceleration voltage are d Key words： ionized cluster beam process    films    film structure 收稿日期: 1989-10-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 和志刚 冯嘉猷 汤海鹏 范玉殿 李恒德 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1989/V3/I5/419 1 Takagi T,Yamada J,Kunori M,Kobiyama S.Proc.2nd Int.Conf.Ion Sources.Vienna,1972,p790 2 Mojejko-Kotlinska K,Subotowicz M.Thin Solid Films,1984;111:235 3 Takagi T,Yamada I,Sasaki A.J Vac Sci Technol,1975;12(6) :1128 4 Mojejko K,Paprocki K,Subotowicz M,Radomsky M.J Crystal Growth,1976,36:61 5 Kaiser N,M(?)ller H,Gloede Ch.Thin Solid Films,1981;85:293 6 Broughton J Q,Woodcook V L.J Phys C,1978;11:274 [1] 邵思武, 郑宇亭, 安康, 黄亚博, 陈良贤, 刘金龙, 魏俊俊, 李成明. 偏压技术在金刚石薄膜制备中应用的进展[J]. 材料研究学报, 2022, 36(3): 161-174. [2] 朱海勇, 张伟. 锰掺杂和氧化铌种子层对铌酸钾钠薄膜电性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(12): 945-950. [3] 崔丽, 孙丽丽, 郭鹏, 马鑫, 王舒远, 汪爱英. 沉积时间对聚醚醚酮表面类金刚石薄膜的结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(11): 801-810. [4] 李修贤, 邱万奇, 焦东玲, 钟喜春, 刘仲武. α籽晶促进低温反应溅射沉积α-Al2O3薄膜[J]. 材料研究学报, 2022, 36(1): 8-12. [5] 孙丽颖, 钱建华, 赵永芳. AgNWs-TPU/PVDF柔性薄膜电容传感器的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(6): 441-448. [6] 孙茂林, 宫震, 王施文, 尹航, 李瑞武, 张政, 李雨彤, 吴法宇. 氧控In2O3薄膜的光电性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(5): 394-400. [7] 张泽灵, 王世琦, 徐邦利, 赵昱皓, 张旭海, 方峰. FeCoNiMoCr高熵合金薄膜电极的电催化析氧性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(3): 193-200. [8] 熊文文, 何嵩, 郑淞生, 程其进, 沈宏勋, 陈朝. 用RF-PECVD法制备类金刚石薄膜[J]. 材料研究学报, 2021, 35(2): 154-160. [9] 宋贵宏, 李秀宇, 李贵鹏, 杜昊, 胡方. 溅射沉积富镁Mg3Bi2薄膜的热电性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(11): 835-842. [10] 谢明玲, 张广安, 史鑫, 谭稀, 高晓平, 宋玉哲. Ti掺杂MoS2薄膜的抗氧化性和电学性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(1): 59-64. [11] 张大磊, 魏恩泽, 荆赫, 杨留洋, 豆肖辉, 李同跃. 超级铁素体不锈钢表面超疏水结构的制备及其耐腐蚀性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(1): 7-16. [12] 刘芝君, 李之锋, 王春香, 谢光明, 黄庆研, 钟盛文. 四氧化三钴/碳纳米管薄膜的水热合成及其储锂性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(8): 584-590. [13] 李贵鹏, 宋贵宏, 胡方, 杜昊, 尹荔松. 溅射沉积掺Ag的SnSe薄膜的微结构和热电性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(8): 561-568. [14] 王世琦,霍文燚,徐正超,张旭海,周雪峰,方峰. 钴掺杂TiO2纳米管阵列薄膜的制备及其光催化还原性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(3): 176-182. [15] 王志虎,张菊梅,白力静,张国君. 水热处理对AZ31镁合金微弧氧化陶瓷层组织结构及耐蚀性的影响[J]. 材料研究学报, 2020, 34(3): 183-190. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed