材料研究学报  1992, Vol. 6 Issue (4): 315-319

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双束溅射淀积DLC膜的结构表征和性能分析

王维洁;王天民;韩培刚;罗崇泰;黄良甫;刘定权

兰州大学;兰州大学;兰州大学;中国空间技术研究院兰州物理研究所;中国空间技术研究院兰州物理研究所;中国空间技术研究院兰州物理研究所

CHARACTERIZATION OF DLC FILMS PREPARED BY DUAL-ION BEAM SPUTTERING DEPOSITION

WANG Weijie;WANG Tianmin;HAN Peigang(Lanzhou University)LUO Chongtai;HUANG Liangfu;LIU Dingquan(Physics Research Institute of Lanzhou;Chinese A cademy of Space Technology)

王维洁;王天民;韩培刚;罗崇泰;黄良甫;刘定权. 双束溅射淀积DLC膜的结构表征和性能分析[J]. 材料研究学报, 1992, 6(4): 315-319.
, , , , , . CHARACTERIZATION OF DLC FILMS PREPARED BY DUAL-ION BEAM SPUTTERING DEPOSITION[J]. Chin J Mater Res, 1992, 6(4): 315-319.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(427 KB)   摘要: 用双离子束溅射淀积法,在轰击源含不同CH_4流量比的条件下,于玻璃和Si 基片上淀积了DLC 薄膜。用多种手段对所制备的膜进行了结构表征和性能分析。结果表明,轰击源中CH_4流量比对DLC 膜的结构、形貌及其光、电性能有重要的影响。分析了影响机制,探讨了DLC 膜的生长机理。 关键词 ： 双离子束溅射淀积,  DLC膜,  薄膜生长,  结构,  性能     Abstract：Using dual-ion beam sputtering deposition method,DLC films were depositedon glass and silicon substrate under different CH_4 flow ratios(CH_4/(CH_4+Ar)from 0% to100%)in bombarding ion source.The structures and the properties of the films were systemati-ca Key words： Dual-ion beam sputtering deposition    DLC films    thin film growth    structure    properties 收稿日期: 1992-08-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 王维洁 王天民 韩培刚 罗崇泰 黄良甫 刘定权 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1992/V6/I4/315 1 Tsai H C,Bogy D B.J Vac Sci Technol,1987;A5(6) :3287 2 林树汉,刘国洪.材料科学进展,1987;1(4) :13 3 王天民等.薄膜科学与技术,1990;3(2) :45 4 王维洁等.光学学报,1990;10(12) :1118 5 Kitabatake M,Wasa K.J Appl Phys,1985;58(4) :1693 6 Dillon R O,Woollam J A,Karkanan V.Phys Rev,1984;29(6) :3482 7 Savvides N,Window B.J Vac Sci Technol,1985;A3(6) :238 [1] 毛建军, 富童, 潘虎成, 滕常青, 张伟, 谢东升, 吴璐. AlNbMoZrB系难熔高熵合金的Kr离子辐照损伤行为[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 641-648. [2] 幸定琴, 涂坚, 罗森, 周志明. C含量对VCoNi中熵合金微观组织和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 685-696. [3] 欧阳康昕, 周达, 杨宇帆, 张磊. 含LPSO相Mg-Y-Er-Ni合金的组织和拉伸性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 697-705. [4] 潘新元, 蒋津, 任云飞, 刘莉, 李景辉, 张明亚. 热挤压钛/钢复合管的微观组织和性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 713-720. [5] 徐利君, 郑策, 冯小辉, 黄秋燕, 李应举, 杨院生. 定向再结晶对热轧态Cu71Al18Mn11合金的组织和超弹性性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 571-580. [6] 陈晶晶, 占慧敏, 吴昊, 朱乔粼, 周丹, 李柯. 纳米晶CoNiCrFeMn高熵合金的拉伸力学性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 614-624. [7] 秦鹤勇, 李振团, 赵光普, 张文云, 张晓敏. 固溶温度对GH4742合金力学性能及γ' 相的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 502-510. [8] 冯叶, 陈志勇, 姜肃猛, 宫骏, 单以银, 刘建荣, 王清江. 一种NiCrAlSiY涂层对Ti65钛合金板材循环氧化和室温力学性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 523-534. [9] 王伟, 解泽磊, 屈怡珅, 常文娟, 彭怡晴, 金杰, 王快社. Graphene/SiO2 纳米复合材料作为水基润滑添加剂的摩擦学性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 543-553. [10] 史畅, 杜宇航, 赖利民, 肖思明, 郭宁, 郭胜锋. CrTaTi难熔中熵合金的力学性能和抗氧化性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 443-452. [11] 雷志国, 文胜平, 黄晖, 张二庆, 熊湘沅, 聂祚仁. 冷轧变形和添加Si对Al-2Mg-0.8Cu(-Si)合金的组织和力学性能的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 463-471. [12] 张藤心, 王函, 郝亚斌, 张建岗, 孙新阳, 曾尤. 基于界面氢键结构的石墨烯/聚合物复合材料的阻尼性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 401-407. [13] 王伟, 彭怡晴, 丁士杰, 常文娟, 高原, 王快社. Ti-6Al-4V合金表面石墨基粘结固体润滑涂层的高温摩擦学性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 432-442. [14] 邵萌萌, 陈招科, 熊翔, 曾毅, 王铎, 王徐辉. C/C-ZrC-SiC复合材料的Si2+ 离子辐照行为[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 472-480. [15] 姜水淼, 明开胜, 郑士建. 晶界偏析以及界面相和纳米晶材料力学性能的调控[J]. 材料研究学报, 2023, 37(5): 321-331. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed