材料研究学报  1997, Vol. 11 Issue (3): 334-336

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化学汽相沉积金刚石薄膜的生长

唐璧玉;靳九成;靳浩;颜永红;李绍绿;夏金童;陈小华;陈宗璋

湖南大学;湖南大学;湖南大学;湖南大学;湖南大学;湖南大学;湖南大学;湖南大学

GROWTH PROCESS FOR DIAMOND THIN FILMS

TANG Biyu; JIN Jiucheng; JIN Hao; YAN Yonghong LI Shaolu; XIA Jintong; CHENG Xiaohua; CHENG Zongzhang (Hunan University)

唐璧玉;靳九成;靳浩;颜永红;李绍绿;夏金童;陈小华;陈宗璋. 化学汽相沉积金刚石薄膜的生长[J]. 材料研究学报, 1997, 11(3): 334-336.
, , , , , , , . GROWTH PROCESS FOR DIAMOND THIN FILMS[J]. Chin J Mater Res, 1997, 11(3): 334-336.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1583 KB)   摘要: 利用热丝化学汽相沉积法生长出优异的金刚石薄膜.研究表明,金刚石的成核依赖于沉积点的尖锐度,薄膜的生长包括晶粒长大和薄膜上的二次成核及其生长,可用分层生长来描述.金刚石晶粒的生长由外延生长和二次成核及其生长组成,也是分层进行的.结果导致了金刚石晶体和薄膜的层状结构. 关键词 ： 化学汽相沉积,  金刚石薄膜,  分层生长,  层状结构     Abstract：High quality diamond thin films were grown by hot finament chchcal vopr dopsition.Their microstructure and growth processes were studied by means of high-magnification scatring clectron miorosoopy. The study showed that nucleation of diamond was detetrine Key words： chemical vapor deposition diamond thin films gradational growth grodational structure 收稿日期: 1997-06-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 唐璧玉 靳九成 靳浩 颜永红 李绍绿 夏金童 陈小华 陈宗璋 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1997/V11/I3/334 1. C.P.Klases, Appl.Phys. A56(2),513(1993) 2. W.K.Burton, N.Cabrea, F.C.Frank, Philos. Trans. R. Soc. London, A243(1),299(1951) 3. R.L.Schwoebe, J. APPl. Phys. 37(10),3682(1966) 4. X.Voigtlaender, R.Risken, E.Kasper, Appl. Phys. A39(1),31(1986) [1] 邵思武, 郑宇亭, 安康, 黄亚博, 陈良贤, 刘金龙, 魏俊俊, 李成明. 偏压技术在金刚石薄膜制备中应用的进展[J]. 材料研究学报, 2022, 36(3): 161-174. [2] 崔丽, 孙丽丽, 郭鹏, 马鑫, 王舒远, 汪爱英. 沉积时间对聚醚醚酮表面类金刚石薄膜的结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(11): 801-810. [3] 徐稳, 王知杰, 朱雯雯, 彭子童, 姚楚, 游峰, 江学良. 微穿孔板-聚合物层状结构材料的制备和吸声性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(7): 535-542. [4] 熊文文, 何嵩, 郑淞生, 程其进, 沈宏勋, 陈朝. 用RF-PECVD法制备类金刚石薄膜[J]. 材料研究学报, 2021, 35(2): 154-160. [5] 王延平 王兵 熊鹰 周亮. 掺氮纳米金刚石膜的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2011, 25(2): 147-150. [6] 王玉乾 王兵 孟祥钦 甘孔银. 掺硼对超纳米金刚石薄膜的影响[J]. 材料研究学报, 2009, 23(3): 288-292. [7] 刘洪喜 蒋业华 周荣 詹肇麟 汤宝寅. 类金刚石薄膜对轴承钢表面机械性能和滚动接触疲劳寿命的影响[J]. 材料研究学报, 2009, 23(1): 43-48. [8] 胡巧玲; 龚姬华; 沈家骢 . 原位沉析法组装仿生层状空心壳聚糖髓内钉[J]. 材料研究学报, 2005, 19(3): 225-229. [9] 汪浩;朱鹤孙;沈明荣;宁兆元. CVD金刚石薄膜的成核机制[J]. 材料研究学报, 1998, 12(6): 570-574. [10] 郑昌琼;张铭诚;冉均国. 金刚石薄膜品质及其表征[J]. 材料研究学报, 1997, 11(3): 231-239. [11] 陈岩;黄荣芳;闻立时;师昌绪. 温度场对热丝化学气相沉积大面积生长金刚石膜的影响[J]. 材料研究学报, 1995, 9(3): 245-249. [12] 沈荷生;张志明;何贤昶;李胜华. 金刚石的同质外延掺硼和Schottky特性[J]. 材料研究学报, 1995, 9(2): 163-166. [13] 张志伟;李荣志;朱鹤孙. 金刚石薄膜及高保真声学振动膜材料概述[J]. 材料研究学报, 1994, 8(4): 330-336. [14] 郭力军;许念坎;刘正堂;张贵锋;郑修麟. 极板负偏压对类金刚石薄膜性质的影响[J]. 材料研究学报, 1994, 8(1): 67-70. [15] 张贵锋;郑修麟. 衬底表面预处理对金刚石薄膜形核及长大的影响[J]. 材料研究学报, 1993, 7(2): 132-137. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed