材料研究学报  2005, Vol. 19 Issue (4): 395-400

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表面张力温度系数对硅单晶生长的影响

李友荣(1); 邓努波(1;2); 吴双应(1); 彭岚(1); 李明伟

1.重庆大学; 2.重庆电力高等专科学校

李友荣; 邓努波; 吴双应; 彭岚; 李明伟 . 表面张力温度系数对硅单晶生长的影响[J]. 材料研究学报, 2005, 19(4): 395-400.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(670 KB)   摘要: 利用有限元方法对硅单晶Czochralski(Cz)法生长炉内的流动和传输过程进行了全局数值模拟,研究了表面张力温度系数对硅单晶生长过程的影响,模拟的表面张力温度系数范围是(0-0.35)×10-3N/m•K.结果表明:随着表面张力温度系数的增加, 由Marangoni效应驱动的熔体表面流动能强化熔体的自然对流,从而减小了通过熔体自由界面的温差, 降低了加热器的功率. 但是, 结晶界面更凸向熔体,在结晶界面处晶体内的轴向温度梯度减小; 对常规Cz炉,结晶界面处的平均氧浓度先减小然后增大, 而对于具有气体导板的Cz炉,Marangoni效应总是使结晶界面处的平均氧浓度减小. 关键词 ： 材料科学基础学科,  全局分析,  有限元方法     Key words： 收稿日期: 1900-01-01      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 李友荣 邓努波 吴双应 彭岚 李明伟 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/Y2005/V19/I4/395 1 A.Lipchin, R.A.Brown, J. Crystal Growth, 205, 71(1999) 2 M.Watanabe, K.M.Yi, T.Hibiya, Kakimoto, Progress in Crystal Growth and Characterization of Materials, 38, 215(1999) 3 J.S.Kim, T.Y.Lee, J. Crystal Growth, 219, 205(2000) 4 S.Kawanishi, S.Togawa, K.Izunome, K.Terashima, S.Kimura, Jpn. J. Appl. Phys., 34, 5885(1995) 5 I.Kanda, T.Suzuki, K.Kojima, J. Crystal Growth, 166, 669(1996) 6 H.Nakanishi, M.Watanabe, K.Terashima, J. Crystal Growth, 236, 523(2002) 7 P.Sabhapathy, M.E.Salcudean, J. Crystal Growth, 113, 164(1991) 8 H.T.Chung, S.C.Lee, J.K.Yoon, J. Crystal Growth, 163, 249(1996) 9 K.Kakimoto, J. Crystal Growth, 230, 100(2001) 10 LI Yourong, RUAN Dengfang, PENG Lan, WU Shuangying, Chinese Journal of Materials Research, 18(2), 212(2004) (李友荣,阮登芳,彭岚,吴双应,材料研究学报,18(2),212(2004)) 11 LI Yourong, RUAN Dengfang, PENG Lan, WU Shuangying, Chinese Journal of Materials Research, 18(2), 219(2004) (李友荣,阮登芳,彭岚,吴双应,材料研究学报,18(2),219(2004)) 12 LI Yourong, YU Changjun, LI Mingwei, WU Shuangying, PENG Lan, Chinese Journal of Materials Research, 19(3), 249(2005) (李友荣,余长军,李明伟,吴双应,彭岚,材料研究学报,19(3),249(2005)) 13 S.Kimura, K.Terashima, J. Crystal Growth, 180, 323(1997) 14 K.Mukai, Z.Yuan, K.Nogi, T.Hibiya, ISIJ International, 40, S148(2000). [1] 杨栋天, 熊良银, 廖洪彬, 刘实. 基于热力学模拟计算的CLF-1钢改良设计[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 590-602. [2] 姜水淼, 明开胜, 郑士建. 晶界偏析以及界面相和纳米晶材料力学性能的调控[J]. 材料研究学报, 2023, 37(5): 321-331. [3] 孙艺, 韩同伟, 操淑敏, 骆梦雨. 氟化五边形石墨烯的拉伸性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(2): 147-151. [4] 谢明玲, 张广安, 史鑫, 谭稀, 高晓平, 宋玉哲. Ti掺杂MoS2薄膜的抗氧化性和电学性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(1): 59-64. [5] 岳颗, 刘建荣, 杨锐, 王清江. Ti65合金的初级蠕变和稳态蠕变[J]. 材料研究学报, 2020, 34(2): 151-160. [6] 鲁效庆,张全德,魏淑贤. A-π-D-π-A型吲哚类染料敏化剂的光电特性[J]. 材料研究学报, 2020, 34(1): 50-56. [7] 李学雄,徐东生,杨锐. 钛合金双态组织高温拉伸行为的晶体塑性有限元研究[J]. 材料研究学报, 2019, 33(4): 241-253. [8] 刘庆生, 曾少军, 张丹城. 基于细观结构的阴极炭块钠膨胀应力数值分析及实验验证[J]. 材料研究学报, 2017, 31(9): 703-713. [9] 马志军, 莽昌烨, 王俊策, 翁兴媛, 司力玮, 关智浩. 三种金属离子掺杂对纳米镍锌铁氧体吸波性能的影响[J]. 材料研究学报, 2017, 31(12): 909-917. [10] 代克顺, 朱黎, 王晗, 肖文凯. 316LN钢焊缝在冲击过程中裂纹扩展行为分析[J]. 材料研究学报, 2017, 31(12): 939-946. [11] 黄莉. 石蜡/水相变乳液的稳定性能和储能容量[J]. 材料研究学报, 2017, 31(10): 789-795. [12] 朱良,王晶,李晓慧,锁红波,张亦良. 基于堆焊成形钛合金高周疲劳实验数据的R-S-N模型[J]. 材料研究学报, 2015, 29(9): 714-720. [13] 陈杨,钱程,宋志棠,闵国全. 用AFM力曲线技术测定聚合物微球的压缩杨氏模量*[J]. 材料研究学报, 2014, 28(7): 509-514. [14] 于桂琴,刘建军,梁永民. 胍盐离子液体的合成及其对钢/钢摩擦副的摩擦性能研究*[J]. 材料研究学报, 2014, 28(6): 448-454. [15] 王效岗,李乐毅,王海澜,周存龙,黄庆学. 双金属复合板材辊式矫直的数值模型*[J]. 材料研究学报, 2014, 28(4): 308-313. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed