材料研究学报  1999, Vol. 13 Issue (5): 531-534

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用等离子体基脉冲偏压技术制备DLC膜

孙明仁(1);夏立芳(1);孙跃(1);马欣新(1);李光(1);张振信(2)

1.哈尔滨工业大学;2.哈尔滨理工大学

孙明仁; 夏立芳; 孙跃; 马欣新; 李光; 张振信 . 用等离子体基脉冲偏压技术制备DLC膜[J]. 材料研究学报, 1999, 13(5): 531-534.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(434 KB)   摘要: 用等离子体基脉冲偏压技术制备了DLC(类金刚石碳)膜,DLC膜硬度值达30GPa,电阻值达100MΩ以上. 降低脉冲负偏压峰值及适量引入氢气可促进SP3结构的形成,但氢气量超过一定阈值后SP2束片尺寸细化,SP2键含量有增加的趋势. 在GCr15轴承钢基体上经磁近代溅射沉积约300nm纯Ti层,再用脉冲偏压技术沉积DLC膜的改性层,在DLC膜与GCr15钢基体之间形成了C-Ti成分渐变的梯度层. 关键词 ： 等离子体,  等离子体基脉冲偏压技术,  DLC膜     Key words： 收稿日期: 1900-01-01      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 孙明仁 夏立芳 孙跃 马欣新 李光 张振信 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/Y1999/V13/I5/531 1 　J.Robertson,Surf.Coat.Technol.,50,185(1992) 2 　A.Grill, V.Patel,B.Meyerson,Surf.Coat.Technol.,49 ,530(1991) 3 　J.R.Conrad,J.L.Radtke,R.A.Dodd,J.Appl.Phys.,62,4591(1987) 4 　夏立方, 孙跃, 马欣新, 金属热处理,(2),3(1995) 5 　J.Chen,J.Blanchard,J.R.Conrad,R.A.Dodd,Surf.Coat.Technol.,53,267(1992) 6 　S.H.Han,H.D.Kim ,Y.H.Lee,J.H.Lee,S.G.Kim ,Surf.Coat.Technol.,82,270(1996) 7 　C.P.Munson,R.J.Faehl,I.Henins, M.Nastasi,W.A.Reass,D.J.Rej,J.T.Scheuer, K.C.Walter,B.P.Wood,Surf.Coat.Technol.,84 ,528(1996) 8 　E.Teng,C.Jiaa,A.Eltoukhy,Surf.Coat.Technol.,68/69,632(1994) 9 　D.S.Knight, W.B.White,J.Mater.Res.,4(2) ,385(1989) 10　M.A.Capano,N.T.McDevitt,R.K.Singh,F.Qinn,J.Vac.Sci.Technol.,A14(2) ,431(1996) 11　M.J.Paterson,K.G.Orrman- Rossiter,D.K.Sood,Dia.and Relat. Mater.,2 ,1439(1993) 12　H.J.Lee,R.Zubeck,D.Hollars,J.K.Lee, M.Smallen,J.Vac.Sci.Technol.,A11(6),3007(1993) [1] 王乾, 蒲磊, 贾彩霞, 李志歆, 李俊. 碳纤维/环氧复合材料界面改性的不均匀性[J]. 材料研究学报, 2023, 37(9): 668-674. [2] 陈怿咨, 张承双, 陈平. 用常压空气等离子体对PBO纤维表面接枝改性[J]. 材料研究学报, 2021, 35(9): 641-650. [3] 刘哲,陈博涵,陈平. 氧气DBD等离子体处理PBO纤维表面及其对双马树脂基复合材料界面性能的影响[J]. 材料研究学报, 2020, 34(2): 109-117. [4] 刘欣怡, 王仕发, 余先伦, 唐盛楠, 房雷鸣, 雷力. MgAl2O4:Mg荧光粉的合成及其发光性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(10): 784-792. [5] 贾彩霞,王乾,任荣,孙福宁. Technora纤维表面等离子体处理对其复合材料界面性能的影响[J]. 材料研究学报, 2019, 33(6): 461-466. [6] 张栋,柯培玲,汪爱英,王香勇,智理. 用PECVD工艺制备功能装饰氧化硅薄膜的性能[J]. 材料研究学报, 2019, 33(6): 467-474. [7] 王闻宇, 刘亚敏, 金欣, 肖长发, 朱正涛, 林童. 聚吡咯修饰碳纤维/环氧树脂复合材料的界面剪切强度[J]. 材料研究学报, 2018, 32(3): 209-215. [8] 王静, 任航, 陈平, 时晨, 任荣. 氧等离子体处理对国产芳III纤维表面性能的影响[J]. 材料研究学报, 2018, 32(1): 12-16. [9] 余洁意,高嵩,董星龙. 硅纳米带电弧等离子体的合成及其储锂电化学特性[J]. 材料研究学报, 2017, 31(3): 161-167. [10] 杨文进,赵彦辉,沈明礼,刘占奇,肖金泉,宫骏,于宝海,孙超. 低温低压电弧等离子体渗氮处理316不锈钢的耐腐蚀性能[J]. 材料研究学报, 2017, 31(2): 81-87. [11] 吴杰,张亦凡,金小越,杨璇,琳陈,薛文斌. T8钢液相等离子体电解渗碳的扩散过程和光谱学分析*[J]. 材料研究学报, 2016, 30(9): 655-661. [12] 贾彩霞,陈平,王乾,王静,任荣. 常压空气等离子体对连续纤维的在线改性*[J]. 材料研究学报, 2015, 29(1): 10-16. [13] 路平,陈晓,杨明. 用等离子体处理-连续浸渍法制备银-玻璃纤维复合材料*[J]. 材料研究学报, 2015, 29(1): 45-50. [14] 孙丽丽,张栋,陈仁德,柯培玲,许辉,汪爱英. 不锈钢表面沉积DLC膜的结构和性能*[J]. 材料研究学报, 2014, 28(9): 697-702. [15] 赵亚楠 薛方红 黄 昊 刘春静 甘小荣 董星龙. 纳米铝粒子电极的脱/嵌锂离子特性[J]. 材料研究学报, 2011, 25(4): 386-390. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed