材料研究学报  2001, Vol. 15 Issue (4): 411-414

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制备工艺对InP/SiO2纳米膜性能的影响

丁瑞钦1;2; 王浩 1; 佘卫龙2; 王宁娟1; 于英敏1

1五邑大学; 2中山大学超快速激光光谱国家重点实验室

丁瑞钦; 王浩; 佘卫龙; 王宁娟; 于英敏 . 制备工艺对InP/SiO2纳米膜性能的影响[J]. 材料研究学报, 2001, 15(4): 411-414.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(773 KB)   摘要: 应用射频磁控共溅射方法，分别在InP薄片与磁控靶底座紧接触（方法1）和InP薄片放在石英靶表面（方法2）两种情况下制备了InP/SiO2复合薄膜，并分别在高纯H2中和在P气氛中对薄膜进行了热处理。X 射线光电子能谱表明，对于用方法1制备的复合膜，其SiO2中的氧缺位、P 和In 的氧化物的含量都比用方法2 的少得多。X射线和卢瑟福背散射实验结果表明，在P气氛下的高温（520℃）热处理，可以彻底地消除这些氧缺位和氧化物而得到符合化学计量的InP/SiO2纳米颗粒复合薄膜。复合薄膜的光致发光特性与制备工艺密切相关。较详细地阐述了俘获态对光致发光影响的机理。 关键词 ： InP/SiO2纳米复合膜,  化学组分,  微观结构     Key words： 收稿日期: 1900-01-01      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 丁瑞钦 王浩 佘卫龙 王宁娟 于英敏 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/Y2001/V15/I4/411 1 E.Passalacqua,S.Freni,F.Barone,Alkali resistance of tape-cast SiC porous ceramic membranes,Materials Let- ters,24,257(1998) 2 P.C.Rojas,G.J.Piderit,P.Toro,Development of open- pore silicon carbide foams,Key Eng.Mater.,132-136, 1731(1997) 3 S.Zhu,S.Ding,H.Xi,R.Wang,Low-temperature fabrica- tion of porous SiC ceramics by preceramic polymer reac- tion bonding,Mater.Lett.,59,595(2005) 4 CAO Xiaoming,TIAN Chong,ZHANG Jinsong,LIU Qiang,Electrical properties of SiC foam ceramics,Chi- nese Journal of Materials Research,20(2),217(2006) (曹小明，田冲，张劲松，刘强，泡沫碳化硅陶瓷的导电性能，材料研究学报，20(2)，217(2006)) 5 B.K.Jang,Y.Sakka,Thermophysical properties of porous SiC ceramics fabricated by pressureless sintering,Science and Technology of Advanced Materials,8,655(2007) 6 J.She,Z.Deng,J.D.Doni,T.Ohji,Oxidation bonding of porous silicon carbide ceramics,Journal of Materails Sci- ence,37,3615(2002) 7 S.Q.Ding,Y.P.Zeng,D.L.Jiang,In-situ reaction bonding of porous SiC ceramics,Materials Characterization,59, 140(2008) 8 ZHU Yumei,LV Nan,JIN Zhengguo,GAO Chao, XU Tingxian,Preparation and properties of oxidation reaction-bonded silicon carbide ceramics,Bulletin of the Chinese Ceramic Society,(1),30(2000) (朱玉梅，吕楠，靳正国，高超，徐廷献，氧化反应结合SiC基陶瓷的制备与性能，硅酸盐通报，(1)，30(2000)) 9 ZHU Yumei,JIN Zhengguo,Effect of pre-oxidation on sintering of SiC ceramic materials,Journal of Tianjin Uni- versity,36(6),769(2003) (朱玉梅，靳正国，预氧化在SiC基陶瓷材料烧结中的作用，天津大学学报，36(6)，769(2003)) 10 M.K.Reser,Phase diagrams for ceramists 1969 supple- ment,the American Ceramic Society,USA,1969,p.165 11 HAN Yaling,ZHANG Wei,PAN Binbin,SUN Taili,Re- search on preparation technology and thermal shock resis- tance of Al_2O_3/cordierite ceramics,Journal of Shenyang University of Technology,29(4),380(2007) (韩亚苓，张巍，潘斌斌，孙泰礼，Al_2O_3/堇青石陶瓷的制备和抗热震性能研究，沈阳工业大学学报，29(4)，380(2007)) [1] 史畅, 杜宇航, 赖利民, 肖思明, 郭宁, 郭胜锋. CrTaTi难熔中熵合金的力学性能和抗氧化性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(6): 443-452. [2] 林师峰, 徐东安, 庄艳歆, 张海峰, 朱正旺. TiZr基非晶/TC21双层复合材料的制备和力学性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(3): 193-202. [3] 王艳坤, 王宇, 纪伟, 王智慧, 彭翔飞, 呼宇雄, 刘斌, 徐宏, 白培康. 碳纤维/铝复层材料的组织和力学性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(7): 536-544. [4] 张益铭, 赵子彦, 牟娟. 添加Nb元素对TiZr基非晶复合材料性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(6): 401-408. [5] 高巍, 刘江南, 魏敬鹏, 要玉宏, 杨巍. TC4钛合金表面氧化亚铜掺杂微弧氧化层的结构和性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(6): 409-415. [6] 曾志鹏, 宋小艳, 孙勇, 宋双林, 陆伟, 贺正龙. 聚氨酯/水玻璃注浆材料固化过程中的微观结构和力学性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(11): 855-861. [7] 范金辉, 李鹏飞, 梁晓军, 梁建平, 徐长征, 蒋力, 叶祥熙, 李志军. 镍-不锈钢复合板轧制过程中界面的结合机制[J]. 材料研究学报, 2021, 35(7): 493-500. [8] 谢瑞峰, 仵云飞, 唐百晓. 冻融作用后超高性能混凝土中钢纤维的拔出行为研究[J]. 材料研究学报, 2021, 35(6): 433-440. [9] 王昊, 赵洪峰, 康加爽, 周远翔, 谢清云. B2O3和Al2O3共同掺杂ZnO压敏陶瓷的性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(2): 110-114. [10] 曾泽芸, 李长荣, 黎志英, 黄胜, 黎世旺, 尤景田. 终冷温度对高强度抗震钢筋组织和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2021, 35(11): 857-865. [11] 杜邦登, 刘军, 王晓婉, 汪伟, 陈德敏. 热处理对Al-Mg-Ga-In-Sn合金微观结构和铝水反应的影响[J]. 材料研究学报, 2021, 35(1): 25-35. [12] 林文文, 贺笑春, 徐志军, 王子恒, 初瑞清. 添加Bi2WO6对ZnO基压敏陶瓷电学性能的影响[J]. 材料研究学报, 2020, 34(4): 285-290. [13] 卢秋虹, 王宁, 范诚, 申勇峰, 刘明涛, 汤铁钢, 胡海波. 壁厚对HR2钢柱壳爆轰加载下膨胀断裂行为的影响[J]. 材料研究学报, 2020, 34(4): 241-246. [14] 唐锦, 李丹, 秦健春, 曾纪术, 何浩, 李益民, 刘晨. Fe2W型铁氧体BaFe2-x2+CoxFe163+O27(x=0.0~0.8)的微观结构和磁性[J]. 材料研究学报, 2020, 34(12): 915-920. [15] 张淑文,张杰,王贵春,高丹盈. 碳纳米管对水泥基材料热膨胀性能的影响[J]. 材料研究学报, 2019, 33(5): 387-393. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed