离子束辅助激光制备织构薄膜的计算机模拟

材料研究学报

2001, Vol. 15

Issue (2): 205-208

论文

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离子束辅助激光制备织构薄膜的计算机模拟

邓玉荣1;刘庆华1;黄新堂1;祁守仁1;王又青2

1.华中师范大学;2.华中科技大学激光技术国家重点实验室

引用本文:

邓玉荣; 刘庆华; 黄新堂; 祁守仁; 王又青 . 离子束辅助激光制备织构薄膜的计算机模拟[J]. 材料研究学报, 2001, 15(2): 205-208.

全文: PDF(480 KB)

摘要: 在离子束辅助激光制备取向薄膜的物理机制基础上,利用计算机模拟了织构薄膜生长的物理过程. 结果表明,织构薄膜的质量直接与不同取向晶粒被辅助粒子束溅射掉的几率相关,这在实验中表现为与辅助离子束入射方向、离子束能量、薄膜材料种类等因素有关.

关键词 ：辅助离子束, 织构, 薄膜制备, 计算机模拟

Key words：

收稿日期: 1900-01-01

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