材料研究学报  1999, Vol. 13 Issue (6): 581-586

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离子束辅助沉积金红石型氧化钛薄膜的择优取向控制

张峰;郑志宏;柳襄怀

中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室

张峰; 郑志宏; 柳襄怀 . 离子束辅助沉积金红石型氧化钛薄膜的择优取向控制[J]. 材料研究学报, 1999, 13(6): 581-586.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(564 KB)   摘要: 用惰性气体(Ne+、Xe+)离子束辅助沉积(IBAD)技术, 合成了金红石型氧化钛薄膜. 在薄膜生长过程中,离子束以45$^{\circ}$角轰击薄膜. 通过增加离子原子到达比$\gamma$,实现了金红石型氧化钛薄膜从(110)择优取向向(100)择优取向的转变.研究了取向转变的机制,择优取向的转变是表面能和沟道效应竞争的结果.估算了晶面的表面能,发现(110)面具有最小的表面能. 当$\gamma$较小时,表面能控制薄膜的取向,此时薄膜表现为具有最小表面能的晶面(110)择优生长;随着$\gamma$的增加,对离子束具有较宽沟道的晶面(200)择优生长. 关键词 ： 离子束辅助沉积,  氧化钛,  择优取向     Key words： 收稿日期: 1900-01-01      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 张峰 郑志宏 柳襄怀 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/Y1999/V13/I6/581 1 E.Kayl P.Parmigiani, W.Parrish, J.Vac.Sci.Technol.A, 6, 3094(198) 2 D.Dobrec, Thin Solid Films, 92, 41(1982) 3 M.Satou, K.Fujii, M.Kiuchi, F.Fujimoto, Nucl.Instrum.Methods B, 39, 166(1989) 4 Y.Andoh, K.Oguto, H.Yamaki, S.Sakai, Nucl.Instrum.Methods B, 39, 158(1989) 5 W.Ensinger, Surf.Coat.Technol., 65, 90(1994) 6 F.A.Smidt, Inter.Mater.Rev., 35, 61(1990) 7 Feng Zhang, Zhihong Zheng, Xinzhao Ding, Xianghuai Liu, J. VaC. Set. Technol.A, 15, 1829(1997) 8 R.M.Bradley, J.M.E.Harper, D.A.Sndth, J.Appl.Phys., 6O, 416D(1986) 9 R.S.Robinson, S.M.ROssnagel, In IOn Beam Modification of Scarces, edited by O. Auciello, R. Keily (Amsterdam, Elsevier, 1984) 10 U.C.Oh, J.H.Je, J.Appl.Phys., 74, 1692(1993) 11 W.Ensinger, M.Kiuchi, M.Satou, Surf.Coat.Technol., 66, 313(1994) 12 J.F.Ziegler, J.B.Biesack, U.Littmaxk, The stopping and Range of Ions in Solids (Pergamon, Oxford, 1985)p [1] 朱晓东, 夏杨雯, 喻强, 杨代雄, 何莉莉, 冯威. Cu掺杂金红石型TiO2 的制备及其光催化性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(8): 635-640. [2] 程婷, 董鹏玉, 高欣, 孟承启, 王艳, 陈小卫, 张蓓蓓, 奚新国. CsTi2NbO7@N-TiO2杂化核壳结构的制备及其可见光催化性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(3): 221-230. [3] 彭子童, 郜艳荣, 姚楚, 姚军龙, 朱雯雯, 徐稳, 江学良. 铁/镱掺杂二氧化钛空心球的制备及其光催化性能[J]. 材料研究学报, 2021, 35(2): 135-142. [4] 王世琦,霍文燚,徐正超,张旭海,周雪峰,方峰. 钴掺杂TiO2纳米管阵列薄膜的制备及其光催化还原性能[J]. 材料研究学报, 2020, 34(3): 176-182. [5] 卢建红, 邓小梅, 阎建辉, 涂继国, 王明涌, 焦树强. 表面活性剂PEG6000对二元络合体系化学沉积铜的影响[J]. 材料研究学报, 2019, 33(9): 666-672. [6] 陈海洋, 何菲, 张旭海, 邵起越, 方峰. 钯氮共掺杂TiO2薄膜的光催化还原性能[J]. 材料研究学报, 2017, 31(4): 255-260. [7] 张娈娈, 高和军, 廖运文. 交联聚两性离子液基材料增强TiO2光催化性能的研究[J]. 材料研究学报, 2016, 30(4): 307-313. [8] 陈爱莲,唐昭芳,陈杨,陈志刚. 三维有序氧化钛中空球薄膜的制备及其光电性能*[J]. 材料研究学报, 2015, 29(11): 835-842. [9] 石莉萍,刘纯,殷恒波,王爱丽,王丽君. Ag+/Ag-TiO2纳米空心球制备及其可见光催化性能*[J]. 材料研究学报, 2014, 28(11): 865-872. [10] 张秀菊 陈文彬 林志丹 姚佳. 细菌纤维素负载稀土掺杂二氧化钛复合膜的制备和光催化性能[J]. 材料研究学报, 2010, 24(5): 540-546. [11] 钟启声 王大伟 李峰 逯高清 成会明. 无基底透明二氧化钛纳米管阵列薄膜的制备[J]. 材料研究学报, 2009, 23(2): 118-122. [12] 曹猛;李强;邓湘云;李德军. 离子轰击能量对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响[J]. 材料研究学报, 2007, 21(6): 627-631. [13] 杨世源; 金孝刚; 李菊芬; 王军霞 . 利用冲击波技术制备TiO2纳米晶[J]. 材料研究学报, 2005, 19(2): 189-192. [14] 潘海波; 林德娟; 刘隆兴; 沈水发; 陈耐生; 黄金陵 . 掺钒TiO2纳米粉体的制备及性能[J]. 材料研究学报, 2001, 15(5): 535-539. [15] 赵晓鹏; 尹剑波; 向礼琴; 赵乾 . 稀土改性二氧化钛电流变液的性能[J]. 材料研究学报, 2000, 14(6): 604-608. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed