材料研究学报  1989, Vol. 3 Issue (2): 160-164

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几种无限供应的金属/硅体系离子束混合相变

毛思宁;杨熙宏;陈坚;刘家瑞;高文玉;杨锋

北京大学;清华大学物理系;北京大学;北京大学;中国科学院物理研究所;中国科学院物理研究所;中国科学院物理研究所

THE ION BEAM INDUCED PHASE TRANSFORMATION IN UNLIMITED SUPPLY SYSTEMS OF METAL AND SILICON

MAO Sining YANG Xihong CHEN Jian LIU Jiarui GAO Wenyu YANG Feng (Beijing University) (Institute of Physics;Academia Sinica)

毛思宁;杨熙宏;陈坚;刘家瑞;高文玉;杨锋. 几种无限供应的金属/硅体系离子束混合相变[J]. 材料研究学报, 1989, 3(2): 160-164.
, , , , , . THE ION BEAM INDUCED PHASE TRANSFORMATION IN UNLIMITED SUPPLY SYSTEMS OF METAL AND SILICON[J]. Chin J Mater Res, 1989, 3(2): 160-164.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(443 KB)   摘要: 研究了五种无限供应的Bilayer 膜金属/硅体系中(Ni/Si,Cu/Si,Nb/Si,Mo/Si,Ti/Si),因离子束注入引起的界面原子交混及相变过程。界面温度和注入离子剂量显著影响薄膜相变,在生成各种金属Si 化物及固溶体时,反应温度和生长激活能大大降低,相变动力学过程与热退火反应不尽相同,诱导离子和基体取向对成相生长也有影响。讨论了相应微观机理。 关键词 ： 离子束混合,  金属/硅体系,  相变,  薄膜相变     Abstract：Five metal-silicon systems (Ni/Si,Cu/Si,Ti/Si,Nb/Si,Mo/Si) were chosen for this experiment and the results in a verity of condi-tions were summarized.The phase transformation by ion beam induced isnon-equilibrium process.This process might change the comp Key words： ion beam mixing    metal/silicon system    phase transformation    thin film transformation 收稿日期: 1989-04-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 毛思宁 杨熙宏 陈坚 刘家瑞 高文玉 杨锋 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1989/V3/I2/160 1 Paime B M et al.Nucl Inser & Meth,1985;B7/8:666 2 Hewett C A et al.Nucl Instr & Meth,1985;B7/8:597 3 Lau S S et al.Nucl Instr & Meth,1983;209/210:97 4 Wang K L.J Vac Sci Technol,1979;16:130 5 Mayer J M et al.Nucl Instr & Meth,1981;182/183:1 6 Averbach R S.Nucl Instr & Meth,1986;B15:675 7 Paate J M et.Thin film-interdiffusion and Reactions.New York:Wiley,1978:chap.10 8 Ottariani G.Thin Solid Films,1986;140:3 9 Hung L S et al.Appl Phys Lett,1983;42:672 [1] 杨栋天, 熊良银, 廖洪彬, 刘实. 基于热力学模拟计算的CLF-1钢改良设计[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 590-602. [2] 郭飞, 郑成武, 王培, 李殿中. 稀土元素对低碳钢中奥氏体-铁素体相变动力学的影响[J]. 材料研究学报, 2023, 37(7): 495-501. [3] 张益铭, 赵子彦, 牟娟. 添加Nb元素对TiZr基非晶复合材料性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(6): 401-408. [4] 梁鹏利, 闫君, 魏诗杰, 蒋丛稷, 陈云琳. 宽温域Mn基反钙钛矿复合磁制冷材料的设计和制备[J]. 材料研究学报, 2022, 36(2): 133-139. [5] 丰敏, 廖依敏, 陈明辉, 朱圣龙, 王福会. 在900℃添加CeO2 对SiO2-Al2O3-ZnO-CaO搪瓷析晶和热震行为的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(2): 90-98. [6] 韩颖, 秦杰, 曹云东, 李述军. 基于微观定向骨架结构Cu-W复合电触头材料的静熔焊性能[J]. 材料研究学报, 2022, 36(10): 769-776. [7] 陈扬, 涂坚, 张琰斌, 谭力, 尹瑞森, 周志明. 形变和退火对Fe47Mn30Co10Cr10B3间隙高熵合金微观组织结构演变的影响[J]. 材料研究学报, 2021, 35(2): 143-153. [8] 李晓欣, 邢茹, 刘娇, 王婷, 孙运斌, 陈红伟, 赵建军. Tb掺杂双钙钛矿氧化物Pr2CoMnO6的磁热效应[J]. 材料研究学报, 2020, 34(1): 73-80. [9] 孙乃坤,仲德晗,任增鑫,张扬,刘晓云. Co0.525Fe0.475MnP化合物的室温磁热效应和磁电阻效应[J]. 材料研究学报, 2019, 33(2): 124-130. [10] 王晓东,郭锋,包喜荣,王宝峰. P91热轧无缝钢管的TMCP模拟[J]. 材料研究学报, 2019, 33(12): 909-917. [11] 周洪雷,侯峰起,郝玉琳. 低电子浓度Ti-Nb-Zr合金组织及性能研究[J]. 材料研究学报, 2019, 33(1): 27-33. [12] 王葛, 王亚杰, 李磊, 马占山, 胡君泰, 陈博伟, 李强. Cr5钢马氏体的相变塑性和应力对其相变动力学的影响[J]. 材料研究学报, 2018, 32(7): 481-486. [13] 李会鹏, 熊毅, 路妍, 贺甜甜, 范梅香, 任凤章. 应变速率对低温拉伸316LN奥氏体不锈钢微观组织和力学性能的影响[J]. 材料研究学报, 2018, 32(2): 105-111. [14] 李琳, 李东旭, 张树鹏, 王立国. 脂肪酸/SiO2复合相变材料的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2017, 31(8): 591-596. [15] 赵思勰, 晏华, 李云涛, 汪宏涛, 胡志德. 石蜡/硅藻土定型相变材料的结构和热性能[J]. 材料研究学报, 2017, 31(7): 502-510. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed