超薄金属膜电阻率尺寸效应

材料研究学报

1997, Vol. 11

Issue (4): 438-440

研究论文

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超薄金属膜电阻率尺寸效应

唐兆磷;黄荣芳;闻立时

中国科学院金属研究所;中国科学院金属研究所;中国科学院金属研究所

MACHANISM OF SIZE EFFECT OF ELECTRIC CONDUCTIVITY IN ULTRATHIN METAL FILM

TANG zhaolin; HUANG Rongfang; WEN Lishi (Institute of Metal Research; Chinese Academy of Sciences)

引用本文:

唐兆磷;黄荣芳;闻立时. 超薄金属膜电阻率尺寸效应[J]. 材料研究学报, 1997, 11(4): 438-440.
, , . MACHANISM OF SIZE EFFECT OF ELECTRIC CONDUCTIVITY IN ULTRATHIN METAL FILM[J]. Chin J Mater Res, 1997, 11(4): 438-440.

全文: PDF(223 KB)

摘要: 研究了超薄铝膜的厚度与电阻率晶粒度之间的关系结果表明:随薄膜平均厚度减小,晶粒度减小,电阻率增大,呈现尺寸效应.综合利用F-S模型,M-S模型以及Matthiessen定则定量分析了表面和晶界的电子散射对电阻车尺寸效应的贡献.

关键词 ：超薄膜, 电阻率, 尺寸效应

Abstract：The experimental results showed that the ultrathin Al films possessed decreasing grain size and increasing electric resistivity with decreasing film thickness (size effect). Based on F-S Model, M-S Model and Matthiessen rule, the effect of surface scatter

Key words： ultrathin film electric resistivity size effect

收稿日期: 1997-08-25

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