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非晶含氟聚合物薄膜的热稳定性 |
丁士进1;王鹏飞1;张剑云1;张卫1;王季陶1;张冶文2;夏钟福2 |
1. 复旦大学 ; 2. 同济大学 |
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引用本文:
丁士进; 王鹏飞; 张剑云; 张卫; 王季陶; 张冶文; 夏钟福 . 非晶含氟聚合物薄膜的热稳定性[J]. 材料研究学报, 2001, 15(2): 201-204.
1 W.W.Lee, P.S.Ho, MRS Bulletin., 22, 19(1997) 2 T.C.Nason, J.A.Moore, T.M.Lu, Appl.Phys.Lett., 6O(15), 1866(1992) 3 P.K.Wu, G.-R.Yang, X.F.Ma, T.-M.Lu, Appl.Phys.Lett., 65(4), 508(1994) 4 D.Popovici, J.E.Klemberg-Sapieha, G.Czeremuszkin, E.Sacher, M.Meunier, L.Martinu, Microelectronic Engineering, 33, 217(1997) 5 D.Popovici, K.Piyakis, M.Meunier, E.Sacher, J.Appl.Phys., 83(1), 108(1998) 6 L.J.Matienzo, J.A.Zimmerman, F.D.Egitto, J.Vac.Sci.Technol., A. 12(5), 2662(1994) 7 R.Sharangpani, R.Singh, J.Electrochem.Soc., 144(8), 2924(1997) 8 E.Sacher, J.E.Klemberg-Sapieha, J.Vac.Sci.Technol., A.15(4), 2143(1997) 9 S.J.Limb, K.K.Gleason, D.J.Edell, E.F.Gleason, J.Vac.Sci.Technol., A. 15(3), 1614(1997) 10 G.B.Blanchet, Appl.Phys.Lett., 62(5), 479(1993) 11 B.J.Lindberg, K.Hamrin, G.Johasson, U.Gelius, A.Fahlman, C.Nordling, K.Siegbahn, Phys.Scr., 1, 286(1970) 12 刘世宏,王当憨,潘承璜编,X射线光电子能谱分析(北京,科学出版社,1988)p.48(LIU Shihong, WANG Danghan, PAN Chenghuang ed., Analysis of X-Ray photoelectron Spectroscopy(Beijing, Science Press, 1998) p.48))p |
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