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材料研究学报  1998, Vol. 12 Issue (3): 311-313    
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互不固溶系统的固态反应非晶化
潘峰;柳百新
清华大学;北京市;100084;清华大学
AMORPHIZATION IN THE IMMISCIBLE SYSTEMS BY SOLID STATE REACTION
PAN Feng; LIU Baixin (Department of Materials Science and Engineering; Tsinghua University; Beijing 100084)
引用本文:

潘峰;柳百新. 互不固溶系统的固态反应非晶化[J]. 材料研究学报, 1998, 12(3): 311-313.
, . AMORPHIZATION IN THE IMMISCIBLE SYSTEMS BY SOLID STATE REACTION[J]. Chin J Mater Res, 1998, 12(3): 311-313.

全文: PDF(999 KB)  
摘要: 利用选区电子衍射和X射线衍射研究了互不固溶系统Cu-Ta和Cu-Nb纳米多层膜的固态 反应非晶化的可能性.结果表明:当单层厚度减小到一定程度,成分为25~30%Cu的多层膜可以通过退火实现固态反应非晶化,从而获得具有正混合热系统的非晶薄膜.在Cu-Ta系统中还获得了厚0.8μm的非晶态薄膜.互不固溶系统多层膜固态反应非晶化的热力学驱动力主要源于多层膜界面自由能.
关键词 多层膜固态反应非晶化    
Abstract:The possibility of amorphous phase formation by solid state reaction (SSR) in the immiscible Cu-Ta and Cu-Nb nano-multilayers was studied by means of selected area electron diffraction and X-ray diffraction. The experimental results revealed that, when th
Key wordsmultilayers    solid state reaction    amorphization
收稿日期: 1998-06-25     
基金资助:国家自然科学基金!59231031
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