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材料研究学报  1999, Vol. 13 Issue (1): 42-46    
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多孔陶瓷薄膜表面形貌研究
曾智强;萧小月;桂治轮;李龙土
清华大学
引用本文:

曾智强; 萧小月; 桂治轮; 李龙土 . 多孔陶瓷薄膜表面形貌研究[J]. 材料研究学报, 1999, 13(1): 42-46.

全文: PDF(542 KB)  
摘要: 用原子力显微镜(AFM)观察Al2O3、Al2O3-SiO2及Al2O3-SiO2-TiO2复合陶瓷薄膜的表面形貌.X射线衍射(XRD)分析表明, Al2O3薄膜的晶相为γ-Al2O3; Al2O3-SiO2薄膜由γ- Al2O3和非晶态SiO2组成;而Al2O3-SiO2-TiO2薄膜的相成分为Al2O3、TiO2、Al4Ti2SiO12和非晶态SiO2,各相的含量随化学成分变化而变化. AFM观察结果表明, Al2O3、Al2O3-SiO2薄膜均为片状颗粒堆垛而成, Al2O3-SiO2-TiO2薄膜则为层状结构.薄膜的表面形貌也随体系成分改变而改变. 通过表面粗糙度的计算,认为各组分对表面特征的贡献不同: TiO2有利于降低表面粗糙度,而SiO2则使表面粗糙度增加. 说明陶瓷薄膜具有极大的表面改性潜力.
关键词 AFM陶瓷薄膜表面形貌    
Key words
收稿日期: 1900-01-01     
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