材料研究学报  1996, Vol. 10 Issue (3): 289-292

研究论文 本期目录 | 过刊浏览 |

氮对纳米硅氮薄膜品化的影响

韩伟强;韩高荣;聂东林;丁子上

浙江大学材料系;清华大学物理系;山东建材学院

INCORPORATION EFFECT OF NITROGEN INTO nc-SiN_x:H FILMS

HAN Weiqiang;HAN Gaorong; NIE Donglin;DING Zishang(Zhejiang University;Tsinghua University;Shangdong Bwilding Materials Industry College)(Correspondent:HAN Weiqiang;Department of Physics;Tsinghua University;Beijing 100084)

韩伟强;韩高荣;聂东林;丁子上. 氮对纳米硅氮薄膜品化的影响[J]. 材料研究学报, 1996, 10(3): 289-292.
, , , . INCORPORATION EFFECT OF NITROGEN INTO nc-SiN_x:H FILMS[J]. Chin J Mater Res, 1996, 10(3): 289-292.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1430 KB)   摘要: 在电容式耦合等离子体化学气相沉积系统中,用高氢稀释硅烷和氮气为反应气氛制备纳米硅氮(nc-SiNx:H)薄膜结果表明:当N_2/SiH_4气体流量比(Xn)从1增加为4时,薄膜的晶态年从58%降至14%,晶粒尺寸从10nm降至5um,N/Si含量比从0.03增至0.12.当Xn≥5,则生成非晶硅氮(a-SiNx:H)薄膜.当Xn从1增加为10时,薄膜暗电导率从10￣(-5)(Ωcm)￣(-1)降至10￣(-11)(Ωcm)￣(-1),具有逾渗行为,这与薄膜的晶态率紧密相关. 关键词 ： 纳米硅氮薄膜,  晶态率,  晶粒尺寸,  电导率     Abstract：Undoped nanocrystalline silicon nitrogen(nc-SiNx:H)films were prepared by rf glow discharge of heavily hydrogen(H2)diluted silane(SiH4) and nitrogen (N2).The volume fraction of the crystalline phase and mean grains size were varied from 58%-14% and 10nm-5 Key words： nanocrystalline silicon nitrogen crystallization ratio mean grains size dark conductivity 收稿日期: 1996-06-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 韩伟强 韩高荣 聂东林 丁子上 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1996/V10/I3/289 1MattenbergerF,VeprekS．Chemtronics,1986,1:1072OtobeM,OdaS．JpnJApplPhys,1992,31:19483何宇亮,殷晨钟．半导体学报,1992,13:6834HANW,HANGMatResSocsymp,1993,297:3815FurukawaS,MiyasatoT,PhysRevB,1988,38:57266TakagiHetal、ApplPhysLett,1990,56:23797FortunateEetal．JNon—CrystSolids1989,115;1208HasegawaSetal．JapJApplPhys．1986,25;L9349KarcherRetal．PhsRevB,1984,30:1896 [1] 陈晶晶, 占慧敏, 吴昊, 朱乔粼, 周丹, 李柯. 纳米晶CoNiCrFeMn高熵合金的拉伸力学性能[J]. 材料研究学报, 2023, 37(8): 614-624. [2] 宁博, 李志超, 武会宾, 张丙军, 黄曼丽, 丁超. 改善09MnNi容器钢低温冲击韧性的机理[J]. 材料研究学报, 2022, 36(9): 660-666. [3] 张守清, 胡小锋, 杜瑜宾, 姜海昌, 庞辉勇, 戎利建. 淬火冷却速率对海洋平台用Ni-Cr-Mo-B钢性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(4): 250-260. [4] 孙京丽,周海涛,陈莉,吴宏,刘维丽,姚斐,徐玉棱. 晶粒尺寸对304奥氏体不锈钢组织演变和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2020, 34(3): 231-240. [5] 李滢,陈小龙,孙超,宫骏. 热障涂层陶瓷层材料LnMgAl11O19(Ln=La, Nd)粉体的性能[J]. 材料研究学报, 2019, 33(6): 409-418. [6] 周路海, 韦习成, 王春燕, 鲁军, 王武荣. T10钢的干滑动摩擦学行为与晶粒尺寸的关系[J]. 材料研究学报, 2017, 31(11): 833-838. [7] 贾书君, 王远方, 谭峰亮, 刘清友. 抗大变形管线钢焊接粗晶区的组织和韧性*[J]. 材料研究学报, 2016, 30(7): 517-523. [8] 董婷婷,王渠东,郭炜,刘鉴锋,蒋海燕. 往复挤压纯镁的组织演变和力学性能[J]. 材料研究学报, 2015, 29(8): 569-575. [9] 魏 兴, 付立铭, 刘世昌, 王 巍, 单爱党. 双相钢组成相的变形行为及其影响因素[J]. 材料研究学报, 2013, 27(6): 665-672. [10] 郭睿 胡水平. 工艺因素对AZ31镁合金板材室温成形性能的影响*[J]. 材料研究学报, 2013, 27(2): 207-211. [11] 侯自勇 许云波 吴迪. 超快速退火对Nb+Ti--IF钢组织和织构的影响[J]. 材料研究学报, 2012, 26(1): 13-20. [12] 黄始全 易幼平 李蓬川. 23Co13Ni11Cr3Mo超高强钢的高温变形行为[J]. 材料研究学报, 2011, 25(3): 283-288. [13] 马莉 王毛球 时捷 惠卫军 董瀚. 硫化温度对硫化钨薄膜摩擦性能的影响[J]. 材料研究学报, 2009, 23(3): 251-256. [14] 郑飞虎; 张冶文; 宫斌; 陈玲燕; 徐加强; 王传珊 . 电子束辐照后聚甲基丙烯酸甲酯的电荷特性[J]. 材料研究学报, 2005, 19(4): 431-436. [15] 宫清; 曹小明; 张劲松; 方正 . 三维连通网络陶瓷的电磁特性研究II 电磁参数的影响因素[J]. 材料研究学报, 2002, 16(4): 444-448. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed