材料研究学报  1989, Vol. 3 Issue (1): 65-70

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a-Si:H/a-Si_(1-x)C_x:H 多层膜的电学和光学性质

彭启才;周心明;蔡伯埙

四川大学;四川大学;四川大学

ELECTRICAL AND OPTICAL PROPERTIES OF a-Si:H/a-Si_(1-X)C_x:H MULTILAYERS

PENG Qicai ZHOU Xinming CAI Boxun (Sichuan University;Chengdu)

彭启才;周心明;蔡伯埙. a-Si:H/a-Si_(1-x)C_x:H 多层膜的电学和光学性质[J]. 材料研究学报, 1989, 3(1): 65-70.
, , . ELECTRICAL AND OPTICAL PROPERTIES OF a-Si:H/a-Si_(1-X)C_x:H MULTILAYERS[J]. Chin J Mater Res, 1989, 3(1): 65-70.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(469 KB)   摘要: 采用等离子体辉光放电单室系统制备的a-Si:H/a-Si_(1-x)C_x:H 多层膜结构具有低的暗电导和高的光电导特性,且不同于单层膜,有明显的S-W 效应。随着子层厚度L 减小,多层膜曝光态(B)的暗电导率σdB 较退火态(A)的σdA 减小快,即光诱导衰退程度增大,而光电导无明显变化。本文还测定了此多层膜结构的光能隙E_g,得到随子层厚度减小“蓝移”的结果。用一维单量子阱模型作了讨论,实验值与理论计算符合较好。 关键词 ： a-Si:H/a-Si_(1-x)C_x:H,  超晶格,  非晶半导体,  电学性质,  光学性质     Abstract：The a-Si:H/a-Si_(1-x)C_x:H multilayers synthesized by RFglow dischargedeposition in a single-chamber plasma reacter have shownlower darkconductivity,higher photoconductivity and apparent S-W effectother than unlayered samples.With decreasing the sublayer Key words： a-SiH/a-Si_(1-x)-C_xH    superlattice    amorphous semiconductors electrical properties    optical properties 收稿日期: 1989-02-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 彭启才 周心明 蔡伯埙 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1989/V3/I1/65 1 Abeles B,Tiedje T.Phys Rev Lett,1983;51(21) :2003 2 Tiedje T et al.J Non-Cryst Solids,1984;66(1,2) :345 3 Kakalios J,Fritzsche H.Phys Rev Lett,1984;53(16) :1602 4 Freeman E C,Paul W.Phys Rev B,1979;20(2) :716 5 Mort N F,Davis E A.Electronic Processes in Non-Crystalline Materials,2nd ed.Oxford,Clarendon Press,1979:289 6 Staebler D L,Wronski C R.Appl Phys Lett,1977;31(4) :292 7 Ibaraki N,Fritzsche H.Phys RevB,1984;30(10) :5791 8 Landau L D,Lifshitz E N.Quantum Mechanics,2nd ed,New York,Pergamon,1975:66: [1] 张承乾; 王继扬; 陈创天 . 紫外倍频晶体K2Al2B2O7的生长与性能[J]. 材料研究学报, 2002, 16(6): 595-599. [2] 张超; 魏洪; 朱永元; 王慧田; 祝世宁; 闵乃本 . 准周期三倍频超晶格的结构设计与实验验证[J]. 材料研究学报, 2001, 15(1): 125-129. [3] 陆延青; 朱永元; 陈延峰; 祝世宁; 闵乃本; 冯一军 . 离子型声子晶体中的长波光学性质[J]. 材料研究学报, 2001, 15(1): 65-68. [4] 张兴旺;陈光华. 非晶态Ge/SiO_2超晶格结构与特性[J]. 材料研究学报, 1998, 12(5): 512-514. [5] 杨桦;王子忱;赵纯;宋利珠;赵慕愚;陈一民;窦凯;虞家琪. 掺杂锰的硫化锌纳米晶的光学性质[J]. 材料研究学报, 1996, 10(5): 544-546. [6] 吕孟凯;于文涛;尹鑫;车广灿. 三羟甲基氨基甲烷磷酸盐单晶的研究[J]. 材料研究学报, 1990, 4(4): 364-368. [7] 熊家炯;朱嘉麟. 半导体超晶格、量子阱材料的进展[J]. 材料研究学报, 1990, 4(2): 113-120. [8] 吕孟凯;尹鑫;于文涛;车广灿. 三羟甲基氨基甲烷砷酸盐单晶的研究[J]. 材料研究学报, 1989, 3(6): 553-557. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed