材料研究学报  1988, Vol. 2 Issue (1): 11-12

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准液相外延大晶粒金属化薄膜

和志刚

清华大学

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和志刚. 准液相外延大晶粒金属化薄膜[J]. 材料研究学报, 1988, 2(1): 11-12.
. [J]. Chin J Mater Res, 1988, 2(1): 11-12.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(299 KB)   摘要: <正> 作为光伏器件或集成电路电极引线的金属化薄膜,应有较好的抗电迁移性能,以保持较低的接触电阻和较好的接触稳定性。提高抗电迁移性能的途径是使薄膜具有较大晶粒尺寸和较高取向度。这种薄膜衬底也有利于进一步生长大晶粒的光伏器件吸收材料。意大利Romeo等发展了一种新的薄膜淀积工艺——准液相外延法,即在低于但接近其熔点的金属层上生长单一取向大晶粒薄膜。这种方法对基片要求不高、工艺也较简单。 收稿日期: 1988-02-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 和志刚 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1988/V2/I1/11 No related articles found! Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed