材料研究学报  1992, Vol. 6 Issue (6): 514-518

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Ti 离子注入 LiNbO_3表面损伤分析

周建华;游伯强;张良莹;姚熹

西安交通大学;西安交通大学电子材料研究室;西安市710049;西安交通大学;西安交通大学

SURFACE DAMAGE OF LiNbO_3 IMPLANTED BY Ti ION

ZHOU Jianhua;YOU Boqiang;ZHANG Liangying;YAO Xi(Xi'an Jiaotong University)

周建华;游伯强;张良莹;姚熹. Ti 离子注入 LiNbO_3表面损伤分析[J]. 材料研究学报, 1992, 6(6): 514-518.
, , , . SURFACE DAMAGE OF LiNbO_3 IMPLANTED BY Ti ION[J]. Chin J Mater Res, 1992, 6(6): 514-518.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(405 KB)   摘要: 本文分析了高能Ti 离子注入LiNbO_3后x,y,z 三种不同切向的表面损伤分布及退火效应。x,y 切片表面损伤程度近乎无定形,Nb 原子迁移率N_D/N=1;z 切片表面损伤仍未饱和,N_D/N=0.8。辐射损伤主要是大量Nb 偏离晶格位置成为间隙原子,注入的Ti 离子处于间隙位置—LiNbO_3结构中固有的空位,使晶格有微小的膨胀。注入后产生有大量的氧缺位,氧气氛中热退火可消除氧缺位,使位移原子恢复至原晶格位置,且大部分间隙位置上的Ti 离子通过替代Nb 或少数Li 进入正规格点上,此处晶格有少许收缩;热处理后损伤的消除由注入层与衬底的界面处向外表面方向进行,需1000℃高温退火,晶格损伤才能获得明显的改善,氧气氛可防止氧缺位的增多。 关键词 ： 离子注入,  表面损伤,  晶格间隙     Abstract：Damage and annealing effect of x,y and z cut LiNbO_3 implanted by 350keVhigh energy Ti(1.5×10~(17)/cm~2)were studied.The damage caused by ion implantation is re-moved by high temperatures annealing in dry oxygen atomsphere at different temperatures andtim Key words： ion implantation    surface damage    lattice sites 收稿日期: 1992-12-25      基金资助:国家自然科学基金 服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 周建华 游伯强 张良莹 姚熹 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1992/V6/I6/514 1 Jackel J L et al.Appl Phys Lett,1981;38(7) :509 2 Eknoyan O et al.Appl Phys Optics,1986;25(5) :737 3 Batfoo K M et al.Radiation Effects in Insulators,1985;3:415 4 Li M J et al.Optics Communications,1987;62(1) :17 5 Yao X,Cross L E.Ferroelectrics,1981;38:82 [1] 杨铭, 范红玉, 解晓东, 郭一鸣, 刘云鹤, 李坤. 高能W6+预辐照对钨表面微结构的影响[J]. 材料研究学报, 2016, 30(4): 277-284. [2] 毛丽贺 王玉林 万怡灶 何芳 黄远. 钛离子注入镁钙锌合金在SBF中的耐腐蚀性[J]. 材料研究学报, 2010, 24(4): 383-388. [3] 刘健 齐乐华 周计明 苏力争. 液态浸渗挤压Al2O3sf/2A12铝基复合材料表面损伤的预测[J]. 材料研究学报, 2009, 23(6): 616-621. [4] 刘洪喜 蒋业华 周荣 詹肇麟 汤宝寅. 类金刚石薄膜对轴承钢表面机械性能和滚动接触疲劳寿命的影响[J]. 材料研究学报, 2009, 23(1): 43-48. [5] 罗浩俊; 胡成余; 姚淑德; 秦志新 . 退火对Mg离子注入 p-GaN薄膜性能的影响[J]. 材料研究学报, 2006, 20(2): 120-124. [6] 虞忠良; 李守新; 刘羽寅; 张庆瑜; 雷家峰; 牟忠信 . 表面处理对Ti--6--22--22合金高温疲劳[J]. 材料研究学报, 2004, 18(5): 471-476. [7] 王钧石; 陈元儒; 陈庆武 . Ti6Al4V等离子体浸没式离子注入[J]. 材料研究学报, 2001, 15(2): 225-229. [8] 战再吉;马欣新;夏立芳. 铝合金等离子体淹没离子注入氮层组织及其耐磨性[J]. 材料研究学报, 1998, 12(5): 546-548. [9] 樊东辉;李世普;陈迁;陈晓明. 用XPS研究BaTiO_3在Sn离子注入及退火后的结合状态[J]. 材料研究学报, 1995, 9(4): 351-354. [10] 李德军;赵杰;顾汉卿;陆茉珠;丁福庆;张其清. 离子注入对聚醚氨酯表面浸润性、抗凝血性和抗钙化性能的影响[J]. 材料研究学报, 1993, 7(1): 66-69. [11] 游伯强;周建华;张良莹;姚熹. Ti 离子注入 LiNbO_3表面光学性能[J]. 材料研究学报, 1992, 6(6): 519-522. [12] 汪日志;夏立芳. Al 及 Al 合金离子注入氮层组织结构及其耐磨性[J]. 材料研究学报, 1991, 5(4): 320-325. [13] 朱南昌;李润身;陈京一. X 射线双晶衍射在新材料研究中的应用[J]. 材料研究学报, 1991, 5(2): 129-133. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed