材料研究学报  1994, Vol. 8 Issue (1): 67-70

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极板负偏压对类金刚石薄膜性质的影响

郭力军;许念坎;刘正堂;张贵锋;郑修麟

西北工业大学

EFFECTS OF ELECTRODE NEGATIVE BIAS ON THE PROPERTIES OF DLC FILM

GUO Lijun; XU Niankan; LIU Zhengtang ;ZHANG Guifong; ZHENG Xiulin(Northwestern POlytechnical University)

郭力军;许念坎;刘正堂;张贵锋;郑修麟. 极板负偏压对类金刚石薄膜性质的影响[J]. 材料研究学报, 1994, 8(1): 67-70.
, , , , . EFFECTS OF ELECTRODE NEGATIVE BIAS ON THE PROPERTIES OF DLC FILM[J]. Chin J Mater Res, 1994, 8(1): 67-70.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(374 KB)   摘要: 用射频-直流辉光放电系统制备类金刚石薄膜,研究了极板负偏压(V)对类金刚薄膜性质的影响.结果表明,类金刚石薄膜的性质明显依赖于极板负偏压,在所研究的范围(-300-900V)内,随V绝对值的增加,薄膜的折射率、消光系数、生长速率、及硬度增加,电阻率下降.V的变化使膜中H含量及sp3/sp2的比例发生变化,从而使膜的性质发生变化. 关键词 ： 极板负偏压,  类金刚石薄膜(DLC)     Abstract：Diamond-like carbon (DLC) films on the germanium disks have been prepared from C2H2 and Ar futures by RF-DC Plasma chemical vaPOur dePOsition. It was observed that the film properties vary with variations of different deposition parameters, among which t Key words： electrode negative bias; DLC film (diamond-like carbon film) 收稿日期: 1994-02-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 郭力军 许念坎 刘正堂 张贵锋 郑修麟 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1994/V8/I1/67 IKoidlp,WildCh,DischerBetal,MaterialsScienceForum．1989;52:412毛友德等合肥工业大学学报,1986;8(3):403郭力军等．首届中国功能材料及其应用学术会议论文集．桂林,1992:5664KuntEnke．AppliedOptics,1985;24(4):5085BayneMA,KurokawaZ,OkorieNUetalThinSolidFilms,1983;107:2016闻立时．材料的表面与界面,北京:清华大学出版社,1990:1117郭力军等．西北工业大学学报,1992;10(4):565 No related articles found! Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed