材料研究学报  1994, Vol. 8 Issue (1): 61-66

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离子束增强沉积形成梯度薄膜

柳襄怀;杨根庆;王曦;郑志宏;黄巍;邹世昌

中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室

SYNTHESIS OF GRADIENT FILM BY ION BEAM ENHANCED DEPOSITION BEAM ENHANCED DEPOSITION

LIU Xianghuai; YANG Genqing; WANG Xi; ZHENG Zhihong; HUANG Wei; ZOU Shichang(Shanghai Institute of Metallurgy; Chinese Academy of Sciences)

柳襄怀;杨根庆;王曦;郑志宏;黄巍;邹世昌. 离子束增强沉积形成梯度薄膜[J]. 材料研究学报, 1994, 8(1): 61-66.
, , , , , . SYNTHESIS OF GRADIENT FILM BY ION BEAM ENHANCED DEPOSITION BEAM ENHANCED DEPOSITION[J]. Chin J Mater Res, 1994, 8(1): 61-66.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(505 KB)   摘要: 在金属衬底(Al、钢、铝-碳纤维、Ni3Al)上用离子束增强沉积形成氮硅化物的梯度薄膜.在薄膜的一侧有很高的电阻(107Ω),而在另一侧电阻根低(1Ω),在绝缘层和导电层之间电阻呈梯度变化.对梯度薄膜的组分、硬度、附着力、疲劳寿命、抗腐蚀能力和抗高温氧化性能进行了测试和分析. 关键词 ： 离子束增强沉积,  氮化硅,  梯度薄膜     Abstract：Gradient thin films are useful for space and air crafts and for industries working in high temperature. teChnologies. The techniques for the preparation of these films were developed quickly during the last years. Ion Beam Enhanced Depostition (IBED) is Key words： Ion Beam Enhanced Deposition (IBED); silicon nitride; gradient film 收稿日期: 1994-02-25      基金资助:国家自然科学基金 服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 柳襄怀 杨根庆 王曦 郑志宏 黄巍 邹世昌 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1994/V8/I1/61 1LiuXianghuai,XueBin,ZhengZhihongetalNuclInstrandMethsinPhysRes,1989;B39:1852YuYuehui,LiuXianghuai,FangZiweietal．AppliedSurfaceScience,1989;40:1453柳襄怀,俞跃辉等．薄膜科学与技术,1989;2(3):154TaniguchiS,LiuXianghuaietal,MaterialsScienceandEngineering1989;A121:5195LiuXianghuai,TaniguchiSetal．SurfaceandCoatingsTechnology,1991;46:2276LiuXianghuai,WolfGKetal．NucllnstrandMethsinPhysRes,1991;B59//60:8517TaniguchiS,LiuXiangbuaietal．ISIJInternational,1993;33(8):869: [1] 杨治刚,余建波,李传军,邓康,任忠鸣,钟云波,王秋良,王晖. 烧结条件对强磁场中成型氮化硅织构化的影响*[J]. 材料研究学报, 2015, 29(5): 371-376. [2] 陈吉华; 杨大智; 刘敬肖; 王伟强 . Ti-Ta-O复合薄膜的制备及抗腐蚀性[J]. 材料研究学报, 2001, 15(5): 589-592. [3] 周龙捷; 黄勇; 谢志鹏; 易中周; 代建清 . 凝胶注模成型制备高性能氮化硅陶瓷(I) 助烧剂包覆氮化硅粉料对材料性能的影响[J]. 材料研究学报, 2001, 15(1): 49-54. [4] 周龙捷; 黄勇; 谢志鹏; 易中周; 代建清 . 凝胶注模成型制备高性能氮化硅陶瓷(I) 助烧剂包覆氮化硅粉料对材料性能的影响周龙捷[J]. 材料研究学报, 2001, 15(1): 49-60. [5] 周飞; 李志章; 罗启富 . 用Y2O3-Al2O3-SiO2-Si3N4钎料连接氮化硅复相陶瓷[J]. 材料研究学报, 1999, 13(5): 514-518. [6] 冉均国; 杨云志; 郑昌琼 . 梯度薄膜材料设计原则[J]. 材料研究学报, 1999, 13(3): 309-312. [7] 江炳尧;张福民;孙义林;陈酉善;柳襄怀. 离子束增强沉积Si_3N_4/Si多层红外干涉滤波薄膜[J]. 材料研究学报, 1997, 11(5): 511-514. [8] 郭海;黄勇. 原位合成纤维块体陶瓷的制备与性能[J]. 材料研究学报, 1997, 11(4): 369-374. [9] 乔学亮;候晏红;吴一平;陈建国;孙培祯. Ti-Al—N系功能梯度薄膜的相结构[J]. 材料研究学报, 1996, 10(3): 310-312. [10] 朱世杰. 氮化硅及其复合材料的蠕变[J]. 材料研究学报, 1995, 9(2): 129-143. [11] 姜恩永;刘晖;刘明升;林川;孙多春. 氮化铁梯度薄膜的制备[J]. 材料研究学报, 1995, 9(1): 50-54. [12] 张劲松;曹丽华;林小利;夏非. Si_3N_4陶瓷的微波烧结[J]. 材料研究学报, 1992, 6(2): 158-161. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed