材料研究学报  2006, Vol. 20 Issue (3): 305-308

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Ge组分渐变的Si1-x-yGexCy薄膜的制备

李志兵　 王荣华　 韩平　 李向阳　 龚海梅　 施毅　 张荣

李志兵; 王荣华; 韩平; 李向阳; 龚海梅; 施毅 ; 张荣 . Ge组分渐变的Si1-x-yGexCy薄膜的制备[J]. 材料研究学报, 2006, 20(3): 305-308.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(688 KB)   摘要: 用化学气相淀积方法在Si(100)衬底上外延生长了Ge组分最高约0.40的组分渐变的Si1-x-yGexCy合金薄膜,研究了生长温度等工艺参数的影响.结果表明,生长温度和C2H4分压的提高均导致薄膜中碳组分的增加和合金薄膜晶格常数的减小,这表明外延薄膜中的C主要以替位式存在.C掺入量的变化可有效地调节薄膜的禁带宽度,而提高生长温度有助于改善Si1-x-yGexCy薄膜的的晶体质量.组分渐变的Si1-x-yGexCy合金薄膜包括由因衬底中Si原子扩散至表面与GeH4、C2H4反应而生成的Si1-x-yGexCy外延层和由Si1-x-yGexCy外延层中Ge原子向衬底方向扩散而形成的Si1-xGex层. Key words： 收稿日期: 1900-01-01      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 李志兵 王荣华 韩平 李向阳 龚海梅 施毅 张荣 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/Y2006/V20/I3/305 1 J.C.Bean, Proc. IEEE, 80, 571(1992) 2 F.Schaffler, Semicond. Sci. Technol., 12, 1515(1997) 3 M.L.Lee, E.A.Fitzgerald, M.T.Bulsara, M.T.Currie, A.Lochtefeld, J. Appl. Phys., 97, 011101(2005) 4 CUI Jifeng, YE Zhizhen, WU Guibin, ZHAO Binhui, Journal of Materials Science & Engineering, 23, 81(2005) (崔继锋,叶志镇,吴贵斌,赵炳辉,材料科学与工程学报,23,81(2005)) 5 S.B.Samavedam, E.A.Fitzgerald, J. Appl. Phys., 81, 3108(1997) 6 M.T.Currie, S.B.Samavedam, T.A.Langdo, C.W.Leitz, E.A.Fitzgerald, Appl. Phys. Lett., 72, 1718(1998) 7 Sang-Hoon Kim, Young-Joo Song, Hyun-Chul Bae, Electrochemical and Solid-State Letters, 8, G304-G306(2005) 8 L.H.Wong, J.P.Liu, C.Ferraris, C.C.Wong, M.C.Jonatam, T.J. White, L.Chan, Appl. Phys. Lett., 88, 041915(2006) 9 H.J.Osten, D. Knoll, H.Rucker, Materials Science and Engineering, B87, 262(2001) 10 WANG Yadong, HUANG Jingyun, YE Zhizhen, ZHANG Guoqiang, QI Zhen, ZHAO Binghui, Vacuum Science and Technology (China), 21, 214(2001) (王亚东,黄靖云,叶志镇,章国强,亓震,赵炳辉,真空科学与技术,21,214(2001)) 11 L.Vescan, T.Stoica, J. Lumin., 80, 485(1999) 12 D.Gall, J.D.Arcy-Gall, J.E.Greene, Phys. Rev. B, 62, R7723(2000) 13 J.L.Regolini, S.Bodnar, J.C.Oberlin, F.Ferrieu, M.Gauneau, B.Lambert, P.Bucaud, J. Vac. Sci. Technol. A, 12, 1015(1994) 14 B.K.Yang, M.Krishnamurthy, W.H.Weber, J. Appl. Phys., 82, 3287(1997) No related articles found! Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed