非晶ZrO2-SiO2系薄膜及微细图形的制备

材料研究学报

2002, Vol. 16

Issue (2): 168-171

论文

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非晶ZrO2-SiO2系薄膜及微细图形的制备

赵桂荣; 赵高扬

西安理工大学

引用本文:

赵桂荣; 赵高扬 . 非晶ZrO2-SiO2系薄膜及微细图形的制备[J]. 材料研究学报, 2002, 16(2): 168-171.

全文: PDF(803 KB)

摘要: 采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了ZrO2-SiO2系薄膜，研究了这种凝胶薄膜的FT-IR光谱特性及紫外线照射时的变化，发现在1600~1400 cm-1之间有一些与含锆螯合物相关的峰，这些峰值随紫外线照射而减弱，表明这些螯合物发生分解，薄膜在乙醇中的溶解能力也发生变化。紫外光通过掩膜照射凝胶薄膜，用有机溶剂的溶洗后，得到凝胶薄膜的微细图形，再进行热处理，得到非晶质ZrO2-SiO2系薄膜的微细图形。

关键词 ：溶胶-凝胶法, 氧化锆-氧化硅薄膜, 化学修饰

Key words：

收稿日期: 1900-01-01

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