材料研究学报  2001, Vol. 15 Issue (1): 41-48

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大面积高光学质量金刚石自支撑膜的制备

吕反修;唐伟忠;刘敬明;宋建华;佟玉梅;于文秀;李国华;罗廷礼;张永贵;郭辉;孙振路;何其玉

北京科技大学材料学院 河北省科学院

吕反修; 唐伟忠; 刘敬明; 宋建华; 佟玉梅; 于文秀; 李国华; 罗廷礼; 张永贵; 郭辉 . 大面积高光学质量金刚石自支撑膜的制备[J]. 材料研究学报, 2001, 15(1): 41-48.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1081 KB)   摘要: 介绍了一种新型的磁控/流体动力学控制的大口径长通道直流电弧等离子体炬,并据此设计建造了100千瓦级高功率DC Arc Plasma Jet CVD金刚石膜沉积系统.讨论了该系统采用的半封闭式气体循环系统的工作原理,以及在气体循环条件下制备大面积高光学质量金刚石自支撑膜的研究结果. 关键词 ： 直流电弧等离子体炬,  气体循环,  大面积     Key words： 收稿日期: 1900-01-01      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 吕反修 唐伟忠 刘敬明 宋建华 佟玉梅 于文秀 李国华 罗廷礼 张永贵 郭辉 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/Y2001/V15/I1/41 1 J.V.Busch, J.D.Dismukes, Diamond and Related materials, 3, 295(1994) 2 K.Kurihara, K.Sasaki, M.Kawarada, N.Koshino, Appl.Phys.Lett., 52(6), 437(1988) 3严震,博士学位论文,北京理工大学(1993)(Yan Zheng, Ph.D.Thesis, Beijing University of Technology(1993)) 4 W.D.Partlow, J.Schreurs, R.M.Young, I.Martorell, S.V.Dighe, G.Swartzbeck, J.Burton, Proc. 3rd Int. Conf.on Appl. of Diamond Films and Related Materials, edited by A.Feldman, Y.Tzeng, W.A.Yarborough,M.Yoshikawa, M.Murakawa (NIST Special Publication 885, 1995) p.519 5 N.Ohtake, M.Yoshikaawa, Thin Solid Films, 212, 112(1992) 6 Z.P.Lu, J.Heberlein, E.Stender, Plasma Chemistry and Plasma Processing, 12(1), 35(1992) 7 S.Matsumoto, Y.Manabe, Y.Hibino, J.Mater.Sci., 27, 5905(1992) 8 G.Lu, K.J.Gray, E.F.Borchelt, L.K.Bigelow, J.E.Graebner, Diamond and Related Materials, 2, 1064(1993) 9 K.J.Grayl H.Windischmann, Diamond and Related Materials, 8(2), 903(1999)10李国华,吕反修,罗廷礼,张永贵,李惠棋,钟国仿,唐才先,中国专利 ZL 931 09966.8(1998)(G.H.Li, F.X.Lu, T.L.Luo, Y.G.Zhang, H.Q.Li, G.F.Zhong, C.X.Tang, Chinese PatentZL 93 1 09966.8(1998)) 11 F.X.Lu, W.Z.Tang, T.B.Huang, J.M.Liu, J.H.Song, W.X.Yu, Y.M.Tong, Invited presentation of ICNDST7, Paper No.2.1., Hong Kong, July 24-28, 2000. Also accepted for publication in Diamond and RelatedMaterials 12 F.X.Lu, W.Z.Tang, G.F.Zhong, T.B.Huang, J.M.Liu, G.H.Li, T.L.Luo, Y.G.Zhang, Z.L.Sun, S.M.Du,Q.Y.He, S.I.Wang, Diamond and Related Materials, 9(9), 1655(2000) 13 F.X.Lu, W.Z.Tang, G.F.Zhong, J.G.Sun, J.M.Liu, Y.M.Tong, W.X.Yu, G.H.Li, T.L.Luo, Y.G.Zhang,Z.L.Zhang, S.M.Du, Q.Y.He, S.I.Wang, Proceedings of ADC/FCT'99, M., edited by Yoshikawa (Tsukuba,Japan, 1999) p.14 14 F.X.Lu, G.F.Zhong, J.G.Sun, Y.L.Fu, W.Z.Tang, J.J.Wang, G.H.Li, J.M.Zang, C.H.Pan, C.X.Tang,T.L.Luo, Y.G.Zhang, Diamond and related Materials, 7(6), 737(1998) 15 S.J.Harris, A.M.Weiner, J.Appl.Phys., 75(10), 5026(1994) 16 W.K.Kim, K.W.Wang, Materials and Manufacturing Processes, 8(1), 83(1993) 17 M.H.Loh, M.A.Cappelli, Diamond and Related Materials, 2, 454(1993) 18 M.I.Landstrass, K.V.Ravi, Appl.Phys.Lett., 55, 1391(1989) 19 M.Frenklach, H.Wang, Phys.Rev., B43(2), 1520(1991) 20 I.A.Martorell, W.D.Partlow, R.M.Young, J.J.Schreurs, H.E.Saunders, Diamond and Related Materials, 8,2926(1999)c [1] 宋贵宏; 孙超; 王冰; 黄荣芳; 闻立时 . 大面积生长金刚石相关物理参量的空间分布[J]. 材料研究学报, 2000, 14(6): 609-614. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed