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材料研究学报  2000, Vol. 14 Issue (6): 647-651    
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磁控溅射Fe--N薄膜的结构和性能
周剑平(1); 李华飚(1); 乔伟(2); 顾有松(1); 李丹(1); 常香荣(1)
1.北京科技大学; 2.北京科技大学新金属材料重点实验室
引用本文:

周剑平; 李华飚; 乔伟; 顾有松; 李丹; 常香荣 . 磁控溅射Fe--N薄膜的结构和性能[J]. 材料研究学报, 2000, 14(6): 647-651.

全文: PDF(417 KB)  
摘要: 研究了氮流量对磁控溅射Fe--N薄膜的磁性和结构的影响.加氮薄膜的软磁性能明显优于纯铁的. 当氮的流量为1.0mL•min-1时,矫顽力Hc 达到最小值205A/m.当氮流量为0.8mL•min-1时, 饱和磁化强度达到Ms= 2.36T.在Fe--N薄膜中未发现γ’ -Fe4N和α’’ --Fe16N2.
关键词 磁控溅射Fe--N膜饱和磁化强度     
Key words
收稿日期: 1900-01-01     
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